本発明は、担体における材料の蒸着に対する製造装置、及び該製造装置に使用される電極に係る。典型的には担体は、互いから離間された第１の端部及び第２の端部を備える。ソケットは、担体の端部の各々において配置される。製造装置は、チャンバを画定するハウジングを有する。少なくとも１つの電極は、ハウジングを通って配置される。該電極は、チャネルを画定する内部表面を有する。電極は、担体に対する電流の直接通過によって必要な蒸着温度まで担体を加熱する。冷却剤は、電極の温度を低下させるよう電極のチャネルと流体連通する。チャネルコーティングは、冷却剤と内部表面との間における熱伝達の損失をセグメントよう、電極の内部表面において配置される。 （もっと読む）

結晶成長装置において加熱要素を配置するためのシステムおよび方法は、加熱要素の１つ以上の加熱部材を相互接続するとともにこれらの加熱部材の少なくとも１つを結晶成長装置に接続するよう用いられる、ヒータクリップのような接続要素を含む。加熱部材は、電気的および熱的に結合され得、同じ回路を介して接続され得る。これにより加熱要素の制御を簡略化する。
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【課題】 少なくとも１つのシリコン棒（３）に給電し、それで、その接続されたシリコン棒においてより均一な温度分布と電流密度分布が達成できるようにする。
【解決手段】 少なくとも１つのシリコン棒が接続できる少なくとも１つの出力部（Ｅ）を具備し、前記少なくとも１つの出力部（Ａ）に接続された前記少なくとも１つのシリコン棒（３）に前記エネルギ供給系統（Ｎ）からの電流を供給するよう構成されてなる少なくとも１つの交流コントローラ（１）を具備し、かつ、少なくとも１つの出力部（Ａ）に接続された少なくとも１つのシリコン棒（３）にエネルギ供給系統（Ｎ）からの電流を供給するように構成されてなる少なくとも１つの周波数変換器（２）を具備する、シーメンス法によるシリコン分離の間に少なくとも１つのシリコン棒（３）に給電する装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】晶出物である固体シリコンの大きさによらず、従来よりも高速な回収が可能なシリコン精製装置および精製方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るシリコン精製装置は、溶融シリコンを保持する坩堝と、略鉛直方向に延びる軸を回転中心軸として回転駆動可能かつ前記溶融シリコン内外へ移動可能に構成された回転冷却体３と、回転冷却体３の周面に晶出した固体シリコン５の側面に向かって前進してその先端が固体シリコン５の側面に衝突可能な棒状部材４１を有する剥離装置４０とを備えている。 （もっと読む）

【解決手段】少なくとも二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を不活性ガスもしくは減圧下１，１００〜１，６００℃の温度範囲で加熱し、一酸化珪素ガスを発生させ、該一酸化珪素ガスを１，０００℃以下の基体表面に析出させる一酸化珪素の製造方法に用いられる一酸化珪素の製造装置において、１，１００〜１，６００℃の一酸化珪素ガスが接触する構成部材（但し、該析出基体を除く）をＣ／Ｃコンポジット材で構成したことを特徴とする一酸化珪素の製造装置。
【効果】本発明の一酸化珪素の製造装置によれば、高純度な一酸化珪素を効率的かつ安定的に製造することができ、かつ、大型化も容易であり、工業的規模の生産にも十分に応えられるものである。 （もっと読む）

【課題】プラスチック被覆を除去した光ファイバー心線から、太陽光電池や半導体用として利用可能な付加価値の高いシリコンを得ることのできる、光ファイバー心線のリサイクル方法を提供する。
【解決手段】プラスチック被覆を除去した光ファイバー心線を炭素熱還元し、該光ファイバー心線をシリカ源としてシリコンを製造することにより、光ファイバー心線をリサイクルする。製造されたシリコンは、光起電力又はエレクトロニクスの品位のシリコン製造における原料として用いる。 （もっと読む）

