本発明の実施形態は、プラズマ処理チャンバ内の装置として有用な部品構造に関する。部品構造の一部は、オキシフッ化物含有グレーズ、ガラスセラミックス、及びそれらの組み合わせを用いて共に接合される。接合材料は、ハロゲン含有プラズマに耐性を備えており、望ましい機械的特性を示す。
（もっと読む）

【課題】
セラミックス基材の中に高融点金属電極層を内蔵した従来のセラミックサセプターでは、内蔵電極層とＮｉ電極棒の接合部で破断、折損等が起こり易い。折損、剥離、破断すると修復不能で、高価なサセプターでも廃棄されるのが常である。本発明は耐酸化性、機密性に優れ、破断、折損し難い新しい構造のセラミックスサセプター（通電部材）を提供する。
【解決方法】
セラミックス基材の中に、該基材と共に同時焼成された高融点金属からなる通電体を内蔵し、該通電体の電極端子との接合部露出面が該セラミックス部材の空所の中に位置してなると共に、該空所に電極端子が埋め込まれて該端子と該通電体露出面および該端子と該セラミックス基材の隙間をＳｉ基合金の層で埋めてなる構造の通電体を内蔵するセラミック部材において、該Ｓｉ合金の層が、該層と接する該通電体露出面および該セラミックス基材面に融着してなることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は複合材料に関し、その複合材料は少なくとも１つのセラミック層又は少なくとも１つのセラミック基板、及び少なくとも１つのセラミック基板の所定の表面の上に金属層で形成された金属皮膜から構成される。 （もっと読む）

シールによって互いに接続されたブロックを備えるセラミック組立体であって、場合によってはそのセラミック体の側面が周囲被覆材で被覆され、そのシールおよび／またはその周囲被覆材が、乾燥鉱物質を基準とした質量百分率で１０％未満の無機繊維を含むセメント硬化体を含み、前記シールにより組み立てられたブロックの向き合う面の少なくとも１面に垂直な断面上に、以後「マクロ細孔」と称される２００μｍから４０ｍｍの範囲の等価直径を有する気孔を、前記断面において前記マクロ細孔により占有される全表面が実測される全表面の１５％を超えかつ８０％未満であるような量で有する組立体。自動車排気ガスの濾過への適用。
（もっと読む）

【課題】本発明は、近年の過酷な切削条件化に耐え得る強固かつ高剛性に接合されてなる立方晶窒化硼素焼結体工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の立方晶窒化硼素焼結体工具は、８０〜９８体積％の立方晶窒化硼素と結合相とを含有する立方晶窒化硼素焼結体が、０．１〜１０重量％のＴｉと１５〜５０重量％のＣｕとを含有し、かつ残部がＡｇと不可避不純物とからなる接合層を介して工具母材上に直接接合され、該接合層に接する該立方晶窒化硼素焼結体の接合面における該結合相は該立方晶窒化硼素中に不連続状態で存在し、その不連続状態で存在する各々の結合相において、その面積が０．０１〜２μｍ²となる結合相が結合相の全面積の８０％以上を占めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミック素子の製造方法における改良された製造方法の提供。
【解決手段】改良された製造方法は、モールド・キャビティ体１０内に金属板２０を固定し、金属板２０の上面に円筒型中空ブッシング１１を配置する工程、ブッシング１１内の金属板２０上に結合部分となる金属ペースト２１を塗布する工程、圧電セラミック粉末２２を前記金属ペースト２１の上に置く工程、圧縮ピラー１３を圧電セラミック粉末２２に押し付ける工程、圧電セラミック粉末２２が所定の厚さになるように圧縮ピラー１３の位置を調整する工程、前記圧縮ピラー１３を適切な位置に固定１２する工程、および圧電セラミック粉末２２を焼結体として焼結するようにモールド・キャビティ体１０を加熱する工程からなる。まだ二極化していない焼結体を処理して圧電セラミックシート２２になるように、モールド・キャビティ体１０を加熱する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】炭化ケイ素系材料製の物品又は構成部材をろう付することによる組立プロセスを提供する。
【解決手段】適度に耐火性の非反応性ろう付によって炭化ケイ素系材料製の少なくとも２つの物品１，２を組立てるプロセスであって、このプロセスでは、前記物品を非反応性のろう付組成物６と接触させ、前記物品及び前記ろう付組成物によって形成された組立品を、耐火性の接合部５を形成するために前記ろう付組成物６を溶融するのに十分なろう付温度まで加熱し、前記非反応性のろう付組成物６が、５６質量％〜７０重量％のケイ素及び４４質量％〜３０質量％のイットリウムから形成される二元合金である、プロセス。 （もっと読む）

