【課題】搬器に付着した塗料に起因するワークの塗装不良の発生を防止しながら、ワークが搭載される搬器の個数の削減および設備の小型化により、設備のコストおよび設置コストを削減する搬送設備を提供する。
【解決手段】塗装ライン１の搬送設備１００は、塗装工程において自動車ボディＷが搭載されている塗装用搬器Ｃ１を搬送する塗装用コンベヤ１１１と、乾燥工程において、塗装工程で塗装された塗装済みボディＷ１が搭載された乾燥用搬器Ｃ２を搬送する乾燥用コンベヤ１１４と、搬器洗浄工程において、塗装工程での塗料が付着している塗装用搬器Ｃ１である塗料付着搬器Ｃｂの洗浄が行われる塗料付着搬器Ｃｂを搬送し、洗浄が完了した洗浄済み搬器Ｃ３を乾燥用コンベヤ１１４まで搬送する搬器洗浄用コンベヤ１１３とを備える。乾燥用搬器Ｃ２は洗浄済み搬器Ｃ３である。 （もっと読む）

【課題】マガジンの移動機構を簡単化して製造コストを低減することができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、液剤塗布後の基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５を新たな基板供給用のマガジン５に交換する場合に、基板回収部Ｒ２から基板回収用のマガジン５を取り除いてその基板回収部Ｒ２にそれまで基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５を次に使用する基板回収用のマガジン５として移動させた後、基板供給部Ｒ１に新たな基板供給用のマガジン５を設置する。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の重量が重い場合でも、特にθ方向の位置合わせを高精度かつ容易に行い得る低コストのアライメント機能付きステージを提供する。
【解決手段】基板Ｓをその処理面を開放して保持するステージ本体４ａを備えたアライメント機能付きステージを有し、基板の処理面に背向する他面に吸着自在な吸着手段８と、前記吸着手段での吸着箇所以外の領域に気体を供給する気体供給手段９と、前記吸着手段を回転中心として基板が同一平面内で回転されるように前記吸着手段に回転力を付与する駆動手段１０とを備え、前記駆動手段は、前記吸着手段を所定の微小角度範囲内で回転させる微動機構と、前記吸着手段を微動機構より大きな角度範囲で回転させる粗動機構とから構成され、前記粗動機構が前記吸着手段に直結されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低価格化に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１を搬送する搬送部１３と、基材に対して相対移動して、液滴を吐出する吐出ヘッドと、搬送部１３に設けられ、対向する基材の表面の凹凸情報を検出する検出装置１２０と、を備える。検出装置１２０は、基材１の表面に投光した検知光Ｌの反射光を受光した結果に基づいて、表面位置までの距離を計測する測距部１２１と、搬送部１３の移動を制御して搬送部１３の基材１の表面に沿った方向の位置と測距部１２１の計測結果とに基づいて凹凸情報を導出する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供する。
【解決手段】移動装置１は、第１の材料により形成された基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２と、第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３と、一対のガイド部材１２のうちの少なくとも一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１４１とを備える。板バネ１４１は、移動体１３に対して固定される第１のブロック部と、ガイド部材１２ａの延在方向について第１のブロック部から離間した位置に配置され、ガイド部材に沿って摺動する摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、第１のブロック部と第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と
を備える。 （もっと読む）

【課題】露光装置の生産効率を落とさない塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】塗布膜が形成された、露光前の基板を一旦仮置きする仮置き部と、基板の搬送経路における、基板が置かれるモジュールについてメンテナンスを行うために、当該上流側の基板の搬送を停止する時間の長さを設定するための停止時間設定部と、前記仮置き部に置かれた基板の枚数が前記停止時間の長さに応じた、前記処理ブロックによる基板の処理枚数に達したか否かを監視し、達した後に仮置き部の上流側の基板の搬送を停止するように制御信号を出力する制御部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】印刷面が平坦でなく、インクの浸透が悪い印刷物品に対して、フルカラーのインクジェット印刷装置により高品質の印刷を迅速に、且つ、効率良く行う。