【課題】 低コストの原料シリコンを用いたとしても純度の高い結晶シリコン粒子を製造可能な結晶シリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）バインダーを用いて前記原料シリコンを造粒し、原料シリコンの集合体を形成する工程と、（２）前記原料シリコンの集合体を坩堝内に入れて加熱溶融させることでシリコン融液を形成する工程と、（３）シリコン融液を凝固させて結晶シリコンを得る工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】アパタイト相が実質的に存在せず、蛍光強度が十分に大きく、蛍光減衰時間が十分に短い単結晶シンチレーターを提供すること。
【解決手段】下記の一般式（１）で表される組成を有し、光、電子線及び／又は放射線刺激に対して発光する単結晶を備える単結晶シンチレーター。
（Ｇｄ_１−ｘＣｅ_ｘ）_２Ｓｉ_２Ｏ_７ （ただし、０＜ｘ＜０．３） （１） （もっと読む）

少なくとも1つの不純物を含む低純度の冶金グレードシリコンを精製し、高純度の固体多結晶シリコンを得るためのプロセスが提供される。前記プロセスは、断熱底壁、断熱側壁、および開いた上面を持つ鋳型中に低純度の冶金グレードシリコンの溶融物を入れ、前記溶融物を電磁的に攪拌しながら前記鋳型の前記開いた上面から前記断熱底壁の方に向けた一方向凝固によって前記溶融物を凝固させ、前記一方向凝固の速度を制御し、前記溶融物が部分的に凝固した時点で前記一方向凝固を停止し、前記高純度の固体多結晶シリコンを含む外側シェル、および不純物が富化された液体シリコンを含む中央部を有するインゴットを作り、前記インゴットの前記外側シェルに開口を形成し、前記不純物が富化された液体シリコンを流出させ、前記高純度の固体多結晶シリコンを有する前記外側シェルを残すことを含む。
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リボン結晶引き上げ炉は、基部絶縁体と、該基部絶縁体に取り外し可能に接続されたライナー絶縁体を有する。該ライナー絶縁体の少なくとも一部分はるつぼを収容するための内部を形成する。本発明は、さらに、基部絶縁体を提供することと、該基部絶縁体にライナー絶縁体を取り外し可能に接続することであって、該ライナー絶縁体の少なくとも一部分はるつぼを収容するための内部を形成する、こととを包含する、リボン結晶成長方法をも提供し得る。
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【課題】太陽電池用として安定した品質のシリコンを低コストで供給する製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】高純度亜鉛及び高純度四塩化珪素を蒸発する蒸発器と、還元反応を行う反応炉及び生成物の取り出し装置よりなり、高純度亜鉛及び高純度四塩化珪素をそれぞれ気化させてガス化雰囲気において反応を行うことにより低コストで品質の安定した太陽電池用シリコンを製造する。 （もっと読む）

