【課題】強誘電体等からなる金属酸化物膜を所望の位置に低温で低コストで形成する。
【解決手段】金属酸化物膜を形成するための前駆体溶液に、金属酸化物膜が成膜される基板を浸す工程と、前記基板と前記前駆体溶液との界面に光を集光した状態で、前記光を走査しながら照射する工程と、を有し、前記前駆体溶液は前記光を透過するものであって、前記基板上に前記金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】２００℃以下の低温度での金属酸化物薄膜の製造、および均質な有機−無機
複合体の製造に適した金属−酸素結合を有する分散質を提供するとともに、各種機能を有
する金属酸化物薄膜および有機−無機複合体、特に高屈折率、高透明性を有する有機−無
機複合体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の金属−酸素結合を有する分散質は、３以上の加水分解性基を有する金属化合物と所定量の水を、酸、塩基、及び分散安定化剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の非存在下に、所定温度で混合して得られてくる金属−酸素結合を有する分散質において、該所定量の水が、炭化水素系溶媒、及びアルコール系溶媒で希釈された溶液であり、該希釈された溶液を、該金属化合物に添加し、さらに該所定温度が、室温であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造すること。
【解決手段】薄膜製造方法は、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の金属酸化物前駆体溶液１２中に、基板を配置する配置工程と、光源１３からレーザ光１４を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程と、光源１３と同一の光源１３からレーザ光１４を照射して、基板２０の第１主面２０ａと金属酸化物前駆体溶液１２の液面の距離７３を計測する工程と、計測結果に基づいて、基板２０の高さ方向の位置を調整する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックス形成金属化合物溶液を加熱することにより適度な粒径のセラミックス粒子を得ることを目的とする。
【解決手段】セラミックス形成金属化合物を溶解したセラミックス形成金属化合物溶液を加熱してセラミックスを製造する方法において、セラミックス形成金属化合物の加熱分解開始温度における加熱重量減少率が１００重量％未満である高分子物質を含有するセラミックス形成金属化合物溶液を、セラミックス形成金属化合物の分解開始温度以上の温度に加熱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の金属塩の分解温度よりも低い温度でのセラミックス形成を可能とし、粒子径のバラツキを少なくして、結晶性の高いセラミックス粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属源としての金属塩又は金属錯体（金属キレート化合物を除く）に、キレート化剤溶液を添加して形成された金属キレート化合物が溶媒中に溶解しているセラミックス形成用溶液を加熱・昇温して、該金属キレート化合物を熱分解させることによりセラミックスを製造することを特徴とするセラミックスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】粒径を自在に制御することができ、更にはその粒径の均一化を図ることが可能なゾルゲル法による金属酸化物の製造方法を提供することにある。
【解決手段】溶媒中で還流して溶解した金属塩溶液に触媒溶液を混合して金属塩を加水分解し、ゾルゲル法に基づいて金属酸化物を製造する方法において、ゾルゲル反応中に上記金属酸化物の吸収端以下の波長の光を照射し、金属酸化物の表層に形成された不規則な粒子又は欠陥周辺の原子を、照射した光に基づいて脱離させる。 （もっと読む）

【課題】 保存安定性を長期に亘って良好に保持することができるセラミックス薄膜形成
用組成物の保存方法、セラミック薄膜の製造方法、圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド
の製造方法を提供する。
【解決手段】 セラミックス薄膜を構成する有機金属化合物と、水と、を少なくとも混合
してセラミックス薄膜形成用組成物とし、該セラミックス薄膜形成用組成物を冷結晶化さ
せた後、冷結晶化のピーク領域の上限温度より高く融解開始温度より低い温度で保存する
。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造することができる薄膜製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造方法であって、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の原料溶液中に、基板を配置する配置工程と、第１主面２０ａ側から光を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】残留有機物を減少させることができ、しかも、高い温度での処理を必要としない金属酸化物薄膜の形成方法を提供する。
【解決手段】金属酸化物薄膜の形成方法は、ハロゲン化カルボン酸アニオンを配位子とする金属錯体を溶媒に溶解した溶液に基体を浸漬することで、基体上に金属酸化物薄膜を形成し、あるいは又、配位子の２０゜Ｃにおける蒸気圧が６．７×１０³Ｐａ以上（５０ｍｍＨｇ以上）である金属錯体を溶媒に溶解した溶液に基体を浸漬することで、基体上に金属酸化物薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】ヒュームド金属酸化物粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】揮発性の非ハロゲン化金属酸化物前駆体を含む液体供給原料の流れを提供する工程と、該液体供給原料を霧化及び燃焼又は熱分解するのに十分な線速度を有する燃焼ガスの流れを提供する工程と、該液体供給原料の流れを該燃焼ガスの流れに噴射して反応混合物を形成し、該燃焼ガスの温度がヒュームド金属酸化物粒子の凝固温度より低くなる前に、該液体供給原料を霧化して該ヒュームド金属酸化物粒子を形成するのに十分な温度及び該燃焼ガスの流れ中の滞留時間にさらすようにする工程とを含む、ヒュームド金属酸化物粒子の製造方法が提供される。比較的小さな凝集体サイズ及び／又は比較的狭い凝集体サイズ分布を有するヒュームドシリカ粒子がさらに提供される。 （もっと読む）