【解決手段】装置１は搬入部２、反転部３、印刷部４、搬出部５の順に設置され、各部には搬送チェーンＣＶが夫々設置され、その境界部ではオーバーラップする。搬入部２に搬入されたタイヤＴは、ここでセンタリングし、反転部３を通過し、印刷部４で表面の印刷後、反転部３に逆搬送して反転して裏面を上向きとする。印刷部４に搬送し、裏面の印刷の後、搬出部５から搬出する。印刷部４では印刷面を平坦にしつつ、タイヤＴを回転して所定位置からインクジェットヘッド（５個）により所定の印刷（複数回）を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の画面が面付けされて製造されるガラス基板上に塗布された塗布膜の溶媒を乾燥する減圧乾燥装置において、画面サイズ変更に伴う基板保持ピンの配置位置変更の作業負荷の低減と停止ロスを抑制できる省スペースな乾燥装置を提供する。
【解決手段】溶媒を含む塗布液が塗布されたガラス基板を乾燥する減圧乾燥装置であって、真空吸引可能なチャンバー内に前記ガラス基板を保持する複数の可動基板受けピンを有し、且つ、前記可動基板受けピンの各々のピン配置位置を所望する位置に自動で変更するピン位置自動変更機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】基板に対して反射防止膜を形成する工程、レジスト膜を形成する工程、露光後の基板に対して現像を行う工程を実施する塗布、現像装置において、装置の奥行き寸法を抑えること。
【解決手段】基板にレジスト膜を形成するためのＣＯＴ層Ｂ４と、レジスト膜の下側に反射防止膜を形成するためのＢＣＴ層Ｂ５と、レジスト膜の上に反射防止膜を形成するためのＴＣＴ層Ｂ３と、現像処理を行うためのＤＥＶ層Ｂ１，Ｂ２とを互に積層する。これら積層体の前後に各層に対応する受け渡しステージを積層した受け渡しステージ群を設け、受け渡しステージを介して各層の間で基板の受け渡しができる。またレジスト液を基板に塗布するユニットなどの薬液ユニットについては、横並びの３連カップを共通の処理容器内に配置し、これらカップ内でレジスト塗布などの液処理を行う。 （もっと読む）

【課題】描画ステージの構造が簡素化された液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワーク５を把持するハンド１７を有し、ワーク５を描画ステージ４０に載置するロボット１０と、ワーク５に液滴を吐出する液滴吐出ヘッド５０と、描画ステージ４０の近くに配置されロボット１０が把持したワーク５を撮像可能なカメラ３０と、カメラ３０で捉えたワーク５の画像を画像処理しワーク５の位置情報を演算するワーク位置演算部と、ワーク位置演算部で得られたワーク５の位置情報とロボット１０のハンド１７の位置情報とに基づきワーク５を描画ステージ４０に載置する位置を演算するワーク載置位置演算部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】表面にマークを描画する基板の裏面に位置検出用マークが形成されているときにも、基板の位置及び角度を検出して、生産性良く描画する装置を提供する。
【解決手段】表裏面を有する半導体基板１の表面２ａに液滴を吐出する塗布部１３と、裏面２ｂに形成された第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影しての位置及び角度を検出する基板位置検出部１２と、基板位置検出部１２が検出した半導体基板１の位置及び角度の情報を用いて塗布部１３の所定の場所へ所定の角度で半導体基板１を移動する搬送部１６と、を有し、基板位置検出部１２は、塗布部１３が液滴を吐出する向きと反対の向きから第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板処理動作中に流体を分配する装置。
【解決手段】当該装置は、複数の流体源に結合された複数の分配ノズルを備える中央流体分配バンクと、中央流体分配バンクの第１の側に位置された第１の処理チャンバとを含む。また、当該装置は、中央流体分配バンクの第２の側に位置された第２の処理チャンバと、中央流体分配バンクと第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間で並進するようになっている分配アームとを含む。さらに、当該装置は、第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間に位置された分配アームアクセスシャッタを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の処理部と搬送部とから構成された液滴吐出装置にかかわる。