本発明の実施形態は、プラズマ処理チャンバ内の装置として有用な部品構造に関する。部品構造の一部は、オキシフッ化物含有グレーズ、ガラスセラミックス、及びそれらの組み合わせを用いて共に接合される。接合材料は、ハロゲン含有プラズマに耐性を備えており、望ましい機械的特性を示す。
（もっと読む）

【課題】圧電セラミック素子の製造方法における改良された製造方法の提供。
【解決手段】改良された製造方法は、モールド・キャビティ体１０内に金属板２０を固定し、金属板２０の上面に円筒型中空ブッシング１１を配置する工程、ブッシング１１内の金属板２０上に結合部分となる金属ペースト２１を塗布する工程、圧電セラミック粉末２２を前記金属ペースト２１の上に置く工程、圧縮ピラー１３を圧電セラミック粉末２２に押し付ける工程、圧電セラミック粉末２２が所定の厚さになるように圧縮ピラー１３の位置を調整する工程、前記圧縮ピラー１３を適切な位置に固定１２する工程、および圧電セラミック粉末２２を焼結体として焼結するようにモールド・キャビティ体１０を加熱する工程からなる。まだ二極化していない焼結体を処理して圧電セラミックシート２２になるように、モールド・キャビティ体１０を加熱する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】加熱雰囲気内に配置されたガス体受容部材上にガス体供給用セラミック管を確実に接続する接続方法及びこれを用いた装置の提供。
【解決手段】セラミック管（６０）を略鉛直にしてその下方端部をガス体受容部材（５０）上面に対向させて仮配置するステップと、セラミック管（６０）の周囲に沿ってガス体受容部材（５０）上にガラス体（４６）を配置するステップと、ガラス体（４６）上にセラミック管（６０）の下方端部を載置しながらセラミック管（６０）の上方端部近傍を水平面内で移動しながら位置決めして固定するステップと、加熱雰囲気内にガス体受容部材（５０）を配置してガラス体（４６）を溶解させるステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】接合部の欠陥や密度の不均一等が母材と同程度に少なく、かつ接合していない加圧成形体と同様の機械的加工が可能な高強度の接合強度を有する一体化された加圧成形体を作製するための加圧成形体の接合方法を提供する。
【解決手段】セラミックス原料粉末及びバインダーの混合物を加圧成形して得た複数の加圧成形体を接合する方法であって、第１の加圧成形体の接合面と第２の加圧成形体の接合面の間に、接合中間層として前記セラミックスと同種又は異種のセラミックス原料粉末を含む成形体を挟む工程、および前記接合中間層の成形体を介して第１の加圧成形体と第２の加圧成形体とを加圧して接合する工程を含み、前記接合中間層とする成形体は、第１の加圧成形体及び第２の加圧成形体の弾性率よりも小さい弾性率を有することを特徴とする、セラミックス原料粉末の加圧成形体の接合方法。 （もっと読む）

【課題】屈曲したセラミックス管を容易に製造でき、しかも気密性を保持できるセラミックス管の製造方法を提供する。
【解決手段】管上半部１ａ、管下半部１ｂ、保持体２の夫々の成形体を形成する成形工程と、成形工程によって得られた管上半部１ａセラミックス成形体、管下半部１ｂセラミックスの成形体の夫々を所定の温度で仮焼成すると共に、前記管上半部１ａセラミックス成形体、管下半部１ｂセラミックス成形体の仮焼成温度よりも低い温度で、保持体２セラミックス成形体を仮焼成する仮焼成工程と、前記仮焼成工程によって得られた管上半部１ａ仮焼成体と管下半部１ｂ仮焼成体とを合体させ、一つのセラミックス管仮焼成体とした後、セラミックス管仮焼成体を保持体２仮焼成体によって保持する組立工程と、前記組立工程を経たセラミックス管仮焼成体を仮焼成温度よりも高い温度で焼成する焼成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】焼結部品のバリの欠けを防止しながら、積層体を適切に位置決めした状態で固定することができる固定装置を提供する。
【解決手段】焼結部品７２、７５、７６を含む複数の部品を積層した積層体７０を固定する固定装置１０であって、積層体７０の積層表面に対して進退可能であり、積層表面に当接するガイド部材２５と、積層体を積層方向に加圧する加圧手段２０、４０、５０を有し、前記ガイド部材２５は、各焼結部品７２、７５、７６の稜線に接触しないで積層表面に当接する。 （もっと読む）

