【課題】強化ガラスや肉厚ガラスのスクライブ加工において、スクライブ加工時にガラス基板に多量の水ミストを吹き付けても、ガラス基板とガラス基板を支持しているテーブルとの間の隙間にミストの水が入り込むことを防止する。
【解決手段】ガラス基板１の加工装置において、ガラス基板保持用テーブル１０におけるガラス基板１の外周部に当たる位置に切溝２１、２２、２３、２４を刻設し、この切溝２１、２２、２３、２４に排水通路１１を連通させる。これにより、ガラス基板１のスクライブ加工の際に、ガラス基板１に多量の水ミストを吹き付けても、余剰となった水ミストはガラス基板保持用テーブル１０の切溝２１、２２、２３、２４に流れ込み、排水通路１１を通って加工装置の外部に排水されるので、ガラス基板１とガラス基板保持用テーブル１０との間の隙間にミストの水が入り込むことを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】形成すべきスクライブラインに適したスクライブヘッドを容易に得ることができるようにする。
【解決手段】このスクライブヘッドは、スクライブ装置１０に装着され、基板にスクライブラインを形成するためのものであって、ベース部材２１と、ベース部材２１に装着されたホルダ保持部材２３と、先端にカッタホイール４２が装着可能でありホルダ保持部材２３に保持されたホルダ２４と、ホルダ回転制御機構３５ｃ，４５と、を備えている。ホルダ回転制御機構３５ｃ，４５は、ホルダ２４がワーク表面に垂直な回転軸回りに回転自在となるように、あるいはホルダ２４の回転軸回りの回転が規制されるように、ホルダ保持部材２３に対するホルダ２４の保持状態を選択的に切り替える機構である。 （もっと読む）

【課題】ガラス専用カッターホルダーとして、スクライブ後に何らかの要因でカッターヘッドが回動し、カッターホイールの向きがスクライブ方向に対して斜めにずれることがあっても、自動的にカッターヘッドが復帰回動し、次のスクライブ操作で形成するスクライブラインの始端部の曲がりを確実に防止し得るものを提供する。
【解決手段】ホルダー本体１に、先端側にカッターホイール３を枢着したカッターヘッド２が旋回自在に装着され、ホルダー本体１とカッターヘッド２の一方側には、カッターヘッド２の旋回軸線Ｏから半径方向ｒに離れた位置に磁石９が固着され、同他方側には、磁石９に非接触で対向し得る位置に鉄鋼突片１０が設けられる。ホルダー本体１に軸支されたカッターヘッド２は、磁石９と鉄鋼突片１０が磁力吸引によって対向する旋回姿勢において、カッターホイール３が所定のスクライブ方向に沿う向きに配置するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】スクライブラインの種類に応じて、適切なスクライブヘッドを用いてスクライブラインを形成できるようにする。
【解決手段】この装置は、基板に複数のスクライブラインを形成するための装置であって、第１スクライブヘッドを有し基板に第１スクライブラインを形成する第１スクライブユニット１１と、第２スクライブヘッドを有し基板に第２スクライブラインを形成する第２スクライブユニット１２と、を備えている。第１スクライブヘッドは、ホルダ保持部材２３と、先端にカッタホイール４２が装着可能でありホルダ保持部材２３に対してワーク表面に垂直な軸回りに回転自在に支持されたホルダ２４と、を有する。第２スクライブヘッド１２は、ホルダ保持部材２３と、先端にカッタ４２が装着可能でありホルダ保持部材２３に対してワーク表面に垂直な軸回りの回転が規制されたホルダ２４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】スクライビングホイールを長寿命化すると共に、スクライブ後に脆性材料基板を分断したときの基板の端面強度を強くすること。
【解決手段】円板の周囲の側面の中央部分を最大径とするスクライビングホイール基材を用い、その側面にＣＶＤ法によってダイヤモンド膜を形成する。そして側面の中央部分を研磨し、稜線からなる円を含む面がスクライビングホイールの中心軸と垂直となるようにする。これによって稜線部分の荒さを細かくすることができる。このスクライビングホイールを用いて脆性材料基板をスクライブし分断したときに、分断された基材の端面精度が増し、端面強度を向上させることができる。又スクライビングを進めても稜線部分の摩耗が少なく、スクライビングホイールを長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】端子領域形成用の幅の狭い２本の平行なスクライブラインを短時間で正確に加工することのできる基板加工装置および基板加工方法を提供する。
【解決手段】各スクライブユニットは、カッターホイール２３０と、スクライブヘッド２３０ａとを有している。また、各スクライブユニットのうち、少なくとも１つは、シフト機構２１３をさらに有している。カッターホイール２３０は、複数のスクライブ予定ラインのうち、対応するスクライブ予定ラインに沿って転動する。スクライブヘッド２３０ａは、Ｙ軸と略平行な軸心を中心に、カッターホイール２３０を回転自在に保持する要素である。シフト機構２１３は、Ｘ軸方向と略平行な方向にカッターホイール２３０を移動させる。これにより、隣接するスクライブユニットを用いて同時転動される両スクライブ予定ラインの間の距離を、さらに狭ピッチ化することができる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、スクライビングホイール５０の温度を低下させる。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、冷却部７８と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニット１０に保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。冷却部７８は、ノズル７２に供給される窒素ガスを、共通管７５内で冷却する。これにより、調節空間７０ａの雰囲気が窒素ガスにより冷却され、スクライブ時のスクライビングホイールが十分冷却される。 （もっと読む）