【課題】接合部においても、接合する部品自体と同等レベルの強度を有し、接合部周辺に欠落箇所が生じた場合であっても、接合状態を保持し、一体の部材としての機能を維持することができ、半導体製造用部材として好適に用いることができるセラミックス接合体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】凹部を有する第１のセラミックス焼結体に、同一組成からなる第２のセラミックス焼結体が前記第１のセラミックス焼結体の凹部に嵌挿されて接合されたセラミックス接合体を製造する際、前記セラミックス焼結体と同一組成からなる平均粒径５ｎｍ以上７５ｎｍ以下のセラミックス粒子を分散させたスラリー調製工程と、接合面へのスラリー塗布工程と、第１のセラミックス焼結体の仮焼体の凹部に、第２のセラミックス焼結体を嵌挿して、前記接合面同士を合わせた後、１５００℃以上２０００℃以下で焼結させて接合する工程とを経る。 （もっと読む）

【課題】炭化ケイ素系材料でできた物品をろう付けによって組み立てるための方法を提供すること。
【解決手段】酸化性雰囲気下での非反応性ろう付けによる、炭化ケイ素系材料でできた少なくとも2つの物品の適度に耐火性のアセンブリのための方法であって、前記物品を非反応性ろう付け用組成物と接触させて配置し、前記物品及び前記ろう付け用組成物により形成された前記アセンブリを、酸化性雰囲気下で、適度に耐火性のジョイントを形成させるために、ろう付け用組成物を溶融させるのに十分なろう付け温度で加熱し、前記非反応性ろう付け用組成物が、シリカ(SiO₂)、アルミナ(Al₂O₃)、及び酸化カルシウム(CaO)で構成される組成物Aであるか、あるいは、アルミナ(Al₂O₃)、酸化カルシウム(CaO) 、及び酸化マグネシウム(MgO)で構成される組成物Bである方法。
前記ろう付け用組成物及び有機バインダーの粉末を含むろう付け用懸濁物、ペースト。
耐火性ジョイント及びアセンブリ。 （もっと読む）

【課題】複数の多孔質セラミック部材が接着剤層を介して結束された構造のハニカムフィルタを簡略な工程で、安価に製造することができるハニカムフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状の多孔質セラミック部材５０が、接着剤層６１を介して複数個結束され、貫通孔を隔てる隔壁が粒子捕集用フィルタとして機能するように構成されたハニカムフィルタの製造方法であって、複数種類の多孔質セラミック部材を接着剤ペーストを介して組み合わせ円柱形状、楕円柱形状又はこれらに近似した形状のセラミックブロック６０を作製するセラミックブロック作製工程を含み、多孔質セラミック部材として貫通孔の長手方向に垂直な方向の断面形状が略正方形であり、外周に形成された曲面付近であって、その断面形状を略正方形に維持できない部分には、貫通孔が形成されていない多孔質セラミック部材を含む。 （もっと読む）

【課題】捕集した粒子状物質を燃焼する操作（再生）を繰り返したときに、緩衝部に亀裂が発生することを防止でき、ハニカム構造体が分断されることを防止できるハニカム構造体を提供する。
【解決手段】流体の流路となる一方の端面から他方の端面まで延びる複数のセル１を区画形成する隔壁２と、側面５を形成する隔壁２ａから外側に突き出るように配設された、中心軸方向の一方の端部から他方の端部まで延びる突出壁３とを有するハニカムセグメント４を複数個備え、複数のハニカムセグメント４が、互いの側面５同士が所定の距離を離して対向するように隣接して配置され、隣接する複数のハニカムセグメント４間に緩衝部１１が配設されて、緩衝部１１により複数のハニカムセグメント４が接合され、接合された複数のハニカムセグメント４の最外周１２に外周部１３が配設されたハニカム構造体１００。 （もっと読む）

【課題】高い接合強度を有し、接合部の耐食性に優れており、半導体製造用部材として好適に適用することができるセラミックス接合体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】界面活性剤を含む純水のみで構成された分散媒に、セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂと同一組成であり、純度９９．９％以上、平均粒径４００ｎｍ以上６００ｎｍ以下のセラミックス粒子のみを固形分として分散させたスラリーまたはペーストを調製し、前記スラリーまたはペーストを前記セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂの接合面に塗布し、これらの接合面同士を合わせた後、１３００℃以上１６００℃以下で焼結させて、前記セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂ同士を接合する。 （もっと読む）

複数のジルコン構成部材を接合することによって、大きなジルコン・ブロックを作製する方法、およびこの方法に用いるための接合材が開示されている。本発明は、より大型の静水圧プレス装置を必要とせずに大型のジルコン・ブロックを製造することができる。本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置の製造に用いるためのガラスシートの作製におけるフュージョン・ダウンドロー法に用いるための大型のアイソパイプの作製に特に有用である。
（もっと読む）

