【課題】加工不具合の発生を抑制可能なレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置３００は、レーザ光Ｌをパルス発振するレーザ光源２０２と、レーザ光Ｌを支持台上の加工対象物１の内部に集光させる集光光学系２０４と、支持台を移動させるためのステージ１１１と、レーザ光源２０２及びステージ１１１を制御する制御部２５０と、を備えている。この制御部２５０は、レーザ光Ｌを加工対象物１に集光させ、該レーザ光Ｌを加工対象物１に対して切断予定ライン５に沿って移動させることにより、加工対象物１内におけるレーザ光照射面としての表面３から所定距離の位置に、少なくとも２つの互いに異なるピッチを有する複数の改質スポットを形成させ、これら複数の改質スポットにより改質領域７を形成させる。 （もっと読む）

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。
【解決手段】マルチヘッド搭載スクライブ装置は複数のスクライブヘッドと、スクライブヘッドの先端に設けられるホルダジョイント２０と、ホイールチップ１４を備えたチップホルダ１０と、相対移動部とを具備する。ホルダジョイントの下面に形成された開口２３には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン２５が設けられており、チップホルダの一端がホルダジョイントの開口に挿入されれば、チップホルダの傾斜部１６ａが平行ピン２５に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。 （もっと読む）

【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。そして、押込みボルト４８によって、第２回転軸３８ａと略平行な押込み力が付与されることによって、ホルダジョイント３５は、ホルダ取付ブロック４０に対して固定される。 （もっと読む）

【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。昇降部５０は、ホルダ取付ブロック４０を上下方向に移動させることによって、ホルダ３１に支持されたスクライビングホイール６０から保持ユニット１０に保持された脆性材料基板４に押圧力を付与する。固定部５５は、第２回転軸と略平行な固定力を付与することによって、ホルダジョイント３５をホルダ取付ブロック４０に対して固定する。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置に用いられるカッタのチップの取付け及び交換作業の煩雑さを解消する工具を提供する。
【解決手段】チップホルダ６０Ａは、一端に回転自在に取付けられたチップ、及び外周面部の全周にわたって円環状に形成された窪み、側面から突出した操作バー６１Ａを備える。チップホルダ６０Ａは、操作バー６１Ａをホルダ取付け部７０Ａのバー導入溝７１Ａに導入しながら、保持孔部７２Ａに挿入される。操作バー６１Ａがバー導入溝７１Ａの最上部にまで引き上げられると、チップホルダ６０Ａの窪み６２が、保持孔部７２Ａの弾性部材と係合し、チップホルダ６０Ａはホルダ取付け部７０Ａに固定される。また、操作バー６１Ａはバー導入溝７１Ａで回転方向の動きが抑止されるので、チップホルダ６０Ａは、ホルダ取付け部７０Ａの保持孔部７２Ａ内で正確に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】ガラスリボンの耳部を除去する装置と方法、耳部除去によりガラス製品を得ることができる装置と方法の提供する。
【解決手段】主搬送路５に沿って搬送中のガラスリボン２に縦切り線２Ａを形成し、ガラスリボン２を中央部と耳部２ｂとに区分する第１の切り線加工手段７、縦切り線２Ａに沿ってガラスリボン２に曲げ力を作用させてガラスリボン２を割断する割断手段８、割断位置よりも主搬送路５の下流側に設置され、直線移動するガラスリボン２の中央部の幅方向端部から耳部２ｂを離反する向きに方向変更する耳離し手段１１を具備し、耳離し手段１１が、割断後の耳部２ｂ移動方向を主搬送路５の面に対し交差する方向に向く副搬送路側１０に引き込む手段であり、耳部２ｂの方向変更の支点となる搬送ローラー３と、支点となる搬送ローラー３と反対側において耳部２ｂに接触して搬送ローラー３とともに耳部２ｂを押さえる耳部安定保持手段２８を具備する。 （もっと読む）