搬送部が各処理部にワークを搬入し難い構造であるときにも、各処理部にワークを搬入して膜を形成できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１に液滴を吐出して塗布する塗布部１０と、液滴を吐出する前に半導体基板１に前処理を施す前処理部９と、液滴が吐出された半導体基板１に後処理を施す後処理部１１と、塗布部１０と前処理部９と後処理部１１との間で半導体基板１を移動させる搬送部１３と、を備え、搬送部１３は半導体基板１を把持する把持部１３ａを有し、塗布部１０と前処理部９と後処理部１１とは半導体基板１を受け渡しする中継場所９ａ，１０ａ，１１ａを有し、中継場所９ａ，１０ａ，１１ａは把持部１３ａの移動範囲内に位置している。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合において信頼性の高い吐出を行うことのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴が吐出された基板に紫外線を照射する紫外線処理部７０と、液滴吐出ヘッド及び紫外線処理部７０を収容する装置本体と、を備えた液滴吐出装置３である。紫外線処理部７０は、処理チャンバー７０ａと、処理チャンバー７０ａ内に収容され、紫外線を照射するランプ部７３を有している。ランプ部７３は、紫外線を照射するランプ７３ａと、ランプ７３ａを収容する筐体７３ｂと、筐体７３ｂ内の雰囲気を装置本体の外部に排気する排気手段７４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】原材料の供給を容易に行うことが可能であり、且つメンテナンス性に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板を搬入する基板搬入部４と、基板に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンス部３３と、液滴が吐出された基板を搬出する基板搬出部９と、を備えた液滴吐出装置３である。少なくとも基板搬入部４、メンテナンス部３３、及び基板搬出部９は、装置を平面視した際における外周辺の一つに沿って配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生が防止された、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０を有する液滴吐出部６５と、液滴が吐出された基板に後処理を行う後処理部７０と、後処理部７０の基板入口又は基板出口が開くときに、液滴吐出ヘッド６０が基板入口又は基板出口から最も離間した位置に配置されるように液滴吐出部６５の駆動を制御する制御部１０３と、を備える液滴吐出装置３である。 （もっと読む）

【課題】たわみを抑制しつつ基板を持ち上げること。
【解決手段】基板９０を載置可能なステージ２０と、旋回部３２を受渡位置と処理位置との間で移動可能なステージ動作機構部３０と、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で旋回部３２の移動軌跡上に配設される外側補助リフトピンを含み、ステージ２０上に載置される基板９０の周縁部に沿った位置に、ステージ２０上面に対して出退可能に配設された複数の外側リフトピン４２と、受渡位置に配設され、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で、第１の外側リフトピンを出退操作可能な出退操作機構部６０と、ステージ動作機構部３０に対して、第２の外側リフトピンに対向する位置に出退方向に移動可能に配設され、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で、出退操作機構部６０の出退操作力に応じて出退方向に移動される突き上げ補助部材７２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬送機構を有する全自動型作業用装置としても、ワークを手動で着脱する半自動型装置（卓上型ロボット）としても使用することができ、生産量にフレキシブルに対応可能な作業装置の提供。
【解決手段】ワークを搬送する搬送ユニットが配設された架台と、架台に着脱自在に配設された卓上型作業装置ユニットとを備える全自動型作業装置であって、卓上型作業装置ユニットが、ワークを保持するワーク保持部と、作業ヘッドと、ワーク保持部と作業ヘッドとを相対移動する相対移動機構を備え、かつ、単独でワーク保持部が保持するワークに所望の作業をすることができること、および、ワーク保持部が、搬送ユニットと連絡する搬送位置と、搬送ユニットと離間してワークに所望の作業をする作業位置とを有することを特徴とする作業装置。 （もっと読む）