【課題】半導体ウェーハ等の円形状の基板の表面または裏面に液状樹脂を塗布するにあたって、実際に被塗布面に塗布される量を超える量の樹脂の使用量を最小限として、材料やコストの面でのロスの発生を抑える。
【解決手段】被塗布面を上に向けてウェーハ（基板）１をチャックテーブル２０上に同心状に保持し、ウェーハ１の上方にスロットダイ６０を対向配置して、スロットダイ６０のスロット６２をウェーハ１の半径に対応させる。チャックテーブル２０を回転させてウェーハ１を自転させながらスロット６２から樹脂を排出させ、ウェーハ１の被塗布面に樹脂を塗布する。ウェーハ１の被塗布面からスロット６２が出ていないか、出ていてもごく短いので、ロスとなる樹脂の量が最小限に抑えられる。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】静電気、分子間引力、湿気等の影響を受けずに微小粒を確実にとりあげる装置、あるいは所要位置に所要量の微小粒を定置する装置を提供する。
【解決手段】ノズル２内に微小粒５を接着剤、液晶、薬液等の液体６と共に吸い上げ、次に所要位置で液体と共に吐出する。あるいはノズル内に微小粒５と接着剤、液晶、薬液等の液体を混在さし所要位置で液体と共に吐出する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおけるノズル間での吐出量の差を低減させること。
【解決手段】吐出装置におけるインクジェットヘッドが、インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有している。そして、複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、複数の吐出ブロックに分散して配置され、複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、第２吐出ブロックは第１吐出ブロックと第３吐出ブロックとの間に配置されている。さらに、第２吐出ブロックに供給される第２液状体は、第１吐出ブロックに供給される第１液状体及び第３吐出ブロックに供給される第３液状体よりも粘度が低く、第１液状体、第２液状体及び第３液状体は共通の機能性材料からなる溶質を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾位置のズレ及び着弾面積のバラツキを防止することができる液滴噴射塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射塗布装置１において、塗布対象物２の表面に形成された撥水膜に向けて、撥水膜を除去する光を点状に照射する照射部Ｈ１と、撥水膜が除去されて点状に露出する塗布対象物２の表面である複数の親水領域に向けて液滴を噴射する液滴噴射ヘッドＨ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を変更することなく、１階調目のドロップ数のみを増やすことなく、濃度むらが発生し品質低下をすることがない、高品質なカラーフィルタを製造することができるインクジェット吐出装置を提供する。
【解決手段】基板と基板上にパターン状に設けられた隔壁とで形成された基板の各開口部に、複数のノズルからインク総量が等しくなるようにインクを吐出する装置であって、
複数のノズルを有するインクジェットヘッド（１）が複数個整列して並んでいるインクジェットヘッドユニット（２）と、
各インクジェットヘッド（１）と各ノズルの位置情報を取得する取得手段と、
各ノズルの吐出ばらつき情報を格納する格納手段と、
前記位置情報と前記吐出ばらつき情報から各ノズルの吐出パターン情報を自動的に生成する生成手段と、
前記吐出パターン情報に基づいて各ノズルからのインクの吐出を制御する制御手段（４）と、
を備えたインクジェット吐出装置。 （もっと読む）

【課題】基板から離れた待機位置から基板に移動して基板に液滴を配置するとき、基板に
供給される液滴の量を一様にすることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供す
る。
【解決手段】、液滴吐出ヘッド本体４０ａのノズルプレート４１の近傍位置にカートリッ
ジヒータＨを設けるとともに、液滴吐出ヘッド本体４０ａであってカートリッジヒータＨ
よりノズルプレート４１より離間した位置にペルチェ素子ＰＴを設けた。カートリッジヒ
ータＨにて液状体が加熱されている液滴吐出ヘッド４０が待機しているとき、ペルチェ素
子ＰＴを使って、待機ステージの周辺の温度を調整することで、液滴吐出ヘッド４０が吐
出をしている状態と同じ状態にすることできる。 （もっと読む）