【課題】 交点飛びの発生を確実に防止することができ、貼り合せ基板として必要な端面強度を得ることができる分断方法を提供する。
【解決手段】 円周稜線に沿って切欠きと突起とが交互に形成されるとともに、切欠きの周方向長さが突起の周方向長さよりも短く、かつ、切欠きのピッチが第一の長さである第一カッターホイールと、切欠きのピッチが前記第一の長さよりも短い第二カッターホイールとの２種類の溝付きカッターホイールを用いて、第一基板の第一方向は第一カッターホイールでスクライブラインを形成し、第一基板の第二方向は第二カッターホイールでスクライブラインを形成し、第二基板の第二方向は第一カッターホイールでスクライブラインを形成し、第二基板の第一方向は第二カッターホイールでスクライブラインを形成するようにして、端面強度と浸透性のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。
【解決手段】複数のスクライブヘッドを有するマルチヘッド搭載スクライブ装置において、ホルダジョイント２０の下面に形成された開口２３には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン２５が設けられている。チップホルダ１０の一端の少なくとも一部は磁性体で構成されているので、チップホルダ１０の一端がホルダジョイントの開口２３に挿入されれば、チップホルダの傾斜部１６ａが平行ピン２５に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を２枚張り合わせて作製したパネルを製品サイズのパネルに分割する簡略化、少スペース化がはかれた加工装置を提供する。
【解決手段】ブレイク手段６０７を、従来のバー型ガラス基板分断手段からホイール型の、回転押圧型ガラス基板分断手段にすることを特徴とすることにより、ガラス基板をスクライブする手段６０２と分断する手段６０７の２種類を合わせ持つ構造にすることが出来、１台でスクライブ処理、ブレイク処理の両方を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】円周稜線に沿って溝が形成されたスクライビングホイールの寿命を長寿命化できるようにすること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先１３を形成する。刃先１３となる円周部分に一定のピッチで微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の間は突起となる。溝と突起の交点で溝側から最も交点に近い位置に接線を引いたときに、溝の両端の接線が成す接線交差角α１を９０°以上１３５°以下とする。これによってスクライビングホイールを用いてスクライブしたときの刃先の欠けを少なくし、長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】１枚のガラス母材から多数の電子装置用のガラス基板を効率よく製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】複数の使用領域に区分されているガラス基板について、その表裏面の一方又は双方に薄膜層を形成する第１工程（ＳＴ２）と、第１工程を終えたガラス基板を内包するようガラス基板の全体を保護フィルムで覆う第２工程（ＳＴ４）と、保護フィルムで覆われた状態で、ガラス基板を保護フィルムと共に、複数の使用領域毎に機械的に切断分離する第３工程（ＳＴ５〜ＳＴ６）と、切断分離された個々のガラス基板から保護フィルムを剥離する第４工程（ＳＴ７）と、保護フィルムを剥離したガラス基板について、その表裏面の一方又は双方にシート材を貼着する第５工程（ＳＴ８）と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】円板状ホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成したスクライビングホイールにおいて、スクライブし分断した脆性材料基板の端面強度を向上させること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周を粗研磨によってＶ字状に形成して研磨面１３とし、次に先端部分を所望の頂角α２となるよう仕上げ研磨により研磨面１６を形成する。更に研磨面１６を超仕上げ研磨し、研磨面１７を形成する。こうすれば刃先の稜線の凹凸を少なくすることができ、スクライブしたときの脆性材料基板の端面強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを製造することができるシートガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】シートガラスの製造方法は、成形された薄板状のガラスの表面に第１の水溶性保護膜を形成する工程と、前記第１の水溶性保護膜が形成された前記ガラスを切断して、シートガラスを作製する工程と、前記シートガラスから前記第１の水溶性保護膜を除去する工程と、前記第１の水溶性保護膜が除去されたシートガラスの表面を検査する工程と、検査された適合品のシートガラスの表面に第２の水溶性保護膜を形成する工程と、を有する。前記第２の水溶性保護膜は、前記第１の水溶性保護膜に対して厚さが厚く、前記第２の水溶性保護膜は、前記第１の水溶性保護膜に対して、ガラス表面に対する密着度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−６）が低い。 （もっと読む）

