【課題】ガラス基板の熱処理温度域で繰返し使用しても反り変形が発生しにくいガラス基板熱処理用セッターを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガラス基板熱処理用セッターは、結晶化ガラス又はセラミックス焼結体からなり、載置面において深さ３μｍ以上の凹部が、平均して５００μｍあたり１つ以上の割合で存在することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極が緻密に焼結し、めっき液の侵入もしくは湿気の侵入の少ない、すなわち耐湿試験後もしくはめっき後の接着強度を確保し、かつめっきダレ、半田食われを抑制した多層セラミック基板を提供する。
【解決手段】ガラスセラミック２ａと、少なくともガラスセラミック２ａの一方の主面表面上に形成された外部電極４とを備えた多層セラミック基板５において、前記外部電極４はＡｇ、Ａｕ、Ｐｔ及びＰｄのうちの少なくとも一種を主成分とする導電性材料と、さらに前記外部電極４にＢｉ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｚｎ元素のうち少なくとも一種の元素を含有し、かつ少なくとも前記外部電極４の表面に無機酸化物粒子６が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面性状が良好なフラットパネルディスプレイ基板を製造することができるフラットパネルディスプレイ基板製造用棚板を提供する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ基板を載せて熱処理するための棚板であって、光沢度が５度以上であるか、又は写像性が５％以上である。好ましくは熱膨張係数が２．０×１０^−６／℃以下であり、曲げ強さが４０ＭＰａ以上であり、ヤング率が３０ＧＰａ以上である。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ_２系酸化物を含む材料を採用するとともに、隣接する反射層、記録層の劣化が生じ難く、密着性が良好で、尚且つ高速成膜可能であるスパッタリングターゲット及びその製造方法により光情報記録媒体の特性の向上及び生産性を大幅に改善した光情報記録媒体用薄膜（特に保護膜としての使用）及びその製造方法を提供する。
【解決手段】酸化錫相（１１０）のピーク強度Ｉ１と酸化錫以外の酸化物あるいは複合酸化物相のＸ線回折図における２θ＝１５〜４０°の範囲に存在する最大ピーク強度Ｉ２がＩ２／Ｉ１＝０.１〜１であることを特徴とする酸化錫と酸化亜鉛と３価以上の元素の酸化物を主成分としたスパッタリングターゲット。 （もっと読む）

【課題】導電性が高く、異常放電やターゲットの表面黒化のない酸化物ターゲットを提供する。
【解決手段】インジウム（Ｉｎ）及びジスプロシウム（Ｄｙ）を含有する酸化物のターゲットであって、ＤｙＩｎＯ_３で表される酸化物を含有することを特徴とする酸化物ターゲット。 （もっと読む）

【課題】導電性が高く、異常放電やターゲットの表面黒化のない酸化物ターゲットを提供する。
【解決手段】インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）及びガドリニウム（Ｇｄ）を含有する酸化物のターゲットであって、Ｇｄ_２Ｓｎ_２Ｏ_７及び／又はＧｄＩｎＯ_３で表される酸化物を含有することを特徴とする酸化物ターゲット。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の熱処理温度域で繰返し使用しても反り変形が発生しにくいガラス基板熱処理用セッター及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板熱処理用セッターは、板状の無機耐熱材料からなり、一方の面にガラス基板を載置して熱処理するためのガラス基板熱処理用セッターにおいて、ガラス基板を載置する載置面の表面から内部に向かって５μｍ離れた位置でのＫ₂Ｏが１〜５質量％であり、且つ、載置面の表面から内部に向かって１ｍｍ離れた位置でのＫ₂Ｏが０．８質量％未満であることを特徴とする。
また、ガラス基板熱処理用セッターの製造方法は、板状の無機耐熱材料からなり、一方の面にガラス基板を載置して熱処理するガラス基板熱処理用セッターの製造方法において、板状の無機耐熱材料又はその前駆体材料の一方又は両方の面に、外部の供給源からＫイオンを注入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水槽や浴槽などの水の浄化に用いるプラスチック製のろ過材を改良する。
【解決手段】オキアミを圧搾してエキス成分を抽出し、抽出したエキス成分をセラミックスの原料粉体に添加し、セラミックスを成形する。成形したセラミックスを粉砕してセラミックスの粉体を得る。得たセラミックスの粉体をプラスチック原料に練り込んで、そのプラスチックを用いてろ過材を形成する。ろ過材は、一繋がりの薄膜帯状のプラスチック材が縮れ集まった１個の塊状に形成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの熱に曝された場合でも、熱応力により破壊することのないプラズマ処理装置用電極部材の製造方法を提供する。
【解決手段】プラズマ発生用ガスを処理室に供給するためのガス供給口を有するプラズマ発生用電極の上記ガス供給口の前面に装着されるプラズマ処理装置用電極部材の製造方法であって、焼成によりアルミナセラミックスの多孔質体を形成した後、研削および研磨により成型を行い、その後、１０００℃〜１６００℃の範囲内の温度でもって再焼成する方法である。 （もっと読む）