高輝度放電ランプは、化学フィルを有するアーク管、該アーク管から延長したキャピラリー、前記キャピラリーを通って前記アーク管に供給された電極、及び前記キャピラリーをシールするフリットシールを含み、このフリットシールは、シリカ（ＳｉＯ₂）０重量％超〜５重量％未満とアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）とジスプロシア（Ｄｙ₂Ｏ₃）及び酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）の内の一方とを含む。このフリットシール材料は、従来のフリットシール材料でシールされたものと比較して、高い作用温度に耐えることができるので、キャピラリーの長さをより短くすることができる。
（もっと読む）

【課題】結晶体と光学ガラスを加熱・加圧して接合する際、結晶体と光学ガラスの界面に空気層が生じないようにする。
【解決手段】光学素子の製造装置１０は、結晶体４０と光学ガラス４２を加熱・加圧して接合する装置であり、結晶体４０と光学ガラス４２を載置可能に対向配置された上型２６及び下型２８と、結晶体４０と光学ガラス４２との接合面の気体を除去する吸引装置２０と、結晶体４０と光学ガラス４２を加熱するヒータ１８と、結晶体４０と光学ガラス４２を加圧する加圧装置２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ひび割れの進展、および接着剤層の水分移動を極力抑制して、以て接着剤層の接着強度の向上を図る。
【解決手段】隔壁により仕切られ軸方向に貫通する多数の流通孔を有する多孔質ハニカムセグメント２が、接着剤層３を介して複数個結束されて構成されるセラミックハニカム構造体１であって、接着剤層３には、該接着剤層３を挟んで対向する２個のハニカムセグメント２、２の各被接着面２ａ、２ｂのいずれかに固設された突起部４が複数個埋設されている。接着剤層３に生じたひび割れは、突起部４に突き当たることによってその進展が阻まれるので、大きな割れ目に成長するのを未然に防ぐ。 （もっと読む）

【課題】素子を形成するSi塊母材で形成された素子の接着面とSi基板の接着面とが接する界面の限られた狭い領域のみを高温にすることによって、素子とSi基板とを接着する。
【解決手段】固体状態の第1のSi塊10及び第2のSi塊12の2つのSi塊を、鑞材であるGe材14を介して接触させて、パルスレーザによる鑞接によって接着する方法である。パルスレーザ光16は、図の上方から第2のSi塊を透過してGe材に照射されている。パルスレーザ光の出力パルス一つ分のエネルギーの大きさは、第1のSi塊及び第2のSi塊とGe材が融解して合金が形成されるための最小の温度に到達するために必要な値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム焼成体の位置ずれや抜けがなく、排ガスの漏れのないハニカム構造体及びこのようなハニカム構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム焼成体が接着材層を介して複数個結束されたセラミックブロックからなるハニカム構造体であって、接着材層を介して隣接するハニカム焼成体の対向する側面のそれぞれには、少なくとも１つの凸部が形成されており、ハニカム構造体の端面側から眺めた場合に、ハニカム焼成体に形成された各々の凸部が重なり合うように形成され、かつ、隣接したハニカム焼成体のそれぞれに形成された凸部同士が隣り合うように形成されていることを特徴とするハニカム構造体。 （もっと読む）

【課題】ハウジングまたは軸との嵌め合い部に損傷が生じにくく、運搬時や取り扱い時に絶縁性能の低下が生じにくく、面圧が高い用途でも割れが生じにくい、電食防止転がり軸受を提供する
【解決手段】内輪１を、厚さ方向（径方向）で分割された第１の鋼製環状体１１および第２の鋼製環状体１２と、両鋼製環状体の間に配置されたセラミックス体１３と、で構成する。セラミックス体１３は、周方向に分割された二つのセラミックス分割体１３ａ，１３ｂからなる。二つのセラミックス分割体１３ａ，１３ｂは、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）焼結体からなり、両者の間に隙間が生じる寸法に形成されている。第１の鋼製環状体１１の外周面には、内輪軌道溝１１ａが形成されている。外輪２は鋼製の一体物であり、内周面に外輪軌道溝２ａが形成されている。玉３は鋼製である。 （もっと読む）

