【課題】ワークの表面に帯電している静電気をほぼ完全に除去することによって該ワークの表面に付着している塵を完全に除去できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】処理室２に設けられたワーク搬送手段５と、搬入口３の近傍に設けられた第１静電気除去カーテン１０と、これより下流に設けられた静電気除去エアー吹付け部１１と、これ１１より下流に設けられた静電気除去ブラシ１６と、この上方に設けられた第１塵除去エアー吹付け部１７とを備えた構成とする。したがって、ワークＷの表面に帯電している静電気をほぼ完全に除去して該ワークＷの表面に付着している塵を完全に除去できる。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜厚の均一化を図りつつ、レジスト供給量を極力削減することが可能なレジスト塗布方法およびレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】 ウエハＷを第１の回転速度Ｒ_１で回転させながら、レジストノズルからウエハＷの略中央にレジスト液を滴下してウエハＷの径方向外方に拡げながら塗布する。次いで、レジスト液の滴下終了後、ウエハＷの回転速度を所定時間だけ第１の回転速度Ｒ_１より遅い第２の回転速度Ｒ_２に減速する。さらに、ウエハＷの回転速度を第３の回転速度Ｒ_３に減速する。その後、ウエハＷの回転速度を、第３の回転速度Ｒ_３より速い第４の回転速度Ｒ_４まで加速して、残余のレジスト液を振り切る。 （もっと読む）

【課題】 基板の塗布不要領域に付着物を残さずに基板にダメージを与えることなく塗布液を除去して、必要な領域のみに塗布液を塗布する塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に塗布液を塗布するとき、基板の塗布面の一部に設定された塗布不要領域上に塗布液が不溶となる不溶液を供給して、その塗布不要領域上にその不溶液の液膜を生成する。次に、液膜が形成された後の基板の塗布面上に塗布液を塗布する。そして、基板上に塗布液が塗布された後の基板上から、液膜と共にその液膜内に存在する塗布液を除去する。 （もっと読む）

【課題】
所望の位置にスペーサを配置できる技術を提供する。
【解決手段】
本発明のスペーサ塗布装置１１により、処理対象物５の表面に、表面改質装置２１ａからレーザ光２８₁〜２９_nを射出し、処理対象物５の疎水性表面のレーザ光２８₁〜２８_nが照射された領域を親水性に改質し、スペーサの配置位置に部分的に親水性表面４１を形成する。印刷装置２２ａから吐出液２９₁〜２９_nを吐出し、親水性表面４１を含む領域に着弾させる。着弾した吐出液４２中の分散液が蒸発すると、吐出液４２中のスペーサは親水性表面４１を中心に集合し、密集しあうので、レーザ光２９₁〜２９_nの照射位置に集合させることができる。 （もっと読む）

【課題】 連続した帯状支持体に、液滴吐出ヘッドを用いることによって形成する膜全体の厚さを均一にすることができるようにした薄膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 連続して供給される支持体の表面の濡れ張力が３０〜７０ｄｙｎｅ／ｃｍであり、かつ前記塗布液の表面張力が１５〜５０ｄｙｎｅ／ｃｍであり、前記支持体の表面濡れ張力は前記塗布液の表面張力より高くする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、破泡痕状塗布欠陥の発生を抑制する塗布方法及び塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 塗布方法は、被塗布体に塗布液を過剰に塗布する工程、塗布された塗布液を加圧する工程及び塗布された塗布液の余剰部を除去する工程を有する。また、塗布方法は、塗布液に含まれる溶媒を被塗布体に塗布する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 接着剤塗布面の脱脂処理とプライマ塗布、更にプライマ塗布状態の検査などを、１台のロボットによって完全自動化ができるウインドガラス接着剤塗布の前処理装置を提供する。
【解決手段】 ウインドガラスの接着剤塗布面に対してロボット６によりプライマ塗布などの前処理を行う装置であって、接着剤塗布面に付着した埃や油を除去すると共に脱脂液を塗布する脱脂手段と、脱脂手段が脱脂液を塗布した接着剤塗布面にプライマを塗布するプライマ塗布手段１３と、プライマ塗布手段１３が塗布したプライマの塗布状態を検査してその良否を判定するプライマ検査・判定手段１４を備えた。前記脱脂手段は、接着剤塗布面に付着した埃や油を除去して脱脂液を塗布するフエルト部材１１と、フエルト部材１１を保持するフエルト保持機構１２と、フエルト保持機構１２に保持されたフエルト部材１１を再生するフエルト再生機構からなる。 （もっと読む）

液滴吐出法により吐出する液滴の着弾精度を飛躍的に向上させ、微細でかつ精度の高いパターンを基板上に直接形成することを可能にする。もって、基板の大型化に対応できる配線、導電層及び表示装置の作製方法を提供することを課題とする。また、スループットや材料の利用効率を向上させた配線、導電層及び表示装置の作製方法を提供することを課題とする。本発明は、主に絶縁表面を有する基板上において、液滴吐出法によってレジスト材料或いは配線材料等を直接パターニングを行うに際し、液滴着弾精度を飛躍的に向上させることが可能になる。具体的には、液滴吐出法による液適の吐出直前に、所望のパターンに従い基板表面上の液滴着弾位置に荷電ビームを走査し、そのすぐ後に該荷電ビームと逆符号の電荷を液滴に帯電させて吐出することによって、液滴の着弾位置の制御性を格段に向上させることを特徴とする。
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【課題】基板上の濡れ性を向上させる処理が行われた後、所定時間内に基板上に膜を形成する材料を塗布して均一な膜厚を有する膜を形成する成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜ライン２は、表面改質処理装置４、成膜溶液塗布装置６、乾燥装置８、時間管理装置１４、ベルトコンベアＢＣ１、ＢＣ２、駆動装置１２及び制御装置１０により構成され、表面改質処理装置４では、ベルトコンベアＢＣ１により搬送された基板上に表面改質処理を施す。時間管理装置１４では、表面改質処理が施された基板が予め設定された成膜処理可能時間を経過しているか否かを判定し、成膜処理可能時間内の場合にはベルトコンベアＢＣ１を介して成膜溶液塗布装置６に、成膜処理可能時間を経過している場合にはベルトコンベアＢＣ２を介して表面改質処理装置４に基板を搬送する。成膜溶液塗布装置６では、ベルトコンベアＢＣ１により搬送された基板に成膜溶液を塗布する。 （もっと読む）