【課題】 従来の方法により製造したハニカム構造体と同様の特性を有するハニカム構造体を製造することが可能なハニカム構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 炭化ケイ素原料組成物を成形することにより、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を作製した後、上記ハニカム成形体を脱脂処理することによりハニカム脱脂体を作製し、さらに、上記ハニカム脱脂体を焼成処理することにより多孔質炭化ケイ素焼結体からなるハニカム構造体を製造するハニカム構造体の製造方法であって、上記炭化ケイ素原料組成物は、少なくともシリカ粉末とカーボン粉末及び／又は炭素源ポリマーとを含むことを特徴とするハニカム構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム焼成体の位置ずれや抜けがなく、排ガスの漏れのないハニカム構造体及びこのようなハニカム構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム焼成体が接着材層を介して複数個結束されたセラミックブロックからなるハニカム構造体であって、接着材層を介して隣接するハニカム焼成体の対向する側面のそれぞれには、少なくとも１つの凸部が形成されており、ハニカム構造体の端面側から眺めた場合に、ハニカム焼成体に形成された各々の凸部が重なり合うように形成され、かつ、隣接したハニカム焼成体のそれぞれに形成された凸部同士が隣り合うように形成されていることを特徴とするハニカム構造体。 （もっと読む）

【課題】 再生処理等を行った際に、中心部と外周部とで温度分布が生じにくく、パティキュレートの燃え残りが生じにくいハニカム構造体を提供する。
【解決手段】 多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状ハニカム焼成体が、接着材層を介して複数個結束されてなるハニカム構造体であって、ハニカム焼成体は、ハニカム構造体の長手方向に垂直な断面において、中心部に位置する中心部ハニカム焼成体と、外周部に位置する外周部ハニカム焼成体とからなり、中心部ハニカム焼成体の長手方向に垂直な断面の形状は四角形、中心部ハニカム焼成体の長手方向に垂直な断面の面積は、９００〜２５００ｍｍ^２、外周部ハニカム焼成体の上記長手方向に垂直な断面の形状は、中心部ハニカム焼成体の上記長手方向に垂直な断面の形状と異なり、かつ、外周部ハニカム焼成体の長手方向に垂直な断面の面積は、中心部ハニカム焼成体の長手方向に垂直な断面の面積の０．９〜１．３倍であるハニカム構造体。 （もっと読む）

【課題】予備混練の作業効率を向上させて、耐熱衝撃性に優れた金属−セラミックス接合基板を効率的に製造することができる、金属−セラミックス接合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ろう材の金属成分を溶剤に加えて容器に入れ、この容器内で羽根を自転させながら公転させてろう材の金属成分と溶剤とを混練する予備混練を行った後、この予備混練によって得られた予備混練物を、３本のロールが隣接して平行に配置された３本ロールミルのロール間を通過させて混練する本混練を行ってペースト状のろう材を作製し、このろう材をセラミックス基板上に塗布し、その上に金属板を配置し、加熱してセラミックス基板に金属板を接合する。 （もっと読む）

【課題】使用高温域で溶融・流出することなく十分なシール性を実現するシール材及びシール方法と、該シール材で接合部分がシールされているペロブスカイト型酸化物から成る酸素分離膜を備えた酸素分離膜エレメントを提供すること。
【解決手段】多孔質基材１４上に酸素イオン伝導体であるペロブスカイト構造の酸化物セラミックスから成る酸素分離膜１５を備える酸素分離膜エレメント１０であって、その酸素分離膜１５には、少なくとも一つのセラミックス製接続部材１２，１６が接合されており、酸素分離膜１５と接続部材１２，１６との接合部分には、該接合部分におけるガス流通を遮断するシール部２０ａ，２０ｂが、ガラスマトリックス中にリューサイト結晶が析出しているガラスによって形成されている。 （もっと読む）

【課題】ペロブスカイト型酸化物から成る酸素分離膜を備える酸素分離膜エレメントの接合部分（シール部）であって使用高温域で十分なシール性を実現し得る接合部分を備えた酸素分離膜エレメントを提供すること。
【解決手段】 本発明によって提供される酸素分離膜エレメント１０は、多孔質基材１４上に酸素イオン伝導体であるペロブスカイト構造の酸化物セラミックスから成る酸素分離膜１５を備え、その酸素分離膜には少なくとも一つのペロブスカイト構造の酸化物セラミックスから成る接続部材１２，１６が接合されており、酸素分離膜と接続部材との接合部分は、該接合部分におけるガス流通を遮断するシール部２０ａ，２０ｂを構成しており、該シール部はペロブスカイト構造酸化物セラミックスとシリカとから形成されており、該シール部におけるシリカ含有率は８〜１４質量％である。 （もっと読む）

【課題】高い気密性（シール性能）と機械的強度を実現し得る、ＳＯＦＣの固体電解質とセパレータとの間を接合する方法と、該接合方法に使用する接合材、ならびに該接合材から形成された接合部を備えるＳＯＦＣを提供すること。
【解決手段】本発明によって提供されるＳＯＦＣ（１０）は、燃料極（１６）と、空気極（１４）と、ジルコニア系固体電解質（１２）と、該固体電解質と接合するセパレータ（１８Ａ，１８Ｂ）とを備え、該セパレータはランタンまたはクロムの一部がアルカリ土類金属で置換された又は置換されていないランタンクロマイト系酸化物により形成されており、該固体電解質とセパレータとの接合部（２０）は、ガラスマトリックス中にリューサイト結晶が析出している接合材により形成されている。 （もっと読む）