【課題】気体のリークを防止できるほど良好な気密性を有し、かつ、接合部の強度が高いＡｌ合金-セラミックス複合材料接合体を提供する。
【解決手段】Ｍｇの含有量が０．５質量％よりも少ないＡｌ合金をマトリックスとしたＡｌ合金-セラミックス複合材料同士が、その組成がＡｌ、Ｚｎ、Ｍｇおよび、その他不純物成分からなり、ＡｌとＺｎの質量比Ａｌ／Ｚｎが０．８５〜２．３３、Ｍｇ含有量が０．５〜５．０質量％である接合材を用いてなる接合層を介して接合された接合体であって、前記接合層に接したＡｌ合金−セラミックス複合材料のマトリックスのＡｌ合金中に前記接合材のＺｎが拡散した拡散層を有する。 （もっと読む）

【課題】予備混練の作業効率を向上させて、耐熱衝撃性に優れた金属−セラミックス接合基板を効率的に製造することができる、金属−セラミックス接合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ろう材の金属成分を溶剤に加えて容器に入れ、この容器内で羽根を自転させながら公転させてろう材の金属成分と溶剤とを混練する予備混練を行った後、この予備混練によって得られた予備混練物を、３本のロールが隣接して平行に配置された３本ロールミルのロール間を通過させて混練する本混練を行ってペースト状のろう材を作製し、このろう材をセラミックス基板上に塗布し、その上に金属板を配置し、加熱してセラミックス基板に金属板を接合する。 （もっと読む）

複合体は、高温においてイオン伝導性である酸化物材料から製造された２つの構成要素（２ａ、２ｂ）を備え、前記構成要素は、それらの構成要素の間に位置する接続領域（６）において、ハンダブリッジ（４）によって、媒体密な方法で互いに接合されている。信頼できる接続を形成するために、ハンダブリッジは、少なくとも６５％のｗスズの重量比率と、最高で３５０℃の融点とを有し、かつ合金成分として少なくとも１種の活性化金属を含有する低融点スズ合金によって形成されることが提案されている。
（もっと読む）

【課題】高温酸化雰囲気下で使用される金属／セラミック接合体において、金属材料の耐熱性及び／又は耐酸化性、並びに、耐久性を向上させること。
【解決手段】セラミック材料と、該セラミック材料の表面に接合された金属薄層と、該金属薄層の表面に形成された表面層とを備え、前記表面層は、前記金属薄層への酸素の拡散を抑制する機能を有する第２の酸化膜を形成可能な第２の酸化膜形成元素の含有量が前記金属薄層より多い層からなる金属／セラミック接合体及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】比較的高温で熱処理した後であっても、熱処理前の接合強度に対する劣化が比較的小さいメタライズ基板、およびアルミニウムとセラミックとの接合体を提供する。
【解決手段】
セラミック基板の主面に、Ａｇと、Ｔｉと、Ａｌと、を少なくとも含む金属膜が設けられており、前記金属膜と前記セラミック基板との境界部分に、ＡｌとＯとをそれぞれ１０質量％以上、かつＡｌとＯとを合計５０質量％以上含む接合層が形成されていることを特徴とするメタライズ基板を提供する。 （もっと読む）

【課題】 接着材ペーストを充填する際に接着材ペーストの流動性が低くなることを防止して、作業効率よく接着材ペースト層を形成することのできるハニカム構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 原料組成物を成形することにより、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を作製する成形工程と、上記ハニカム成形体を焼成してハニカム焼成体を作製する焼成工程と、保水剤を含む保水性接着材ペーストを調製する保水性接着材ペースト調製工程と、複数の上記ハニカム焼成体を上記保水性接着材ペーストを用いて接着してハニカム集合体を作製する接着工程とを含むことを特徴とするハニカム構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】セラミック層を備えるポンプ用プランジャにおいて、セラミック層を剥がれ難くする。
【解決手段】金属よりなる第１部材１４１の外周側に、焼結セラミックよりなる第２部材１４２を配置して、プランジャ１４を構成する。第２部材１４２は焼結セラミックであるため、第２部材１４２の厚さを十分に大きくすることができる。したがって、１部材１４１と第２部材１４２との界面がプランジャ１４の外周面から遠くなり、その界面に作用するせん断力が小さくなり、第２部材１４２が剥がれにくくなる。 （もっと読む）

【課題】ガス分散板のガス噴出口として用いたときに安定した流量を得ることができるセラミックス接合体及びそれを用いたガス分散板を提供し、また、歩留まり良くガス分散板を製造できる方法を提供する。
【解決手段】加圧焼結により得られ、セラミックス粗粒のネッキング構造を有する多孔質セラミックスと、環状の緻密質セラミックスとが接合層を介さずに直接接合されたことを特徴とするガス噴出口用セラミックス接合体。前記加圧焼結が放電プラズマ焼結であることを特徴とする。 （もっと読む）