【課題】流出させて印刷ロール又は印刷板にコーティングされる被印刷物の流出量を調節することのできる印刷装置と、この印刷装置を用いて印刷ロールにコーティングする方法、およびこの印刷装置を用いて液晶表示装置を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る印刷装置は、複数のノズル部を含む胴体部と、この胴体部の内部に形成され、被印刷物を収容するための複数の収容溝と、複数のノズル部のそれぞれに形成され複数の収容溝と連結して被印刷物を対象物体にコーティングするための少なくとも一つのスリットとを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの作動室側への変形を短時間且つ確実とし、ポンプ室内への薬液充填時間の短縮と薬液充填量を十分に確保できる薬液供給用ポンプを提供する。
【解決手段】作動室２６（凹設部２２ａ）の内壁面２２ｃには、その中心部に給排通路２２ｂの開口２２ｄが位置し、その給排通路２２ｂの開口２２ｄから該内壁面２２ｃの周縁部側に展開する十字状の通気溝２２ｅが形成される。これにより、薬液の吸入時において、作動室２６内の作動エアが給排通路２２ｂを通じて排出（吸引）されて該作動室２６内が負圧になり、ダイアフラム２３の中央部が先に給排通路２２ｂの開口２２ｄ部分を覆う事態が生じた場合、開口２２ｄは作動室２６の周縁部まで延びる通気溝２２ｅと連通しているので、先に当接した中央部から外側に位置する通気溝２２ｅから作動室２６内の作動エアの排出（吸引）が継続可能となる。 （もっと読む）

【課題】蛋白質及びペプチドの少なくとも１種を含有した場合でも熱エネルギーを利用するインクジェット方式により安定に吐出可能である吐出用液体、これを用いた蛋白質及びペプチドの少なくとも１種を含有する液体の吐出方法及び吐出装置を提供すること。
【解決手段】蛋白質及びペプチドの少なくとも１種の水溶液にグアニジン基を有する化合物を少なくとも１種を添加して、熱エネルギーを利用するインクジェット方式での吐出に対する適性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 処理液の液流をコントロールすることにより、洗浄，エッチング処理の均一性の向上を図れるようにし、また、周辺部の洗浄，エッチング量の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 半導体ウエハＷを起立状態に保持するウエハ保持体３０と、ウエハ保持体によって保持されたウエハを収容する処理容器１０と、処理容器内に処理液を供給する処理液供給ノズル４０とを具備し、処理液供給ノズルを、水平方向を軸に回転及び又は揺動可能に形成する。これにより、処理容器内に供給される処理液の液流をコントロールすることができる。 （もっと読む）

【課題】作動流体動作室への空気混入をなくし、スリットコート式塗布装置を常に安定して動作できる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置を提供する。
【解決手段】上記ダイヤフラムポンプ４０では：弁ハウジング２２においてダイヤフラム１８により塗布液室１４と隔離された作動流体動作室２０と連通したピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において、ピストン移動方向に離間した２つの位置でピストンの外周面を密封状態で往復動可能に支持する２つの支持手段２８ａ，２８ｂの間に密封流体供給孔４６が設けられている。この供給孔に密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧して供給されていて、上記内周面において２つの密封支持手段の間には、密封流体供給時に、上記内周面とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔５０が備えられている。 （もっと読む）

