【課題】 エッチング反応によって生じた不純物を効果的に処理するリサイクルシステムを有し、信頼性に優れ、エッチング品質が高く、低コストで、資源の有効利用や環境保全にも貢献する湿式エッチングシステムを提供すること。
【解決手段】 ＬＣＤガラス基板５０などの被処理体をエッチングする湿式エッチングシステムにおいて、エッチング反応で生成した不純物を含むエッチング排液２１を、沈降分離処理、薬剤処理、濾過処理、及び逆浸透膜処理をこの順で行うリサイクルフローによって処理し、不要物を除去若しくは減量したエッチング液をエッチング工程へリサイクルする。沈降分離処理は沈殿槽２中で、薬剤処理は撹拌反応槽３中で、濾過処理はＭＦ膜（精密濾過膜）またはＵＦ膜（限外濾過膜）１０を用いて、逆浸透膜処理は逆浸透膜１１を用いて、それぞれ行う。懸濁液４中のエッチャントは、中和槽５で行う薬剤処理で一部回収する。 （もっと読む）

【課題】基板上に薄膜層が形成されてなる薄膜デバイスにおいて、基板薄型化が進行しても、基板分断の際に意図せぬ割れが発生したり、分断後の強度低下が著しくなってしまうのを抑制する。
【解決手段】基板上に薄膜層が形成されてなる薄膜デバイスを、前記基板となる板材１０１で当該基板の所望厚さよりも大きな厚さを有するものに対して、前記所望厚さよりも深いスクライブ溝１０２を形成する工程と、前記板材１０１の前記スクライブ溝１０２の形成面側に当該板材の厚さが前記所望厚さとなるまでエッチングを行う工程と、を経て製造する。 （もっと読む）

【課題】 簡便な方法で多品種少量品や比較的幅の広い突起形状を作製すると共に、加工子工具の加工面の微小な凹凸の影響を受けずにガラス表面や薄膜表面に凸部を作製すること。
【解決手段】 ガラス基材１に対してエッチング液による化学的エッチング処理を行って、ガラス基材表面１ａに凸部２を作製する凸部作製方法であって、ガラス基材１に所定の圧力を局所的に付与してガラス基材表面１ａ及びその近傍に、エッチング液に対するエッチングレートが他の部分と異なる圧縮応力部３を形成する圧縮応力部形成工程と、該圧縮応力部形成工程後、ガラス基材１に対して化学的エッチング処理を行って、ガラス基材表面１ａに凸部２を形成する凸部形成工程とを備え、圧縮応力部形成工程の際に、所定の回転数で回転させた加工工具４をガラス基材１に押圧して上記圧力を付与する凸部作製方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 エッチング反応によって生じた不純物を効果的に処理することを特徴とする湿式エッチング処理方法、及びそれを実施するエッチングシステムを提供すること
【解決手段】 ＬＣＤガラス基板４０をエッチングするシステムを、エッチング槽１１、エッチング反応で生じた不純物３を含むエッチング排液２を取り出すエッチング液排出管１２、一次反応沈澱槽１４、二次反応沈澱槽１６、不純物３が一部除去された上澄み液７と、新しく追加される未使用のエッチング液８とからエッチング液９を調製するための調合槽１８などで構成する。そして、エッチング槽１１、エッチング液排出管１２、一次反応沈澱槽１４、および二次反応沈澱槽１６の全部または一部に噴射手段３２〜３５を設け、不純物除去流体３１をエッチング液１またはエッチング排液２に噴射して、これらから不純物３が沈殿する反応を誘起する。 （もっと読む）

【課題】 平面型表示パネルに使われるガラス基板をエッチング加工する際、エッチング液からガラス基板上の透明電極や、配向膜等を保護できる保護テープおよびエッチング加工方法を提供する。
【解決手段】 冷却することで粘着力が低下する側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤１を基材フィルム２の片面に設けた保護テープ１００を得る。そして、この保護テープ１００をガラス基板３表面に貼り付けエッチング加工することで、エッチング加工時は、前記粘着剤１がガラス基板３上の透明電極４や配向膜５等を保護する。エッチング加工後は、粘着剤１を冷却することで容易に保護テープ１００をガラス基板３から剥離でき、ガラス基板３やガラス基板３上の透明電極４や配向膜５等を破損する恐れがない。 （もっと読む）