【課題】互いに交差するスクライブ予定ラインに沿ってクロススクライブする際に、安定してスクライブ溝を形成でき、しかも後工程での角部の研磨加工を容易にする脆性材料基板のスクライブ方法を提供する。
【解決手段】脆性材料基板Ｇの互いに交差するスクライブ予定ラインＳＬに沿ってスクライブする方法であって、第１工程と第２工程とを含む。第１工程は、交差するスクライブ予定ラインＳＬの交点に、基板Ｇを貫通し、かつスクライブ予定ラインＳＬに沿って延びるエッジ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、１１ｄを有する貫通孔Ｈを形成する。第２工程は、基板Ｇのスクライブ予定ラインＳＬに沿ってレーザ光を照射して加熱するとともに、加熱された領域を冷却し、貫通孔Ｈを起点としてスクライブ予定ラインＳＬに沿って亀裂を進展させる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、調節空間７０ａの雰囲気を調節する。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニットに保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。これにより、脆性材料基板４のスクライブラインＳＬは、低酸素状態で形成される。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に近接した２本のスクライブラインを平行に形成するマルチスクライブ装置を提供する。
【解決手段】スクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂのベースプレート１１には位置決め手段が設けられる。スライド部材２９，３０には２つの取付用プレート３１，３２が並列に設けられる。取付用プレート３１にはスクライブヘッド１０Ａが直接取付けられる。取付用プレート３２にはオフセットプレート２０を介してスクライブヘッド１０Ｂが取付けられる。オフセットプレート２０はベースプレート１１の位置決め手段の取付け位置をオフセット距離だけシフトさせる。これによってスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂを用いて同時にスクライブすることで、オフセット距離だけ隔てた２本のスクライブラインを同時に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】表面が強化された強化ガラスに対して、比較的容易に、かつ安定して所望のスクライブ溝を形成できるようにする。
【解決手段】このスクライブ方法は、圧縮応力を持たせた強化層を表面に有する強化ガラスをスクライブする方法であり、第１工程と、第２工程と、を含む。第１工程は、強化ガラスの表面に、回転可能な刃先を静止させたカッターホイールによって強化層の一部を除去して初期亀裂を形成する。第２工程は、初期亀裂にレーザ光を照射して加熱するとともに、加熱された領域を冷却し、スクライブ予定ラインに沿って亀裂を進展させる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】本手法では、ヘッド部の動作によって、ダイヤモンドポイントの外面のうち、角丸面６７が、脆性材料基板４に接触させられる。そして、脆性材料基板４と接触する角丸面６７から脆性材料基板４に、力（スクライブ荷重）が付与される。続いて、ダイヤモンドポイントの角丸面６７が脆性材料基板４に接触させられ状態で、ダイヤモンドポイント６０が脆性材料基板４に対して相対的に移動させられる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるスクライビングホイール、および、このスクライビングホイールを有するスクライブ装置を提供する。
【解決手段】スクライビングホイール１６０は、ダイヤモンド含有物により成形されており、脆性材料基板４に対して移動させられることによって、脆性材料基板４上にスクライブラインを形成するツールである。スクライビングホイール１６０の刃１６２は、回転軸１６０ｂを中心とした同心円状の内周および外周により形成される円環状体であり、正面視Ｖ字状とされている。刃先１６２ａは、刃１６２の最外周部（すなわち、刃１６２のうち、回転軸１６０ｂからの距離が最大となり、刃１６２の厚さＴｂが最小となる部分）に沿って設けられている。刃先１６２ａは、主として、複数の斜面１６５（１６５ａ、１６５ｂ）と、角丸面１６７と、を有している。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるダイヤモンドポイント、および、このダイヤモンドポイントを有するスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ダイヤモンドポイントは、脆性材料基板４に対して移動させられることによって、脆性材料基板４にスクライブラインを形成するツール（工具）である。ダイヤモンドポイントの刃部６１は、四角錐台形状を有しており、主として、先端面６４と、複数（本実施の形態では４つ）の斜面６５（６５ａ〜６５ｄ）と、複数の角丸面６７（６７ａ〜６７ｄ）と、を有している。また、刃部６１の各稜線６６は、２つの隣接する斜面６５の間に形成された直線部６８と、この隣接する斜面６５のそれぞれと接続する角丸面６７上に位置しており、直線部６８および先端面６４を接続する曲線部６９と、を有している。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせ基板を上下から同時にスクライブするスクライブ装置において、スクライビングホイール同士の直接の接触を防止すること。
