【課題】圧縮気体供給源から供給される気体の気圧に関わらず、基板上に適切な量のペーストを迅速に塗布することが可能なペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト吐出機構１５０において、増圧部１５２は、圧縮気体供給源から供給される圧縮気体を増圧し、電空レギュレータ１５８は、増圧後の圧縮気体を必要に応じて減圧して塗布ノズル部１１２−１におけるシリンジ１４０に送り込む。これにより、シリンジ１４０内の気圧が増加し、当該シリンジ１４０内のペーストがノズル１４２へ押し出され、ガラス基板に向けて吐出される。 （もっと読む）

【課題】 カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な、さらに、ヘッドへの塗布液供給流路部に気泡が入らない、安定した液滴の吐出が可能となる液滴塗布装置を提供することである。
【解決手段】タンク6，7とタンク6又は7に塗布液を補給する補給タンク１２１にを有するカートリッジ収納部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、タンク6,7及び補給タンク121が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、二液型接着剤材料を正確に且つ効率的に混合する改良された吐出システムを提供することである。
【解決手段】接着剤の２つの成分をミキサへと圧送する液体計量システムは、これらの成分を接着剤にするミキサにこれらの成分を送達するマニホルドへと、各成分を圧送する特定の寸法のギアポンプを使用する。ギアポンプは一定の速度比で同じモータによって駆動されるため、ギアポンプのサイズに関連する一定の質量流量比が自動的に確立する。この自己計量システムは既知の接着剤ポンプシステムの複雑さを取り除く。 （もっと読む）

【課題】塗布直後において、塗布面に縦スジ等のムラが生じることなく、均質な塗布を行う。
【解決手段】
走行するウエブ１８に塗布液を塗布するバー２０と、バー２０の下側に設けられ、該バー２０を回転自在に支持するバー受け部材２２と、バー受け部材２２を介してウエブ走行方向の上流側、下流側にそれぞれ隣設され、バー受け部材２２との間にそれぞれ塗布液を供給するスロット３４を形成する上流側堰部材２８及び下流側堰部材３０と、を備え、下流側堰部材３０のウエブ１８と対向するスライド面３０Ａの傾斜角度αは５〜３０度である。 （もっと読む）

【課題】直方体をした接着剤を使用しても、適量の接着剤を供給することが可能で、かつ接着剤同士が癒着しても分離できる接着剤補給装置を提供すること。
【解決手段】接着剤を一定量だけ掬い取り昇降移動する定量枡部材と、昇降移動に契合して昇降する撹拌部材とを有するので、接着剤を補給する際に直方体をした接着剤を使用しても接着剤同士の癒着がなく、一定量の接着剤を接着剤溶融手段に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液を精度よく送液するとともに、メンテナンス性や液置換性等にも優れたポンプを提供する。
【解決手段】基板処理装置１のスリットノズル４１にレジスト液を送液するポンプ７２に、チューブ部材７３を内包するとともに、間接液が封入される筐体７４を設ける。また、筐体７４の内部と外部とを隔てる膜部材７５と、膜部材７５に当接し筐体７４の内部に対して進退するピストンヘッド７６とを設ける。ピストンヘッド７６をＺ軸方向に進出させることにより、筐体７４内の間接液を加圧して、チューブ部材７３を収縮させる。これにより、チューブ部材７３内に貯留されたレジスト液をスリットノズル４１に向けて吐出させる。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高品位な接触塗布を行える塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】サーボガン１００に、被塗布物と接触して該被塗布物に塗料を塗布する接触塗布手段として、先端に塗布体１８１を有するディスペンサーチップ１８０を設ける。ディスペンサーチップ１８０に対する塗料供給圧力は、圧力センサヘッド１９１で検出した圧力室１０３ａ内の圧力値が所定範囲内となるよう、サーボモータ１１４で駆動されるピストン１０２を圧力室１０３ａ内に出し入れすることにより調節し、塗料が垂れ落ちないよう制御する。圧力室１０３ａへの塗料充填、および圧力室１０３ａからディスペンサーチップ１８０への塗料供給はバルブユニット１４２、１４１により制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドから基板に材料を噴射塗布して薄膜を形成する際に、局部的な部分も含めて膜厚の均一性を高め、塗布形状を正確に実現するための薄膜形成装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数のノズルから材料液を吐出するインクジェットヘッドを複数配置したヘッドと、各インクジェットヘッドに材料液を供給するタンクと、ヘッドの下方において載置した基板を駆動用アクチュエーターで水平移動させる搬送テーブルと、搬送テーブルの位置を取得する位置検出手段と、各インクジェットヘッドにヘッド駆動信号を出すヘッドコントローラと、ヘッドコントローラを駆動させるエンコーダパルスを定期的に入力するとともに位置検出手段で取得した位置を基に前記駆動用アクチュエータをフィードバック制御するステージコントローラとからなる薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】汚染及び／又はパターンの欠陥を軽減できる少量液体ディスペンサシステムを提供する。
【解決手段】少量レジストディスペンサは、スピンコータのノズルに、及びスピンコータへの液体供給を制御するために弁を開閉する制御装置出力部に接続可能な逆吸引可能圧力作動弁を含む。ディスペンサは、ガス圧を与えることによって瓶内の流体を加圧する瓶用のホルダを備える。ディスペンサは、例えば、１００ｍｌから３００ｍｌのレジストのレジストサンプルを含んだレジストサンプル事前充填瓶で使用するのに適切である。 （もっと読む）

