【課題】被描画媒体の温度が変化することによって、被描画媒体が伸縮することに起因して、着弾位置精度が損なわれることを抑制することができる描画装置、及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、被描画媒体を保持する保持手段と、液状体を吐出する吐出手段を備え、吐出手段から吐出された液状体を保持手段に保持された被描画媒体に着弾させることによって、液状体を被描画媒体に配置して、液状体からなる画像を描画する描画手段と、被描画媒体に配置された状態の液状体の硬化を促進させる硬化促進手段と、保持手段の温度を調整する温度調整手段と、温度測定手段と、温度測定手段の測定結果に基づいて、温度調整手段を制御する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液体流路からの放熱を防ぐと共に、ノズル近傍を効率的に加熱することで、噴射する液体の粘度を調節し、信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供することにある。
【解決手段】ヘッドケース３２の側面に装着したヒーター３９と、該ヒーターに少なくとも一部が当接する側面部分３３ａと、該側面部分と連結して、ノズルプレート３４側に屈曲すると共に、ノズルプレートに対してヘッドケースとは反対側で対向する底面部分３３ｂと、により構成され、流路ユニット３８の周縁を覆うヘッドカバー３３と、を備え、底面部分は、ノズルプレートのノズル３７が露出するように窓部３３ｃを開口し、該窓部の開口縁の先端が、ノズルプレートに対して、リザーバー３４に対応する領域とノズルとの間に当接し、ノズルプレートと底面部分との間であって、リザーバーに対応する領域に空隙を形成した液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】複数の所定の塗布パターンで、粘着剤をシート状基材に塗布することができ、また、気泡シートの付加価値などを向上させることができ、さらに、粘着剤をシート状基材に薄く塗布することができる粘着剤塗布装置、粘着剤塗布方法、粘着剤付き気泡シートの提供。
【解決手段】シート状基材１１の幅方向に対応して配設され、粘着剤塗布のオンオフを制御する複数の開閉弁及び粘着剤塗布手段３本体を有し、かつ、前記開閉弁に対応する所定の塗布幅及び所定の塗布位置、並びに、前記粘着剤塗布のオン時間に対応する所定の塗布長さを有する一又は二以上の塗布領域に、粘着剤を塗布する粘着剤塗布手段３と、この粘着剤塗布手段によって、前記粘着剤の塗布される転写ベルト２と、前記粘着剤の塗布された前記転写ベルト２に、走行する前記シート状基材１１を押圧し、該シート状基材に前記粘着剤を転写させる押圧ローラ４とを備えたことを特徴とする粘着剤塗布装置１。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの射出力を増大させて高精度の液滴射出を担保し、コンパクトなユニット化を可能とし、製作上の利便性に優れた液滴射出装置を安価に提供すること。
【解決手段】縦長型ケーシング１０１が、下端面に微小径な射出孔を有する射出ノズル１０５を取り付けるとともにその上部にシリンダ孔１２０を開口して該シリンダ孔にプランジャー１０４を摺動可能に配設し、ケーシング１０１内には、ケーシングに固定される取付部材１１３に上端面を取り付けた積層型の圧電素子１０３を配設して、その圧電素子の下端に前記プランジャーの上面を衝合させ、前記シリンダ孔１２０の先端に前記射出孔へ連なる液溜室１３１を形成し、液溜室には射出液を導入する供給口管１０６の供給路１３４を接続し、該供給路１３４から供給された液溜室１３１内の射出液を前記圧電素子１０３の駆動によって加圧して射出ノズル１０５の射出孔から射出させるようにする。 （もっと読む）