【課題】 例えば酸化ケイ素を主成分とするガラス基板の微細加工に好適で、ガラス基板のエッチングマスクとして、Ｃｒ／Ａｕやシリコンの代わりにゲルマニウム薄膜を用い、ガラス基板に対する密着性と、フッ化水素酸を含有するエッチング液に対する耐性を向上し、その成膜時間を短縮して生産性を向上するとともに、種々の用途や条件に応じてエッチング面の粗度を調整し得る、基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】 酸化ケイ素を主成分とする基板１上に薄膜２を形成する。そして前記薄膜２にフォトリソグラフィ−およびエッチングを介して所望のパタ−ンを形成する。この後前記パタ−ニングされた薄膜２をエッチンングマスクとして、フッ化水素酸を含有するエッチング液により、前記基板１を等方的にエッチングする。この時前記基板１上にエッチングマスクとして、ゲルマニウム薄膜２を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

エッチング作用する環境において使用するウエハ保持器のための理想的な石英ガラスは、高い純度および高い乾式エッチング耐性の点で傑出している。この要求をかなりの程度まで満たす石英ガラスを提供するために、本発明によれば次のことが提案される。すなわち石英ガラスが、少なくとも表面に近い範囲において窒素によってドーピングされており、３０重量ｐｐｍ以下の準安定のヒドロキシル基の平均含有量を有し、かつその仮想温度が、１２５０℃より下であり、かつ１２００℃の温度におけるその粘性が、少なくとも１０^１３ｄＰａ・ｓである。このような石英ガラスを製造するための経済的な方法は、次の方法ステップを含んでいる：石英ガラス素材になるようにＳｉＯ_２原料を溶融し、その際、ＳｉＯ_２原料または石英ガラス素材が、脱水処理を受け、アンモニアを含む雰囲気において１０５０℃と１８５０℃との間の範囲における窒化温度にＳｉＯ_２原料または石英ガラス素材を加熱し、石英ガラス素材の石英ガラスを１２５０℃またはそれより低い仮想温度に設定する熱処理を行い、かつ石英ガラス保持器を形成しながら石英ガラス素材の表面処理を行う。
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【課題】 ガラス表面粗さを低下させる調整が可能なエッチング方法、表面粗さが調整されたガラス板およびフラットパネルディスプレイの提供。
【解決手段】 エッチング方法は、フッ酸を含有させたガラスエッチング液に、ガラスを１２０秒以内の時間で浸漬する工程と、この工程の後にエッチング反応生成物をガラス表面から除去する洗浄工程と、からなるエッチング工程を繰り返し行う。この方法は、ガラス表面に所定パターンでマスキング剤を被覆することで、任意のエッチングを行なうことができる。ガラス板は、前記方法によりエッチングされたガラス板であり、フラットパネルディスプレイは、このガラス板を使用して製造される。 （もっと読む）

【課題】 マスキングを行うことなくガラス表面をエッチングし、ガラス表面に溝を形成する方法及びこの方法を使用した光導波路の製造方法の提供。
【解決手段】 ガラス表面下にレーザーを集光して、ガラス変質部分を形成する。その後、ガラスの表面をエッチングしてすることによって、ガラス表面下の変質部分が溝となる。この溝に光伝搬路となるコアを充填し、コア露出面をクラッドで積層することで光導波路が製造される。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤの薄型化を可能にする実用的な技術を提供する。
【解決手段】一対のガラス基板１の一方に電極１１を形成してガラス基板１をシール材１２を介して貼り合わせ、内部を封止した後、ガラス基板１の外面を機械研磨して厚さを薄くする。ノズル４に対して相対的に機械的に移動させながら、フッ酸より成る溶出液Ｌをノズル４からガラス基板１の外面に向けて噴射し、自重による加速度より大きな加速度を付けて０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２の範囲で圧力で外面に吹き付ける。外面は溶出液Ｌにより溶出され、溶出液の衝撃による物理的作用を利用して外面が研磨される。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体用ガラス基板の円周方向に溝を形成するためのテクスチャー加工によって、溝を良好に、かつ、均一に形成することが可能な磁気記録媒体用ガラス基板を提供する。
【解決手段】 基板表面の微小うねりの高さＷａが３Å以下で、表面の平均粗さＲａが６Å以上のガラス基板を用いる。表面の平均粗さＲａが６Å以上であるため、テクスチャー加工において、ガラス基板の表面にダイヤモンドを引っ掛けやすくなるので、溝を良好に形成することができる。また、うねりの高さＷａが３Å以下であるため、ガラス基板表面に均一に溝を形成することができる。 （もっと読む）