【課題】発泡性溶融体がスロットノズル組立体の内部で発泡することを防止する。
【解決手段】幅広の帯状に発泡性溶融体を押し出すスロットノズル組立体（２）において、複数の発泡性溶融体通路（２０）と、複数の発泡性溶融体通路と連通する横分配流路（２１、２２）と、横分配流路内に配置された絞り部材（８）と、発泡性溶融体を吐出するためのスロット（２３）と、横分配流路とスロットとを連通し、スロットへ向けて断面積が徐々に小さくなる収束部分（２２ａ）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】精度良く被測定物の重量を測定することができる重量測定装置、液滴吐出装置及び重量測定方法を提供する。
【解決手段】この装置は受皿４５に配置された機能液３８の重量を測定する重量測定装置２５に係る。この装置は受皿４５の上部空間を覆う個別防風カバー４７及び全体防風カバー４８を備え、個別防風カバー４７及び全体防風カバー４８は、それぞれ側面方向から流動する気流を遮断する横風防止部４７ａ、横風防止部４８ａを備える。そして、この装置は個別防風カバー４７及び全体防風カバー４８と受皿４５とが離れる方向に相対移動させる防風カバー駆動装置２８を備える。 （もっと読む）

【課題】 塗装用ブースの処理水中に粉粒状薬剤を混合する作業者の負担を軽減し、塗装ブースに運転に応じた適正な量で薬剤の供給を自動的に行う。
【解決手段】 塗料ミストの捕集に処理水を使用し、その処理水を循環させる塗装用ブースに粉粒状の薬剤を供給する装置として、粉粒状の薬剤を収容するホッパーと、該ホッパーの下方に可動部を設けてふるい目が変化する篩部と、下部に開閉蓋を設けた定量保持室とを連設し、前記可動部を定期的に作動させる駆動装置と前記開閉蓋を定期的に作動させる開閉制御装置を設け、これを塗装ブースの循環水流の上部で前記開閉が行われるように設置する。 （もっと読む）

【課題】樹脂組成物の連続した安定塗布を実現することができるとともに、樹脂組成物を最後まで無駄なく使い切って効率的に使用することができる樹脂組成物塗布装置および樹脂組成物塗布方法を提供する。
【解決手段】シリンジ１は、吐出部５の内面とネジ部７のネジ山の頂との距離が０．１〜０．２ｍｍに設計され、ノズル３と接続部４を介して連結され、加圧によりシリンジ１内を下方向に移動できる蓋部２の中心部に、シャフト部８との距離が０．０１〜０．１ｍｍの穴部２ａが設けられ、これらが塗布機本体１２内に予め固定された設置部位６に固定され、シリンジ１が持ち上げられて、空隙を作らないように、シャフト部８が２０〜５０ｒｐｍで回転されながらシリンジ１内に挿入される。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、塗布ムラを低減し、塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤を収容した液槽からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内に浸漬させたノズル２２の隙間２３を気泡が塞がないように、隙間２３近傍からノズル外側に連通する通路孔３０ａ，３０ｂを経て、気泡を隙間２３以外の部位へ誘導させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、塗布材料の流動圧力による容積変化をなくして、均一な塗膜を確実に得て、歩留まりを向上させることのできる塗布ヘッド及びそれを用いた塗布方法及び塗布装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、材料供給口から塗布材料を供給してスリット状の開口部から塗布材料を吐出する塗布ヘッドにおいて、材料タンクから塗布材料を吸入して材料吐出口から前記材料供給口に直接塗布材料を吐出する材料供給部を設けることにより、塗布材料の吐出を精密に制御することを特徴とする塗布ヘッドの構成とした。 （もっと読む）