【課題】毛管状隙間を有するノズルによりレジスト塗布面を迅速に均一に乾燥させることが可能なレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】被塗布面１０ａを下方に向けた基板１０にレジスト液を塗布する方法であって、液槽に溜められたレジスト液を、ノズル２４の毛細管現象によって被塗布面１０ａに導いて接液させ、ノズル２４と基板１０とを水平方向に相対移動させることにより、被塗布面１０ａにレジスト液１１０を塗布し、被塗布面１０ａに対し、一定方向にほぼ一定の相対流速で被塗布面１０ａと平行な気流を供給し、気流を被塗布面１０ａに接触させることにより、レジスト液１１０の乾燥を行うレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ゲル状異物を効率よく排出させる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引する吸引部と、前記液滴吐出ヘッドに対して前記機能液が供給される流路に設けられたフィルターと、前記フィルターを加温する加温部と、前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引させる第１クリーニングモードと、前記フィルターを加温させながら前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引させる第２クリーニングモードと、を選択的に切り替える制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に溶液を所定のパターンで塗布したときに、そのパターンの周辺部の膜厚が他の部分よりも厚くなるのを防止する塗布装置を提供することにある。
【解決手段】基板に溶液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、
溶液を基板に噴射する複数のノズル１４を有するヘッド７と、基板がヘッドの下方を所定方向に沿って通過するようこれら基板とヘッドを相対的に移動させるテーブル３と、ノズルから基板の幅方向の端部に噴射塗布される溶液の量が、端部よりも幅方向の内方に噴射される量の方が多くなるよう制御する制御装置１００とを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の領域毎に所望の量の液状体を生産性良く塗布可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は液滴２９を吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッド２２を備える。液滴吐出ヘッド２２は複数種類の吐出量の液滴２９を同時に吐出する。液滴吐出装置は吐出制御部を備え、吐出制御部はノズル毎に吐出量を制御する。液滴吐出ヘッド２２はノズル毎に液滴２９を吐出する駆動素子を備え、吐出制御部は吐出量に対応する駆動波形７４を駆動素子毎に出力し、駆動素子は駆動波形７４に応じて液滴２９を吐出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ゲルにより封止される部分に水分や気泡がトラップされることを回避し、さらに当該部分に水分や気泡がトラップされた場合にはこれを除去しパワーモジュールなどの特性ばらつきを抑制することができるゲル注入器およびそれを用いたパワーモジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】チャンバーと、該チャンバーに取り付けられ該チャンバー内部にゲルを注入する注入ノズルと、該チャンバーと接続され該チャンバー内の減圧を行う真空ポンプと、該チャンバーと接続され該チャンバーに超音波振動を与える超音波発生器とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥する前に連続的に精度良くスピーディーに薄膜を形成できる両面塗工が実現でき、特にリチウムイオン電池形成材の作製にあたってこの基材となる金属製フィルム（被塗工体５）を傷付けたりノズル部の先端接触部の摩耗による寸法精度の狂いや交換や再調整の必要性やその頻度、そして摩耗粉の発生・混入による不良も低減でき、従って、このスピーディーに行える両面塗工でリチウムイオン電池形成材の作製が実現できる画期的な薄膜塗工装置並びにこれを用いた両面薄膜塗工装置を提供すること。
【解決手段】被塗工体５と摺動接触するノズル部４の先端接触部６を、セラミックス，超硬金属若しくはモリブデンで形成した薄膜塗工装置。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構や制御を要せずに液垂れを防止し得る液体滴下装置及び液体滴下装置における液垂れ防止方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液体滴下装置１０は、滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブ１１と、チューブ１１の一端１１ａに接続され、下端に液体の滴下口１２ａを有するノズル１２と、チューブ１１を介してノズル１２に液体を送液する送液手段２１Ａ，２１Ｂとを備えている。液体滴下装置１０は、滴下口１２ａの下方に位置する被加工物３０に滴下口１２ａから液体を滴下する。滴下口１２ａは、平面視において多数の流路に区画されている。ノズル１２は、チューブ１１が接続された状態で移動可能に配置されており、ノズル１２の移動により、チューブ１１が屈曲してその内部の流路が閉塞するようになされている。 （もっと読む）

【課題】粒径の大きなインクを用いる場合であっても安定した印字品質が得られる、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板にインクを吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクパック１５０，１５１と、インクパック１５０，１５１の外面に設けられる少なくとも一つの振動子１６０と、を備える液滴吐出装置である。 （もっと読む）