【課題】微粉末を大面積に高密度に配置する手段を提供する。
【解決手段】微粉末を基板上の所定の位置に配置するための塗布装置であって、前記基板を支持する部材１０５と、前記基板表面にそれぞれの先端を近接させ、互いに平行に配置された複数のブレード１０１と、前記ブレードと前記基板との間に前記微粉末を溶媒に分散した分散液を供給する機構と、前記ブレードと前記基板とを前記ブレードに対して垂直方向に相対的に移動させる機構１０３とを有する塗布装置。 （もっと読む）

【課題】画像を形成するためのノズルよりも少ない数のノズルによって、画像を形成する液体滴の吐出量に相当する量で媒体の変形を緩和させるために使用される液剤を吐出すること。
【解決手段】媒体上に第１液体滴を吐出して画像を形成する第１液体吐出部と、第１液体滴によって生ずる媒体の変形を緩和させるために、媒体に第２液体滴を吐出する第２液体吐出部と、第１液体吐出部に印加して第１液体滴を吐出するための第１駆動信号ＣＯＭ＿Ａと、第１駆動信号と異なる第２駆動信号ＣＯＭ＿Ｂであって、第２液体吐出部に印加して第２液体滴を吐出するための第２駆動信号を生成する駆動信号生成部６８と、を備える液体吐出装置。 （もっと読む）

【課題】ペーストを塗布しようとする基板を、ダイヘッドの進行方向にペーストが流下するように傾斜させることで、塗布膜厚に対して１．５倍以上のコーティングギャップをあけて塗布しても、ペースト内にエアーが混入しないようにする。
【解決手段】基板を水平に載置するテーブルと、基板に向けてペーストを吐出するノズルを有し、テーブルの載置面に対して一定の距離を隔てて相対的に水平移動可能なダイヘッドを備え、ダイヘッドをテーブルの載置面に対して一定の距離を隔てて相対的に水平移動させながら、ダイヘッドのノズルからペーストを吐出させて前記基板にペーストを塗布する際、ダイヘッドの進行方向にペーストが流下するように、テーブルの載置面を傾斜させる傾斜機構をテーブルに設ける。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上に凸凹のない平坦な塗布膜を形成すること。
【解決手段】このレジスト塗布処理において、２回目以降のＹ方向走査では、レジストノズル１５４の直ぐ後で超音波照射部１６０をオン状態で、つまり両帯状レジスト液膜Ｒ(1)，Ｒ(2)の境界Ｅ付近に向けて超音波を放射させながらレジストノズル１５４と一体に移動させる。この超音波照射部１６０の超音波照射走査により、両帯状レジスト液膜Ｒ(1)，Ｒ(2)の境界Ｅ付近では、レジスト液が低粘度化ないし流動化して、液膜表面が基板面と平行な方向（水平方向）に均され、凸凹が除去される。 （もっと読む）

【課題】気流の影響を抑制しつつ、液状体のより安定した吐出量を確保することができる
液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド加熱ヒータ２１に装着され該ヘッド加熱ヒータ２１により加熱される
液滴吐出ヘッド２０から、液晶Ｆの液滴Ｆｂをマザーガラス基板１００に吐出して液晶Ｆ
を配置する。ヘッド加熱ヒータ２１のマザーガラス基板１００側に露出するノズル形成面
２５ａよりも、ヘッド加熱ヒータ２１をマザーガラス基板１００側に突出させて、ノズル
形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の空間Ｓを加熱する。 （もっと読む）