【課題】平面方向の寸法精度が高いアルミナ焼結層が得られるセラミックグリーンシート積層体並びにこれを用いた配線基板の製造方法及び配線基板を提供する。
【解決手段】本発明のセラミックグリーンシート積層体１は、未焼成セラミック層１１と、その両面に積層され、且つセラミック焼結層の平面方向における収縮を抑制するための寸法安定化層１２と、を備え、未焼成セラミック層には焼結体用アルミナ粉末と焼結助剤粉末とが含有され、合計を１００モル％とした場合に、焼結体用アルミナ粉末は７５モル％以上であり、寸法安定化層には寸法安定化層用セラミック粉末（焼結体用アルミナ粉末より平均粒径の大きいアルミナ粉末及び窒化珪素粉末等）を含むセラミック粉末が含有され、このセラミック粉末を１００モル％とした場合に、寸法安定化層用セラミック粉末は５０〜１００モル％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 有効液体濡れ性が低い面を有する物品を提供する。
【解決手段】 物品（１００）は、基板（１１０）の上に配置されたテクスチャ構造面（１２０）を具備する。面（１２０）は、基準液体（２３０）に対して約１２０°〜約１８０°の範囲の接触角（１４０）を成すのに十分な有効液体濡れ性を有する。面（１２０）は、基準液体（２３０）に対して約６０°〜約９０°の範囲の公称接触角（２４０）を成すのに十分な公称液体濡れ性を有する材料を含み、材料は、重合体及びセラミックより成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む。面（１２０）の特性は、低抗力又は低摩擦、自浄能力並びに着氷、汚れ及び曇りに対する耐性などを含んでもよい。そのような面（１２０）を製造する方法も説明される。 （もっと読む）

【課題】ＣａＳｉ添加鋼や高酸素鋼の鋳造用のスライディングノズル装置であって、耐食性が向上するとともに耐スポーリング性も良好で、耐用が長いスライディングノズル装置用プレートを提供する。
【解決手段】
スライディングノズル装置用プレートを、アルミナを９２〜３０質量％、クロミアを５〜５０質量％、ジルコニアを１０質量％以下を含むとともに、アルミナ、クロミア及びジルコニアの合計量が９０質量％以上の組成を有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる吸液用セラミック部材において、蒸散性能の向上ができず、蒸散速度の要求に応じた制御ができない。
【解決手段】主成分として扁平状の結晶粒子からなる多孔質セラミックスから成る柱状または筒状体により構成され、軸に略平行方向の断面において、結晶粒子３が軸に対して略平行に配向し、且つ軸に略垂直方向の断面において、中心部から外周部に向けて所定方向に配向する複数の結晶粒子３からなる配向部４を放射状に備えたものや、配向部４を同心状に備えたことにより、配向部４によって蒸散速度の調整をすることができる。 （もっと読む）

【課題】比誘電率を小さくかつ、機械的品質係数Ｑｍを大きくすることができると共に、電気機械結合係数ｋを大きくでき、鉛による環境上の問題が発生しない圧電セラミックスを提供することを目的とする。
【解決手段】一般式（１−ｘ−ｙ）ＳｒＢｉ_２Ｎｂ_２Ｏ_９−ｘＮｄＢｉ_２ＴｉＮｂＯ_９−ｙＢｉ_３ＴｉＮｂＯ_９で表され、ｘが０＜ｘ＜０．２、ｙが０＜ｙ＜０．５の組成範囲にあるセラミックスを主成分とし、副成分としてＺｒＯ_２を主成分に対し、重量比で５０〜１０００ｐｐｍ添加する。 （もっと読む）