ナノ構造疎水性表面を有する複合材料は、第一の組成物を有する支持層と、同支持層上に配置されるとともに同支持層表面から突出する複数の離間したナノ構造特徴部と、を含む。ナノ構造特徴部は疎水性材料から形成されるか、或いは疎水性コーティング層でコーティングされている。ナノ構造特徴部は第一の組成物とは異なる第二の組成物を使用して形成される。表面は超疎水性であり得る。
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【課題】
フッ酸をエッチング液とする化学（湿式）エッチングでガラス表面に溝を形成すると、溝の断面形状は曲面からなる半円形状になり、底面がフラットな形状を有する溝を形成することができなかった。
【解決手段】
第１のガラス板と第２のガラス板を融着により接合し、フッ酸による湿式エッチングにより溝を形成する溝付きガラス基板の製造方法であって、第２のガラス板の第１のガラス板との接合面およびその近傍の酸に対する可溶性を、第１のガラス板の酸に対する可溶性より小さくし、第１のガラス板表面から第２のガラス板の接合面に至るまでフッ酸のエッチングにより溝を形成する。第１のガラス板と第２のガラス板は組成を異なるようにしてもよく、第１のガラス板と第２のガラス板を同一組成とし、第２のガラス板の接合面となるガラス表面及びその近傍に圧縮応力層（比容が内部より小さい層）を形成してもよい。 （もっと読む）

フッ化水素酸水溶液によるガラス物品表面の選択的エッチングのための方法は、インクジェットヘッドにより付着されたワックスによる表面の選択的保護の第一工程、酸性溶液による第二侵蝕工程、及び表面の第三浄化工程を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体製造において使用するように定められた、石英ガラスからなる構成部品が、石英ガラス未加工材料の表面を機械的に処理することによって形成され、その場合に初期の平均的な表面粗度Ｒ_ａ,０が発生される。このように加工された構成部品表面が、次にエッチング溶液内で洗浄される。本発明は、この種の構成部品を、最初に規定通りに使用する場合にすでに、粒子形成に関して最適化するものである。
【解決手段】機械的な加工によって、少なくとも０．２μｍの初期の平均の表面粗度Ｒ_ａ,０が設定され、かつエッチング処理の強度と期間が、少なくとも１０μｍの実際のエッチング深さが生じるように設定されることが、提案される。この方法に従って得られた、半導体製造において使用するための石英ガラスからなる構成部品は、最初に規定通りに使用する前に、機械的な加工とエッチングによって形成された、０．６μｍと８μｍの間の範囲内の平均的な表面粗度Ｒ_ａ,１を有するエッチング構造を備えた表面を有し、かつ構成部品を室温で１０％のフッ化水素酸を用いて構成部品をエッチングする場合に、０．４μｇ／（ｍｍ^２×ｍｉｎ）より小さい、実質的に時間的に一定の重量減少が生じることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス組成物が本来有する高い透過率を実現できるとともに、アルカリ溶出を効果的に抑制できる光電変換装置用ガラス基板を得ることのできる製造方法を提供する。
【解決手段】 熔融金属スズ浴を用いたフロート法によるガラス素板のボトム面の最表面に存在するスズの陽イオンを含有する層の一部を、その厚み方向に除去する工程によって、ボトム面とトップ面との可視光反射率の差の絶対値を、０．１０〜０．２５％の範囲にするガラス基板の製造方法である。 （もっと読む）