【課題】所定パターンを有するとともに、表面抵抗率や光透過率等のばらつきが少ない金属酸化膜の形成方法およびそのような金属酸化膜を提供する。
【解決手段】基材上に、所定パターンを有する金属酸化膜の形成方法等であって、基材に対して、金属塩を含有する液状物を塗布して金属塩膜を形成する第１工程と、金属塩膜に対して、所定パターンを設ける第２工程と、金属塩膜に対して、熱酸化処理または所定のプラズマ酸化処理を行い、金属酸化膜とする第３工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】極めて簡便に、導電性、分散性、分散安定性、透明性、沈降防止性等を付与若しくは改善することの出来る、粒子分散体およびその製造方法の提供。
【解決手段】先ず有機金属化合物及び有機半金属化合物からなる群より選ばれた１種又は２種以上と還元剤とを混合して混合物１２を調製する。次にこの混合物１２を所定の雰囲気中で４０〜３６０℃の温度に加熱した状態に１０分〜５．０時間保持して粒子が分散した分散体１４を得る。なお、上記混合物１２の加熱雰囲気は、不活性ガス雰囲気、還元性ガス雰囲気又は大気雰囲気であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】耐プラズマ性に優れ、安定した酸化物膜を提供する。
【解決手段】大気開放型ＣＶＤ法により、加熱した基材１０の表面に金属酸化物原料５を吹き付けて酸化物膜を成膜する。その際、ＸＲＲ法によって測定した膜密度が理論密度（ＴＤ）の７５．０〜９８．０％未満の範囲となるように成膜条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】パルスジェットと噴霧原料液滴との接触を効率的に行うことができ、パルスジェットと原料液滴とのエネルギー効率を向上させることができるため、噴霧器により得られた原料の噴霧液滴をパルスジェットに接触させると同時に高温雰囲気下に接触させる際、より結晶化度の高い、凝集の少ない単結晶の分散したナノサイズの原料由来の微粒子を工業的に低コストで量産することができるパルス噴霧熱分解方法及び装置を提供する。
【解決手段】パルス燃焼器１から発生したパルスジェット９に、噴霧器２２から噴霧した原料液滴２３を接触させながら高温雰囲気下で熱分解し、原料由来の微粒子を得る噴霧熱分解方法である。パルス燃焼器１の周囲に配置された少なくとも１個以上の噴霧器２２から噴霧された原料液滴２３を、パルスジェット９の噴出方向Ｘの側面から接触させる。 （もっと読む）

酸化物粉末の湿式化学的共沈のための反応器は、第１および第２の末端部と、管の長さに沿って延在する内腔とを有する円筒構造を含む。中心軸は内腔を通過して通って延在する。第１の末端部は閉鎖される。反応器は、円筒構造の第１の末端部の近くに配置された第１の入口ポートも含み、それによって円筒構造へのアクセスが提供され、内に到達して第１の反応物溶液を注入することができる。反応器は、円筒構造の第１の末端部の近くに配置された第２の入口ポートをさらに含み、それによって円筒構造へのアクセスが提供され、内に到達して第２の反応物溶液を注入することができる。第１および第２の入口ポートは、円筒構造の互いに反対側に配置され、中心軸に対して同軸である。
（もっと読む）

【課題】常温で溶液処理方式に金属酸化物を形成する方法及びこれを含むトランジスタ構造体を形成する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、金属酸化物の形成方法に関する。本発明の実施形態による金属酸化物の形成方法は、ドーパント化学種を含む金属酸化物前駆体溶液を用意することと、塩基性化学種を含むアルコール系溶液を用意することと、金属酸化物前駆体溶液及びアルコール系溶液を反応させて反応物を形成することと、反応物を精製して金属酸化物を形成することと、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多孔質基材の孔部を金属酸化物で効率良く埋めることができ、表面平滑性および緻密性等に優れた金属酸化物膜を形成することができる積層体の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、金属源として金属塩または有機金属化合物が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した多孔質基材に噴射することにより、上記多孔質基材上に金属酸化物膜を形成する積層体の製造方法であって、上記金属酸化物膜形成用溶液の噴射方向を、上記多孔質基材側に向け、かつ、上記多孔質基材表面の法線方向に対して傾けることを特徴とする積層体の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】有機酸塩法により、粒子径が小さく、しかも粒度が揃った酸化物微粒子粉末が得られる酸化物微粒子粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の酸化物微粒子粉末の製造方法は、金属錯体ゲルの乾燥粉を、第１の雰囲気下で熱処理して焼成粉を得る第１工程と、焼成粉を、第１の雰囲気よりも酸素濃度が高い第２の雰囲気下で熱処理して酸化物微粒子粉末を得る第２工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の固相法に比べて低温でセラミックス粉体を得ることができる製造方法、およびかかる製造方法を用いたセラミックス膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】セラミックス粉体の製造方法は、金属化合物を含む原料液を準備する工程と、前記原料液を噴霧・乾燥させることにより粉体を形成する工程と、を含み、前記金属化合物は、加水分解性金属化合物および熱分解性有機金属化合物の少なくとも１種を含む。 （もっと読む）

本発明は、調節剤によって変性された粒子、及び変性された粒子を含む分散媒体に関する。
金属、金属ハロゲン化物、金属カルコゲニド、金属ニトリド、金属ホスフィド、金属ボライド、金属フォスフェイト粒子、又はこれらの混合物が、１〜５００ｎｍの平均粒径を有し、そしてその表面が、以下の式（Ｉ）（ＩＩ）及び（ＩＩＩ）
【化１】


の１種以上の調節剤で変性されている。 （もっと読む）