【課題】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、被吸着物であるＳｉウエハの均一加熱性を高めることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックであって、前記静電チャックが、セラミックスからなる盤状の基板と、この基板上に設けられた前記基板と同種のセラミックスからなる絶縁性誘電層１と、前記基板と前記絶縁性誘電層１との間に埋設されている電極とを備えており、かつ、前記絶縁性誘電層１の表面には複数の凹凸部が形成されており、前記凹部３の底部平面の表面粗さＲａが０．５μｍ以上であることを特徴とする静電チャック。 （もっと読む）

【課題】 エアベアリング面の段差の低減を図れかつ強度の高い磁気ヘッドスライダ用材料、これを用いた磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の磁気ヘッドスライダ用材料は、アルミナ、炭化チタン及び炭素を含むと共にアルミナの重量を１００重量部とした時に炭化チタンを２０〜１２０重量部、炭素を０．８〜１．６重量部含む焼結体から作られている。 （もっと読む）

【課題】従来のセラミックスに比べて効果が高いセラミックスを提供する。
【解決手段】ヒドロキシアパタイト若しくはフッ素アパタイトと、ピロリン酸カルシウムと、クリストバライトと、アルミナとを、加水して混練した後、オルトリン酸を加え反応熱が生じている間に、塩化カリウムと、Ｎａテトラシリシックマイカと、Ｌ-アスコルビン酸を混練し、さらに、磁性材としてマグネタイトと、酸化マンガンと、ルテニウム若しくはロジウムと、炭酸ナトリウムを入れて混練し、反応発泡終了後に酸化マグネシウムを入れ混練し、反応熱が常温となった後に、固形化した混練物を粉砕し、再度加水して混練し、酸化亜鉛と金属チタン若しくは酸化チタンと、結合材としてセルロースを入れ混練し、粘性を出して養生し、次に成形し、成形後乾燥し、焼成し、さらに磁結後磁気処理を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノファイバーが分散された、セラミックス薄膜の製造方法及び基材を提供する。
【解決手段】本発明にかかるセラミックス薄膜の製造方法は、まず、エラストマーと、セラミックス粒子と、カーボンナノファイバーと、を混合して複合エラストマーを得る。次に、複合エラストマーと溶剤とを混合し、塗布液を得る。さらに、塗布液を基板４に塗布し、塗膜５を形成する。最後に、塗膜５を熱処理して塗膜５に含まれるエラストマーを除去すると共に、金属溶湯を塗膜５中に浸透させてセラミックス薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】大型定盤であっても軽量を図った大型磁器定盤及びそれを用いたＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明の大型磁器定盤１０は、磁器材料からなる少なくとも２以上の磁器平板１１を接合して、磁器平板接合体１２と、該磁器平板接合体１２の接合部分に当接して、前記磁器平板１１を支える桁１３と、前記桁１３の他端面側に少なくとも四隅の空間を覆うように磁器平板１１とから構成され、緻密で軽量化を図ることができ、磁器定盤の大型化に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】ニオブ酸系圧電磁器の実用化に際して問題となっている、斜方晶から正方晶への相転移温度を室温以下に降下させた圧電磁器を提供する。
【解決手段】Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、圧電磁器の組成が、モル比による組成式を、以下の式；
（１−ｘ−ｙ）ＫＮｂＯ_３＋ｘＮａＮｂＯ_３＋ｙ（ＬｉＮｂＯ_３＋ＳｒＴｉＯ_３）
とした時、ｘ及びｙの値が０．４２≦ｘ≦０．５０、０．０６≦ｙ≦０．１２を満たすことを特徴とする圧電磁器。
【効果】鉛を含まない環境低負荷型の新規ニオブ酸系圧電磁器、圧電素子及び圧電部材を作製し、提供することができる。 （もっと読む）