【解決手段】上下のスクライブヘッド１９，２０のスクライビングホイール２２，３２の両側に一対のローラ２３，２４，３３，３４を設ける。ローラの先端とスクライビングホイールの先端との距離を貼り合わせ基板の厚さの１／２未満とする。こうすれば貼り合わせ基板の板厚データの入力ミスや操作ミスがあった場合でも、これによってスクライビングホイールの刃先同士の接触の前にローラと貼り合わせ基板とが接触するため、スクライビングホイールの刃先自体の接触を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 スクライブ溝の形成時に、切り粉や端材の飛散によって生じるトラブルをなくすことができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】 カッターホイール１１を加工対象の基板Ｗ上で転動させることによりスクライブ溝を形成するスクライブ装置Ａにおいて、スクライブヘッド７には、カッターホイール１１の側方からカッターホイール１１に向けてパージガスを吹き付けるガス吹出口１６が設けられ、さらにガス吹出口１６とカッターホイール１１との間には、端材の侵入を阻止するための仕切壁をなすとともに、カッターホイール１１に向かうパージガスを、基板面に沿って通過させる開口１７ａを設けたカバー１７が取り付けられるようにする。 （もっと読む）

【課題】平板ガラスから任意の輪郭のガラス板、特に記録媒体用のガラス基板を製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、平板ガラスから任意の輪郭のガラス板を製造する方法に関し、以下の工程を有している。切断装置を用いて、平板ガラスの少なくとも一方の側に輪郭に沿った分断線を或る深さＴ_ガラス板まで刻設し、下敷上にガラス板を配置する。本発明は、分断線に沿って割断部が生じるように前記平板ガラス上に特定の力Ｆを加え、平板ガラスの厚さ全体を貫いて前記割断部をくまなく伸展させ、割断の後でガラス板を分離することを特徴とする。上記ガラス板を記憶媒体用のガラス基板とし、かつ外径および／または内径に対して設けられる円形状の分断線に上記分断線を対応させ、上記切断装置として、レーザ切断装置とするか又は機械的な切断装置を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 スクライブ溝の形成時に、切り粉や端材の飛散によって生じるトラブルをなくすことができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】 カッターホイール１１を保持するカッター取付部材１０と、カッター取付部材１０の支持軸１２を、ベアリング１３を介して回動可能に支持するホルダー９とを備えたスクライブヘッド７が、スクライブ装置Ａのガイドバー３に設けたガイド６に沿って移動できるように取り付けられているスクライブ装置Ａにおいて、スクライブヘッド７にガス吹出口１６が形成され、このガス吹出口１６を、ガイドバー３側が上流になるようにして、カッターホイール１１の刃先部分に向けて吹き出すように形成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の分割のための処理時間を短縮することができ、ゴミの発生が防止されたガラス基板のレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源から、波長が２５０〜４００ｎｍのパルスレーザ光を出射し、マイクロレンズアレイ４０により、レーザ光４２をガラス基板２に照射することにより、１ショットでピッチがｐの加工痕１２を形成する。その後、マイクロレンズアレイ４０をガラス基板２に相対的に、ｐ／２だけ移動させて、最初のショットで形成された加工痕１２の中間に、加工痕１３を形成する。最初のショットでレーザ光４２の照射位置はｐだけ離隔しているので、このショットによりガラス基板の表面に不規則な割れが生じることはない。２回目のショットで、ガラス基板の表面に割れが入る可能性があるが、その場合も、最初のショットの加工痕１２に向けて割れが進行するので、不規則な方向に割れが発生することはない。 （もっと読む）

【課題】内側輪郭線の内側の中心領域を切り抜く内周加工を行う際に、中心領域を確実に分離でき、しかも分離面に欠けが発生しないようにする内周加工方法を提供する。
【解決手段】（ａ）スクライビングホイールの刃先稜線に、スクライビングホイールの軸心方向に対して傾斜させた溝を周期的に形成した傾斜溝付きスクライビングホイールを用いて、脆性材料基板Ｇの第一面上に内周となる内側輪郭線のスクライブラインＣ１を形成するスクライブ工程と、（ｂ）内側輪郭線Ｃ１よりも内側の中心領域Ｇ０と非接触にするための孔４９を設けたプレート４２で基板Ｇを支持するとともに、中心領域Ｇ０に与圧Ｗを与える与圧工程と、（ｃ）与圧Ｗが与えられた状態で、中心領域Ｇ０を冷却して収縮させて、中心領域Ｇ０を分離する中抜き工程とを行う。 （もっと読む）