【課題】撥水性等の表面改質度を、均一性を確保しつつコントロール可能なプラズマ表面改質方法を提供する。
【解決手段】前処理工程として、表面改質成分を実質的に含まない前処理用ガスをプラズマ化して被処理物の表面に接触させる。その後、本処理工程として、表面改質用ガスをプラズマ化して前記被処理物の表面に接触させる。前処理工程の処理量と本処理工程の表面改質度の飽和値との関係を予め求めておき、この関係に基づいて、前処理工程における処理量が、得るべき表面改質度に対応する大きさになるように調節する。 （もっと読む）

【課題】外部への熱の影響を抑制しながら高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、真空筐体２と、この真空筐体２の真空密閉キャビティ３内に配設されたマイクロリアクター本体４と、マイクロリアクター本体４の少なくとも１つの面に位置するゲッター発熱基板６とを備えたものとし、マイクロリアクター本体４は原料供給管５Ａにより真空筐体２の外部と接続さた原料導入口１９ａ、およびガス排出管５Ｂにより真空筐体２の外部と接続されガス排出口１９ｂとを有し、ゲッター発熱基板６は、基板７と、基板７上に相互に非接触状態で配設された発熱体９とゲッター材層１０とを有するものとした。 （もっと読む）

ケイ酸塩原料が、活性化されたスラリー原料を二酸化炭素と反応させる前に、燃料の燃焼により発生した熱を用いることにより、熱的に活性化されることを特徴とする、鉱物炭酸化法。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このマイクロリアクターを簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクターを、原料導入口およびガス排出口が連通した密閉空間を有する容器と、この容器の内部壁面から密閉空間へ突出する複数の突起と、これらの突起及び内部壁面に形成された触媒担持層と、この触媒担持層に担持された触媒とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】
装置の複雑化や、大型化を招くことなく、多様な成膜条件に適用可能なガス混合器、これを用いた成膜装置、及び面内均一性の高い薄膜を形成できる薄膜製造方法を提供する。
【解決手段】
少なくとも二以上の混合室を備えるガス混合器において、第一混合室に、混合しようとする二種以上のガスがそれぞれ導入される二以上の導入口と、一以上の排出口とを設けるとともに、第二混合室に、第一混合室に設けられた排出口と連通し、第一混合室から排出されたガスが導入される一以上の導入口と、一以上の排出口とを設け、第一混合室及び／又は第二混合室に設けた排出口を、同じ混合室に設けられた導入口に対して、ガスの流れ方向において重ならないように配設する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理を停止しても、短時間で安定したプラズマ処理性能に復帰させることができる、プラズマ処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理方法は、（ａ）空間１３を設けて対向配置された一対の電極１１，１２間に電圧を印加して放電を発生させるとともに、処理ガスを空間１３に供給して、処理ガスを被処理物１に接触させる、運転工程と、（ｂ）運転工程が一時停止された後、運転工程が再開されるまでの間の一時停止期間中において、電極１１，１２間に電圧印加を停止するとともに、処理ガス又は処理ガスの一部を構成する成分ガスを空間１３に供給する、運転再開準備工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】エンジン排ガス中に過剰の酸素が存在する場合でも、低温作動でかつ少ない消費電力で高効率に窒素酸化物を浄化できる電気化学リアクターを提供する。
【解決手段】被処理物中の窒素酸化物に対して電気化学反応を行うための素子を有する電気化学リアクターであって、イオン伝導体及び電極より構成される基本セル構造を有し、当該電極上又は電極内に窒素酸化物の吸着能を有する吸着材を配設した化学反応部を構成したことを特徴とする電気化学リアクター、窒素酸化物の吸着能を有する窒素酸化物吸着性複合材及び／又は窒素酸化物吸着物質、第１の電極、酸素イオン伝導性を有する固体電解質、及び第２の電極で形成され、最表面の片面もしくは両面に直接又は窒素酸化物選択還元触媒を介して窒素酸化物吸着性複合材を配置した、電気化学リアクター。 （もっと読む）

【課題】安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の中性粒子ビーム処理装置は、被処理物Ｘを保持する保持部２０と、高周波電圧の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことにより、真空チャンバ３内に正イオンと負イオンとを含むプラズマを生成するプラズマ生成部と、真空チャンバ内であって、プラズマ生成部と被処理物との間に配置され、プラズマから放出される紫外線を遮蔽するオリフィス電極４と、真空チャンバ内にオリフィス電極に対して上流側に配置されたグリッド電極５と、オリフィス電極とグリッド電極との間に電圧を印加することで、プラズマ生成部により生成されたプラズマから正イオンと負イオンとを交互に引き出すバイポーラ電源１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 工程を終えた後に排気される工程ガスをリサイクルすることによって、装備の経済性を向上させることができるプラズマ工程装備を提供する。
【解決手段】 工程チャンバーと、工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に工程チャンバーから排出される工程ガスから特定ガスを分離するガス分離装置と、を備える構成とした。ここで、ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて特定ガスを分離する液化装置から構成される。また、ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの電子線で被照射物を効果的に滅菌処理でき、装置全体を簡素化して経済的に製作できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】被照射物である容器１が搬送され電子線照射室４４部分に、電子線照射手段４０を設けてる。この電子線照射手段４０の電子線発生室４１と電子線照射室４４間の電子線照射窓４３に、薄膜４６を取り付けて両者を区画し、薄膜４６を透過する電子線により容器１を滅菌処理する。電子線照射室４４内は減圧手段により減圧状態を維持させており、薄膜４６として厚さ１５〜２５μｍのグラファイトシート４８を用いている。 （もっと読む）