【課題】クロロシラン類を還元してシリコンを製造するために用いるアルミニウム等の溶融金属の液滴を安定して製造できる部材、溶融金属の液滴の製造方法、該部材を用いたシリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの開口部を有する部材であって該開口部の少なくとも１つが溶融金属に濡れにくい材料からなる部材、または少なくとも２つの開口部を有する部材であって該開口部の少なくとも１つの表面が溶融金属に濡れにくい材料からなる部材を用いてなる溶融金属を吐出するノズル、前記記載のノズルから溶融金属の液滴を吐出する溶融金属の液滴の製造方法により、溶融アルミニウムでシリコン化合物を還元してシリコンを製造する方法であって、シリコン化合物ガス雰囲気中に、前記記載のノズルから溶融アルミニウムを吐出するシリコンの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生体に安全で環境負荷が少なく、資源的にも豊富な元素から構成されるシリサイド半導体としてのβ鉄シリサイドを製造する方法を提供する。
【解決手段】還元対象酸化物としての鉄酸化物，シリコン酸化物を主成分とする酸化物原料に鉄シリサイドのβ化促進剤として微量の銅もしくは銅酸化物を混合した後、加熱して溶融状態なった時点で還元剤としてシリコンを投入し、直接溶融還元することによりβ鉄シリサイドを得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、溶融Ｚｎ金属によるＳｉＣｌ₄の還元により高純度シリコンを製造する方法及び装置に関する。この方法は、ＺｎＣｌ₂を溶解する溶融塩と接触させながら還元が起こることを特徴とする。その後、還元中に生成されるＺｎＣｌ₂は、気化することなく溶融塩に溶解する。この利点は、還元中のガスの発生が最低限に抑えられ、ＳｉＣｌ₄及びＺｎのより高い利用、それゆえ、より高いＳｉ収率がもたらされることである。別の利点は、溶融塩によって、空気に敏感な材料、Ｚｎ、ＳｉＣｌ₄及びＳｉが還元中に酸化するのを効率的に妨げることである。ＺｎＣｌ₂を含有する得られる溶融塩は、Ｚｎ金属を再生するＺｎＣｌ₂の電解に用いることができる。電解中に発生する塩素は、ＳｉＣｌ₄を生成するのに用いることができる。
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【課題】 耐熱耐食性部材及びトリクロロシラン製造装置において、高温下でもより耐食性が高く長寿命が得られること。
【解決手段】 耐熱耐食性部材が、テトラクロロシランと水素とを含む混合ガスが高温下で接触する環境に配される耐熱耐食性部材であって、少なくとも表面がダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで形成されている。また、トリクロロシラン製造装置が、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されて高温下で転換反応によりトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器１を備え、反応容器１が、上記耐熱耐食性部材を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 トリクロロシラン製造装置において、発熱体が高温下でもより高い機械的強度を有する共に不純物の発生を防ぐこと。
【解決手段】 石英で形成された反応器１と、反応器１を加熱する加熱機構２と、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを反応器１に吹き付けるガス吹き付け機構３とを備えている。すなわち、反応器１が８００〜１４００℃の高温下でも高い機械的強度を有していると共に、高い純度で形成可能である。また、反応器１が供給ガス及び反応生成ガス中のガス成分と反応して不純物を生成することがなく、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】窒素不純物および炭素不純物を含むシリコン原料からこれら不純物が好適に除去されたシリコンインゴットを製造する方法を提供する。
【解決手段】るつぼの内部においてシリコン融液を維持しつつ、るつぼの外周部から印加した移動磁界と移動磁界が作用することによりシリコン融液に生じた渦電流との相否作用によってシリコン融液に渦回転状態を発生させることによって、シリコン融液に混入している異物をるつぼの内壁部に集積させる集積工程と、るつぼの内壁部の温度を低下させることによってるつぼの内壁部に集積した異物を含む凝固層を形成する凝固層形成工程と、凝固層が形成された状態でるつぼに残存しているシリコン融液を鋳型に注湯する注湯工程と、を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】 トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシラン製造装置において、反応室の小型化ができると共に、低コスト化及び構成材料の長寿命化を図ること。
【解決手段】 第１の加熱機構１でテトラクロロシランを加熱する工程と、テトラクロロシランとは別に第２の加熱機構２で水素を加熱する工程と、加熱されたテトラクロロシランと加熱された水素とを反応室３内に導入し、テトラクロロシランと水素との混合ガスの温度を８００〜１４００℃に保持することにより転換反応によってトリクロロシランと塩化水素との反応生成ガスを生成する工程とを有する。また、反応室３から排出した反応生成ガスと加熱前のテトラクロロシランとの間で熱交換を行う工程を有する。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の亜鉛還元によって主としてソーラーセルに使用する高純度シリコンを得るためのシリコン製造装置であって、より高純度のシリコンをより小型設備によって、安定に生成すると共に、他の反応成分との分離を完全に行うと共に、系内でシリコンを融体化して、連続的に取り出すことが容易な装置を提供することを課題とした。
【解決手段】
本発明は本発明は▲１▼亜鉛ガスの発生装置、▲２▼該亜鉛ガス中に四塩化ケイ素を液体で導入して反応させシリコン及び／又はシリコン前駆体を生成させる生成装置、▲３▼シリコンの結晶成長と固気分離を行う分離装置及び▲４▼分離したシリコンを融体化する為に融体シリコンを内部に有する融体化装置、を有することを特徴とする高純度シリコン製造装置である。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の亜鉛還元によって高純度シリコンを得るシリコンの製造方法であり、結晶粒の比較的大きく高結晶性のシリコンを生成させて他の反応ガスや不純物から分離し、そのまま系内で溶解することによる融体の高純度シリコンを製造する製造方法を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は高温亜鉛ガス雰囲気中に低温の四塩化ケイ素を導入し反応させて気相中に固体シリコンを生成させ、該生成した固体シリコンをガスと分離し、液状シリコン中に導入することによって溶解し、液状シリコンとして生成させることを特徴とする高純度シリコンの製造方法である。 （もっと読む）