【課題】低粘度の塗工液でも液垂れ現象を生じさせず均一に精度良く塗工でき、しかも着脱用載置部に載置させた水平着脱位置でノズル部の着脱搬送作業が行え、例えばＣＮＴやＬＲなどの低粘度で１０μｍ以上の膜厚が要求される塗工装置の実用化が図れる極めて優れた画期的な薄膜塗工装置を提供すること。
【解決手段】着脱用載置部５に載置した水平着脱位置のノズル部２を、前記支承ロール３の上部で対設する上部位置に移動させこの上部位置でノズル部２を下方に向けて保持して、前記支承ロール３で支承されている前記被塗工体４に塗工液を塗工するノズル移動保持機構６を備えた薄膜塗工装置。 （もっと読む）

【課題】基板へのナノ構造体の塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば，少なくとも１以上の第１のノズルを設けた対向板を塗布対象の基板に対向させかつ前記基板に対して相対的に平行移動させた状態で、第１のノズルからナノ構造体分散液を吐出させることを特徴とする基板へのナノ構造体の塗布方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージ本体１６と、基板に紫外線硬化型インクを吐出する液滴吐出ヘッド６０と、ステージ本体に載置される基板に対して紫外線を照射する紫外線照射部９５と、液滴吐出ヘッド６０におけるフラッシング処理を行うフラッシング部１７と、少なくとも紫外線照射部９５からの紫外線照射時に、フラッシング部１７のインク被吐出面をステージ本体１６の基板載置面１６ａから退避させる退避機構１８と、を備えた液滴吐出装置である。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ調整が容易な間欠塗工装置の提供。
【解決手段】ケーシング１６、弁装置１７及び体積調整装置２８を備えてダイへ塗工液供給を断続的に行い、弁装置１７は、ケーシング１６の分岐空間１６ａとダイ側空間１６ｂの境界に設けた弁座１９と、弁座１９に液漏れなく内嵌して着座状態のまま吸引・圧送用寸法だけ移動して閉弁端位置まで進退自在な弁体１８と、弁体用操作装置２１とを備え、体積調整装置２８は、分岐空間１６ａと還流路１５の間に設けた外嵌部２９と、外嵌部２９との間で通液路３０ｃを形成して外嵌部２９に移動自在に内嵌するピストン３０と、弁体１８が閉弁端位置Ｂから開弁端位置Ａへ向かって前進するときにピストン３０を分岐空間１６ａへ向かって前進させ、弁体１８が閉弁開始位置から閉弁端位置へ向かって後退するときにピストン３０を後退させるピストン用操作装置３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に複数回塗布し前記基板上に複数の液状体層を積層する塗布ステップと、前記塗布ステップによって前記液状体の塗布される塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 高品質のワニス処理を実現する。
【解決手段】 回転電機１００のコアの中心軸１００ａを水平面に対して４５度傾斜させ、さらに、回転台座５を回転し、回転電機を中心軸を中心に自転させる。
この状態での、回転電機の傾斜上端部１００Ｕに向かって、ノズル３０によってワニス２００を流下する。回転電機は自転することによって、傾斜上端部となる回転電機の部分が循環・周回し、回転電機の端部全体にワニスが供給される。巻線に流下したワニスは、重力により中心軸下方および巻線周方向に流れ、巻線表面全体にワニスが供給される。このように、重力および回転電機自体の動きによって、ワニスを巻線表面全体に拡げるので、ワニスの供給量を最小限に抑えることができ、歩留りを改善し得る。 （もっと読む）

【課題】エッジガイドの保持力および安定性を高める。
【解決手段】エッジガイド１はダイから噴出した塗料を上面に沿って流下させるガイドプレートから高速で走行するウェブｗ上面に流れ落ちる塗料のカーテン膜の両端部を挟むように設けられ、内側の面１９に潤滑液が流れて、塗料カーテンと内側の面１９との粘性による流れの阻害を軽減するようになっているネックイン防止用の１対のエッジガイド１であって、内側の面１９の上端付近に潤滑液ｈの供給口２５、内側の面の下端付近に潤滑液の吸入口２６が設けられ、内側の面１９の潤滑液の供給口２５と吸入口２６との間の帯状の領域には潤滑液の流れる溝２１が設けられており、溝２１の外側は傾斜面２２になっていて、溝の両側の端部は盛り上がってシャープなエッジになっており、エッジガイド１の上端はガイドプレートの下端に対して、ウェブ進行方向、ウェブ幅方向および上下方向に位置が調整可能になっている。 （もっと読む）