本発明は、標準、特定又は可変の寸法、厚さ、色、使用及び用途を有するガラスの１つ以上のパーツ及び／又はシートの同時及び連続製造のために、酸溶液に浸漬することを含む反射防止仕上げされたガラスを得るための化学的方法に関する。本発明の方法を用いると、ガラスシート又は様々な異なるガラスパーツ及び／又はシートを、浸漬により同時に両面（雰囲気側及び錫めっき側）を同時及び連続的な方法で反射防止仕上げされたガラスを得ることができる。該方法は、方法に用いる化学溶液からの化学的な攻撃を防ぐために、特定のポリマー又は樹脂で被覆されたガラスの容器、及び化学溶液の容器を用いることを含む。上述した化学溶液容器はカプセル化されて、操作に伴う全ての因子を制御し、確実なものとすることができる。本発明はまた、ガラスシートの容器を化学溶液の容器に搬送、運搬及び浸漬するのに用いる可変速チェーン巻き上げ機を用いることも含む。本発明の目的は、公知の方法を用いて得られる反射防止ガラスの特性に勝り、方法の各操作が完全かつ安全に制御されるために、生産性及び品質が増大し、物理的及び環境上のリスクの少ない、反射防止ガラスを得るための新規な方法を用いることである。
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【課題】 ガラス基板表面近傍のキズ等の表面欠陥がなく、また、ガラス基板端面の縁だれの少ない電子デバイス用ガラス基板の製造方法、および膜下欠陥のないフォトマスクブランクの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板表面を、比較的大きな研磨砥粒を用いて研磨する粗研磨工程の後、比較的小さな研磨砥粒を用いて研磨する精密研磨工程を行ってガラス基板を製造する電子デバイス用ガラス基板の製造方法において、前記精密研磨工程を行う前に、ガラス基板表面をエッチング処理（好ましくはアルカリ水溶液を用いる）することにより、前記ガラス基板表面から深さ方向に延び、前記精密研磨工程後に残存するクラックを、前記精密研磨工程後に行う欠陥検査工程で顕在化させることを特徴とする電子デバイス用ガラス基板の製造方法、並びにフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】大面積かつ曲面形状の表面であっても、高精度な反射防止構造体を備えた部材の製造方法を提供する。
【解決手段】原盤材料の表面に触媒機能を持った核を形成する。次に、核の上に結晶を成長させることにより針状結晶を原盤材料の表面に形成する。次に、針状結晶が形成された原盤材料を用いて型を形成する。型が電鋳型であるときには、この電鋳型を用いて樹脂からなる成形用素材を、射出成形、プレス成形、あるいはナノインプリント法等により、成形加工する。原盤材料として石英ガラスを主体とする原盤材料を用い、針状結晶をマスクとして原盤材料の表面にドライエッチング処理を行い、次いで保護離型膜を形成することにより型を形成した場合には、得られた型を用いて多成分ガラスからなる成形用素材をプレス成形する。これにより、大面積かつ曲面形状の樹脂や多成分ガラスからなる、表面精度の良い反射防止構造体を備えた部材が得られる。 （もっと読む）

【課題】 所望の形状の凸部を有する凸部付き部材の製造に好適に用いることができる凹部付き部材を提供すること、所望の形状の凸部を有する凸部付き部材を容易かつ確実に製造することができる凸部付き部材の製造方法を提供すること、前記凸部付き部材を提供すること、また、前記凸部付き部材を備えた透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタを提供すること。
【解決手段】 本発明の凹部付き部材（マイクロレンズ基板製造用凹部付き部材）６は、多数の第１の凹部（マイクロレンズ形成用凹部）６１と第２の凹部６２とを有している。第２の凹部６２は、第１の凹部６１が形成されている第１の領域６７よりも外側であって、マイクロレンズ基板１の非有効レンズ領域に対応する領域（第２の領域６８）に、第１の領域６７における第１の凹部６１の密度よりも低い密度で設けられている。また、第１の凹部６１は、縦幅が横幅よりも大きい扁平形状を有している。 （もっと読む）