本発明は、それぞれのワーク支承装置（１０９）に各々が配置される表面処理済みワーク、特に車体（１１０）を乾燥するための乾燥装置であって、ワークが乾燥装置トンネル（１０８）を通して搬送方向（１１２）に沿って移動されかつ複数の床要素（１１８）を備える乾燥装置床（１１６）によって下方方向に画定される乾燥装置トンネルを有する乾燥装置ハウジング（１０２）と、乾燥装置トンネル（１０８）を通してワークを搬送する搬送装置（１３８）と、を備える乾燥装置に関する。この目的のために、搬送装置（１３８）が、搬送方向（１１２）に連続して配置されかつ少なくとも１つの支承ローラ（１４２）を各々が備えるとともに乾燥装置トンネル（１０８）を通して搬送されるときにワーク支承装置（１０９）が載置される複数の支承ローラユニット（１４０）を備え、これらの支承ローラユニット（１４０）は、乾燥装置床（１１６）のそれぞれの床要素（１１８）に別個に装着可能である。
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【課題】 リールツーリール方式と液滴吐出方式とを用いたパターン形成技術を確立する。
【解決手段】 リールツーリール方式と液滴吐出方式により、帯状基板上にパターンを形成する。そして、液体材料を配置する空間に隣接する空間での所定処理の間、液体材料の配置を休止する。 （もっと読む）

【課題】密着強化処理装置において、密着強化処理後、密着強化剤が処理装置内に残存して処理装置外に漏洩するのを防止する。
【解決手段】液晶表示パネル等基板の密着強化処理を行なう密着強化処理装置が、基板５を保持する昇降可能な載置台４と、載置台４と合体して、載置台４上に保持された基板５の密着強化処理空間Ｓを画成する凹部６ａを有する蓋体６と、載置台４を昇降させる昇降手段７と、密着強化処理空間Ｓに密着強化剤のガス及び不活性ガスを交互に供給可能なガス供給手段８と、載置台４の下方に載置台４の周囲を取り囲むようにして設けられ、多数のガス吸引細孔を有する排気ダクトを有するガス排出手段と、昇降手段７が載置台４を下降させて、載置台４と蓋体６との合体を解いている間、ガス排出手段が排気ダクト内を吸引、排気するようにガス排出手段を制御する制御手段１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】印字前のメディアの表面を活性化させ、印字後のインクの密着性を高め、高精度の印字ができるようにする。
【解決手段】描画装置は、インク吐出型の印字ヘッドを搭載したヘッド部とテーブルとを備え、前記ヘッド部を前記テーブルに対して移動して該ヘッド部の印字ヘッドによってテーブル上のメディアに印字を行う。この描画装置は、前記ヘッド部にその移動方向に沿った方向の両側又は片側に位置させて紫外線照射装置を設けている。この紫外線照射装置によって印字前のメディアに紫外線を照射し、メディアの表面を活性化させる。 （もっと読む）

医療用具の少なくとも一部をコーティングする方法が提供される。上記医療用具は、上記絶縁層上の電極上に位置する絶縁層を有する。上記方法は、上記医療用具の少なくとも一部上に、液状薬剤を配置させる段階を含む。上記方法は、上記電極に静電電位を加える段階、そして上記液状薬剤に別の静電電位を加える段階をさらに含む。上記方法により適用されたコーティングを有する医療器具が提供される。液状コーティングを医療用具に適用するためのシステムが提供される。
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本発明は、コーティング剤を有して移動するよう配置される材料紙匹（６）をコーティングするカーテンコーティングユニット（１）に係る。該コーティングユニット（１）は、紙匹（６）の上方に配置される供給要素（２）を有し得、膜状の流れ（１０）及び紙匹（６）の表面に対するコーティング剤を供給する。加えて、コーティングユニット（１）は要素（７）を有し、該要素を用いてコーティング剤供給要素（２）は、紙匹の幅方向において軸（１２）の周囲に回転され得る。

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【課題】 車体表面上の塵埃を確実に除去可能な車体表面用除塵装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 車体ＢＤ上を移動しながらその表面上の塵埃を除去する車体表面用除塵装置１は、移動方向前方に配置され、車体ＢＤ上を後方に摺動して塵埃を車体ＢＤから分離するワイパー５４を有する第１ワイピング機構５と、その後方に配置されワイパー５４と反対方向に摺動して塵埃を車体ＢＤから分離するワイパー６４を有する第２ワイピング機構６を備えている。また、双方のワイピング機構５、６の間には、車体ＢＤから分離された塵埃を吸引する吸引機構９１が設けられており、それぞれのワイパー５４、６４は車体ＢＤ上を摺動して塵埃を吸引機構９１方向に移動させる。 （もっと読む）