【課題】支持体フィルムへ塗工膜を均一性を保ちつつ設ける塗布方法およびこの塗布方法によるダイコーティング装置を提供する。
【解決手段】支持体フィルムの特定箇所へカバーフィルムをカバーフィルムラミネートロールによりラミネートし、次に、前記支持体フィルムをコーティングロールで保持しつつコーターヘッドから塗料を前記支持体フィルムに塗布し、その際に、前記コーターヘッドを前記カバーフィルムに突き当て前記塗料を前記支持体フィルムに塗布し、次に、前記支持体フィルム上を乾燥炉に導入し前記支持体フィルム上の前記塗料を乾燥させ、次に、前記支持体フィルムから、前記カバーフィルムを剥離しカバーフィルム巻取りロールに巻き取り、次に、前記支持体フィルムを巻取りロールに巻き取る。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、液晶表示装置のシーリング剤ディスペンサ用センサーに係り、シーリング剤の吐き出されるノズルと基板との間の高さを正確に測定できる変位測定センサーに関する。
【解決手段】
本発明による変位測定センサーは、レーザービームを基板に向けて出力する発光部と、前記発光部から出力されたレーザーの受信される受光部とを含むが、前記発光部及び受光部は、互いに離隔されて一体型とからなり、前記発光部と受光部との間には、ディスペンサのシリンジ下部が取り付けられる結合孔が形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布均一性、塗布形状のバラツキの少ない安定した形状で、高精度に生物活性物質を塗布できる生物活性物質の方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板４に溶液を塗布する塗布部材１であって、内部に毛細菅流路９を有する突起部と、基板４に対向し突起部１５内の毛細菅流路９中からの溶液がメニスカスを形成する突起部１５先端の第１の基準面８と、突起部１５を包囲し、第１の基準面８より更に基板方向に突出して基板４に接する第２の基準面６を有する支持部１４と、を備え、支持部１４は、基板４に接して当該基板とともに突起部１５周辺に閉空間を形成するとともに、毛細菅流路９に毛細菅力を発生するため当該閉空間に通じる空気穴１６とを有する。 （もっと読む）

溶解装置と、該溶解装置に接続されたコンポーネントとして１つまたは複数の加熱可能な搬送ホースならびに１つまたは複数の加熱可能な塗布弁とを備える熱糊塗布装置において、前記コンポーネントは機械により読み出し可能および有利には機械により書き込み可能なデータ担体を有する。
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【課題】所望の位置に吐出対象物を適切に配置することができる吐出装置および吐出方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る吐出装置は、複数の細胞２０を含有する溶液を保持し、当該溶液の液滴２１を吐出する吐出手段３と、溶液に含まれる細胞の含有量を計測する計測手段４と、計測された細胞の含有量に基づいて、吐出手段３から吐出された液滴２１の進行方向を異ならせる偏向手段５と、進行方向が異なる液滴２１の少なくとも一部を回収する回収手段６と、を有する。 （もっと読む）

液体材料を基板に吐出するシリンジ。一実施の形態では、シリンジは、第一端部及び第二端部を有する筒体と、内部貯留部とを備える。ピストンが、貯留部内に摺動可能に配置されると共に可動であり、筒体の第一端部付近で内部貯留部の容積を増減する。ピストンの第一端部は、ピストンが第一端部の方向に移動するときに筒体の第一端部から液体を吐出するように、頂部が突き出た半球形状表面輪郭を有する。
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【課題】塗液への引火、塗布むらの発生、および樹脂フィルムのしわや破断の発生を防止し得る塗布装置を提供する。
【解決手段】樹脂フィルム２０１の移動に伴って回転させられつつ樹脂フィルム２０１をその外周面３１ａで支持するバックアップロール３と、樹脂フィルム２０１に蓄電した静電気を除電する除電装置５と、バックアップロール３によって支持された状態で移動している樹脂フィルム２０１の表面に向けて塗膜形成用の塗液を押し出す押し出し部４とを備えて樹脂フィルム２０１の表面に塗液を塗布可能に構成され、除電装置５は、樹脂フィルム２０１がバックアップロール３の外周面３１ａから離反する離反位置Ｃの近傍に配設されている。 （もっと読む）

【課題】統合部品が経済的に競合できるスピードでプレス稼動しても、充分高い強度を有するパックを製造可能にする。
【解決手段】非接触技術によって稼動される接着剤塗布ユニットを備え、かつ、フィーダー及びレストリクターの間、又はそれらに位置する工具内において、制御された高さを有する積重ねラミネーションを製造する方法。上記レストリクターは、供給された原材料の上又は下表面への接着剤の量を変えながら正確に位置を定めることが可能である。 （もっと読む）