【課題】装置コストの大幅なアップなしに、柔軟な素材からなる場合であっても、円筒形部材の内外面を同時に、精度、及び、効率良く塗布を行う円筒状部材の内外面同時塗装方法を提供する。
【解決手段】円筒状部材をその軸が鉛直になるよう保ちながら内外面を同時に塗装する円筒状部材の内外面同時塗装方法において、円筒状部材の内部となるように設けられた、円筒状部材の内面の全周に対し、放射状に第１の塗料を吐出するスリット状の第１のノズルと、第１のノズルに対向するように円筒状部材の外部となるように、円筒状部材の外面の全周に対し、円筒状部材の軸方向に第２の塗料を環状に吐出するスリット状の第２のノズルと、により、かつ、第１のノズルから吐出される第１の塗料が円筒状部材の内面に接触する高さと、第２のノズルから吐出される第２の塗料が円筒状部材の外面に接触する高さと、が同じになる位置で、内外面を同時に塗装する。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させることなく、一度に２種類の常温架橋硬化型塗料Ａ，Ｂを複数の各塗装ガン２ａ〜２ｄに供給可能な塗料供給装置１を提供する。
【解決手段】 混合器６に備えられた各ミキサー６４ａ，６４ｂから各塗装ガン２ａ〜２ｄに到る塗料通路７２，７４の途中にシリンダタンク８２，８４を設け、ここに供給過剰分の塗料Ａ，Ｂを、各塗料Ａ，Ｂでの塗装中に貯蔵する。そして、ミキサー６４ａから塗料Ａを供給して一部の塗装ガンから吐出させている間に、シリンダタンク８４から一時貯蔵分の塗料Ｂを供給して残りの塗装ガンから吐出させる。
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【課題】本発明は、粘性を有するペーストを供給量に係りなく高速で供給できるとともに、ペースト成分の分離等を確実に防止でき、信頼性を向上させたペースト供給装置と、このペースト供給装置を用いて製造性の向上を得る実装基板の製造方法を提供する。
【解決手段】粘性を有するペーストＰを実装基板Ｚに供給するペースト供給装置Ｓは、インジェクタ４が低粘度のペーストを貯留しかつ給出指示に応じて給出し、給出案内路３がインジェクタから給出されたペーストを案内し、冷却素子５が給出案内路での案内途中でペーストを所定温度に冷却して高粘度化して硬化させ、先端が実装基板と対向して設けられるノズル１が給出案内路から導かれた高粘度化した略硬化状態のペーストを受け入れ、回転刃７がノズルに導かれる高粘度ペーストを回転しながら切断し、切断したペースト片部Ｐｐを加速付勢してノズル先端から実装基板へ放出する。 （もっと読む）

基礎をなす基材との関係における実質的に複数の異なる場所において、例えば、複数の異なるタイプのパターン、複数の異なるタイプの塗布技術又はプロセス、又は複数の異なるタイプの周期的動作を有する複数の異なるホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料の堆積物を実質的に同時に実現可能である、新しく、且つ、改善されたハイブリッドホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料供給システムである。本ハイブリッドシステムは、複数の計量ヘッド供給モジュールを有する計量ヘッドがその上部に取付けられた計量ステーションと、一対のアプリケータヘッド供給モジュールを有する一対のリモートアプリケータヘッドとを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。
【解決手段】本システムでは、液体を流通させる主供給ライン１２と、その主供給ライン１２の途中に設けられたポンプ１３と、主供給ライン１２から分岐させて設けられた複数の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎとを備えており、開閉弁２１により各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎが個別に開閉されて当該各ラインにおける液体の流通が許可又は禁止される。圧力制御部３０内のコントローラ３５は、各分岐ラインの開閉が要求される場合に、その開閉に伴う分岐ラインの流量変化分に相当する電空レギュレータ３２の制御量を算出するとともに、分岐ラインの開閉に同期させて、前記アクチュエータ制御量に基づいて電空レギュレータ３２の駆動を制御する。 （もっと読む）