【課題】 小型且つ簡素な構成で微量の流体を定量的に吐出でき、吸引・吐出のサイクルタイムが短く、流体の種類に応じた再調整も不要な流体吐出機構１０を提供する。
【解決手段】 ノズル２１ｎを有するシリンジチューブ２１及びこれに内挿されたプランジャ２２を有し、シリンジチューブ２１に対するプランジャ２２の移動速度及び移動量を制御し得るように構成されたシリンジ２０と、シリンジチューブ２１のノズル２１ｎと連結された第１の開口、流体の供給源Ｓに連結される第２の開口、及び流体の吐出用ノズル５０に連結される第３の開口を有し、第２の開口から第１の開口に至る流体の流入経路と、第１の開口から第３の開口に至る流体の流出経路とを選択的に形成し得る三方バルブ３０とを備え、三方バルブ３０における流体の流出経路が直線状に形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 液面の検出に基づいて供給圧力を制御することなく、液体の供給圧力を所定圧力に正確に維持し得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 タンク１内に貯留された液体Ｌをノズル９から所定の圧力で吐出する液圧制御装置において、タンク１内の液圧Ｐｓを検出する液圧センサ１０と、液圧センサ１０の検出信号に基づいて、ノズル９の出力圧Ｐｘを一定に維持するように、タンク１内の気圧Ｐｒを制御する制御部５，１１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 複数回のショット（塗布）を連続して行っても、各ショットでの塗布液の吐出量を一定にすることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】 １回目のショットが終了したならば、開閉弁１４，２１を閉とし、開閉弁１１を開とし、且つシリンジポンプ９を元の位置に戻し、脱気モジュール８を介して再び塗布液貯留空間Ｓ内に塗布液を送り込む。このとき塗布液貯留空間Ｓ内は外部からのエアの巻き込みを防止するため余剰圧力で陽圧になっている。 この後、開閉弁１１を閉じるとともに、分岐配管１５の開閉弁１７を開にする。すると前記したと同様に、塗布液貯留空間Ｓ内の余剰圧力は除去され大気圧に近い圧力まで低下する。このように、各ショットの直前に塗布液貯留空間Ｓ内の余剰圧力を除去することで、ショット毎の吐出前状態を常に一定の状態に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハに対するレジスト液の吐出流量を安定させる。
【解決手段】 ガス圧駆動式でダイヤフラム形の圧送ポンプ２２のガス管路４１には，電空レギュレータ４３が設けられる。電空レギュレータ４３と圧送ポンプ２２との間には，ダイヤフラム形のアキュームレータ４４が設けられる。第３の開閉バルブ２６が開放され，レジスト液吐出ノズル７からレジスト液が吐出されると，圧送ポンプ２２の給気室３１内の急激な圧力変動がアキュームレータ４４により緩和され，短時間で収束する。これにより，給気室３１の圧力によって貯留室３０から圧送されるレジスト液の流量も短時間で安定する。この結果，レジスト液吐出ノズル７から吐出されるレジスト液の吐出流量が安定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を含まない品質の良いレジストパターンをウエーハに形成する。
【解決手段】液体供給源からパーティクルろ過装置９を経て供給される薬液３を吐出ノズル６より吐出してウェーハの表面に吐出する。このパーティクルろ過装置９と吐出ノズル６との間の管路に、薬液３中に含まれる気泡やパーティクルなどの粒子状物質の量を測定する微粒子測定装置１３を介装する。さらに、配管の開閉を行う電磁制御弁１０の制御電圧値および微粒子測定装置１３の測定値を常時収集するデータ収集ユニット１５と、微粒子測定装置１３の測定結果の演算を行う演算装置１６とを設ける。演算装置１６では、ウェハ１枚あたりに塗布される薬液中に含まれる粒子状物質の数を算出し、その粒子状物質の数を規格値と比較することにより、薄膜塗布装置を停止するか否かの判定を行う。 （もっと読む）

制御可能な圧力調整装置（４２）と、圧力センサ（３６）と、流量計（３２）と、制御装置（４８）とを含む流体送出システム（１４）を制御するための方法を提供する。補償係数及びクラッキング圧力の初期値が確定され、流体が分配されている各周期中の複数の時間増分の各々における流体の圧力が測定される。第一の周期中に分配された流体の体積と、第一の周期中の各時間間隔における平均圧力と、第一の周期中の実際の平均流量とが決定される。次に、平均圧力値と、平均流量値と、新しい補償係数と、新しいクラッキング圧力とを使用して、圧力調整装置（４２）を制御して目標流量に対応する圧力を生じさせるための理論流量が決定される。
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印刷流体容器（１２０）は、ほぼ平坦なプロフィールを有する最前部分と、該最前部分と協働し、それにより、囲まれた体積を画定するようになっている終端部分とを備える。上記最前部分は、相補的な構成のインク容器ベイ（１００）とはめ合うように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、コンピュータ制御されたモーターを備えた分配装置を用いるコーティング材料のポジティブディスプレイスメントを使用する装置及び方法を提供する。分配装置の流速は制御され、そしてポジティブディスプレイスメント装置及び方法が分配されるコーティング量を正確なものとする。ポジティブディスプレイスメントコーティング装置及び方法は、部分間で大いにより正確かつ一貫したコーティングを可能とする。ポジティブディスプレイスメントコーティング装置がコーティングの流速を正確に制御するため、コーティングの粘度の相違は分配されるコーティング量に悪影響を与えない。さらに、液体流路又は圧力における相違は分配されるコーティング量に悪影響を与えない。
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