【課題】ベースプレート上を上下に摺動するスライダとホルダジョイントを保持するホルダブラケットとの間を確実に連結できるようにすること。
【解決手段】ベースプレート１１上に設けられるスライダ１８にホルダブラケット２０を取り付ける。ホルダブラケット２０はボトムプレート１３の貫通孔１３ｂに挿入され、ボトムプレート１３の下面でホルダフランジ２１に連結される。更にホルダブラケット２０は２本のサポートスタンド２５，２６によってホルダフランジ２１に連結される。こうすればスライダ１８を上下動することでホルダブラケット２０とホルダフランジ２１を確実に連動させ、ホルダジョイント２４を上下動させることができる。 （もっと読む）

【課題】スクライブラインを湾曲させる際に、スクライブラインの角度を変化させるモータの基準角度を容易に設定できるようにすること。
【解決手段】旋回モータ３１にエンコーダ３２を取り付け、その回転力をクラッチプレート４１を介してスクライビングホイールを取り付けているキングピン５１に伝達する。クラッチプレート４１は直線状に一対の突出部を有しており、側方より溝を有するリセットバー７０によってその方向を設定して基準角度とする。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を切断するに際し、スクライブ開始時のかかりがよく、交点飛びを防止し、脆性材料の分断面の品質が良好なクライビングホイールを提供すること。
【解決手段】スクライビングホイール１０の円周稜線１１に沿って第１群の溝２１−１〜２１−５を設け、夫々の溝に隣接して第２群の溝２２−１〜２２−５を設ける。第１群の各溝と隣接する第２群の溝との間隔を、脆性材料基板に圧接したときに２つの溝が同時に接することがない間隔とする。これによってかかり性能が良く、端面強度を保持したスクライビングホイールを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を切断するに際し、スクライブ開始時のかかりがよく、交点飛びを防止し、脆性材料の分断面の品質が良好なスクライブ方法とスクライビングホイールを提供すること。
【解決手段】スクライビングホイール１０の円周稜線１１に沿って互いに隣接する溝２１，２２を設け、その間隔を、脆性材料基板に圧接したときに２つの溝が同時に接することがない間隔とする。スクライビングホイール１０を用いて円周の長さだけテストスクライブし、基板と接触した点からスクライブラインが形成されるまでの距離ｄ１を検出する。スクライビングホイールをテストスクライブの終了時と同一の回転角度を保ちつつ判別された距離ｄ１分だけダミースクライブを行い、スクライビングホイールについてダミースクライブの直後の回転角度を保ちつつスクライブする。これによってかかり性能が良く、端面強度を保持したスクライブ方法が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 基板に分断線を形成した後の作業効率を高める。
【解決手段】 基板切断装置は、基板が載置される載置面を有する基板載置手段と、基板載置手段に載置された基板の主面であって、載置面に対向された主面である対向面とは反対側の主面である露出面に対して、分断線を形成する分断線形成手段と、基板の対向面と基板載置手段の載置面とによって画定された密閉領域内を減圧して、分断線に沿った応力を基板に付与する応力付与手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ノーマルカッターを使用するものでありながら、高浸透できれいな溝面の垂直クラックを得ることのできるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】 刃先稜線部に切り欠きが形成されていないノーマルカッターを、脆性材料基板のスクライブ予定ライン上に第一押圧荷重で押圧しながら第一距離を前進させるスクライブ工程と、ノーマルカッターを第一距離より短い第二距離を後退させる工程と、後退させた位置でノーマルカッターの刃先荷重を第二押圧荷重に上げて破壊点を形成する破壊点形成工程と、ノーマルカッターを第一押圧荷重に戻して破壊点から第一距離を前進させるスクライブ工程とを繰り返すことによって、高浸透の破壊点を所定のピッチでスクライブラインに形成する。 （もっと読む）

【課題】素板ガラスが載置される切断部におけるテーブルと、折り割りされたガラス板が載置される研磨部におけるテーブルとを正確に同期させて移動させることができるガラス板の加工機械を提供する。
【解決手段】素板ガラス２２を折り割りするための切断線を素板ガラス２２に形成する切断部１と、切断線に沿って折り割りされたガラス板のエッジを研磨する研磨部２と、これら切断部１及び研磨部２を通して、ガラス板を順次に移送するガラス板搬送部４と、切断部１と研磨部２とに夫々接続されて夫々を制御する制御手段とからなるガラス板の加工機械。 （もっと読む）