【課題】誘電体バリア放電ランプにおけるランプ軸方向を均等な温度分布に冷却して良好なランプ軸均斉度を実現する。
【解決手段】ペルチェ素子１と、外部電極２と、誘電体バリア放電ランプ３と、誘電体バリア放電ランプ３を構成する石英ガラス管４と内部電極５およびエキシマ生成ガス６と、を備える。ペルチェ素子１を外部電極２に密着して配置し、ペルチェ素子１の吸熱側の面を外部電極２に密着させる。一方、放熱側のペルチェ素子１の面は外部に開放されて大気と触れており、送風手段にて送風された冷却用の風（Ｆ）が放熱分を奪いペルチェ素子１を冷却する。 （もっと読む）

【課題】化学平衡によって収率が低下した反応において装置規模や熱効率を同程度にしたまま低圧でも化学反応を促進することができる分離機能付き触媒槽を提供する。
【解決手段】分離機能付き触媒槽は、外容器１と、外容器１内に内蔵され触媒３を収納した触媒容器２と、外容器１に接続され触媒容器２に原料物質５を導入する原料導入管６と、外容器１に接続され触媒容器２からの生成物質７、８を導出する生成物質導出管９ａ、９ｂと、を備え、触媒容器２の遠心分離作用によって触媒反応時に原料物質５と生成物質Ａ７及び生成物質Ｂ８とが分離されること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法は、（ｉ）ＵＶ照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したＵＶ光で基板を照射することを完了した後に、ＵＶ照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、（ii）ＵＶ照射チャンバーの外部からＵＶ照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】テープ線の損傷を最小化しながら円滑なテープ線の供給が行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０の内部に、外周面に沿って螺旋状のガイド溝が設けられ且つガイド溝に沿って長尺のテープ線が巻き付けられているドラム３０と、ドラムの一側から離間して設けられた蒸着ソース４０と、ドラムの両軸側にテープ線の送りリール５０および巻き戻しリール６０とが位置し、ドラムが回転しながら蒸着ソースからテープ線２０上に特定の物質が蒸着されるようにするとともに、テープ線の送りと巻き戻しが行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置において、ドラムの内側で円周面に隣接して外側に突出するようにドラムの長手方向に長く設けられ、テープ線の移送方向に回転するスリップローラー１００を備え、テープ線の移動の際にガイド溝においてテープ線がスリップされる長尺テープ線上への蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】高純度のガスを３００〜１２００℃の温度に汚染なしに加熱するための方法を提供する
【解決手段】高純度のガスを０．１〜１０ｂａｒの圧力（絶対圧）で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して８５％よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱するようにした。 （もっと読む）

【課題】 空冷制御方式の紫外線照射装置において、光源収納室外の空気だけを利用した空冷とヒーターを利用した加熱とによって紫外線ランプのランプベースの温度を効率的に制御する。
【解決手段】 ランプベースの温度調整を行う温調機構は、光源収納室内でランプベースに接触する熱伝達部と、光源収納室を構成する外壁を貫通し光源収納室外に突き出して形成された突出部とを有する金属製温調ブロックと、光源収納室外に配置され該温調ブロックの突出部に光源収納室外の空気を吹き付ける冷却ファンと、該温調ブロック内部に設置されその部位の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出温度に基づいて冷却ファンを駆動させる温度制御回路とから構成する。 （もっと読む）

【課題】微細な連続気孔を持つ構造物あるいは膜を基板上に形成する方法を提供する。
【解決手段】平均微粒子径が０．１μｍ未満の脆性材料超微粒子を焼成し、これら脆性材料超微粒子同士を一部結合せしめて多孔質微粒子を形成する。次いでこの多孔質微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとし、このエアロゾルを基材に向けて吹き付けて多孔質微粒子を衝突させて、基材上に、多孔質微粒子同士が結合して堆積した多孔質構造物を形成する。 （もっと読む）

【課題】酸素雰囲気下においても少ない消費電力でＮＯ_ｘを効率よく電気分解することが可能なＮＯ_ｘ分解用電気化学素子を提供すること。
【解決手段】固体電解質からなる基板１１と、基板１１の両面に形成された一対の電極とを備えるＮＯ_ｘ分解用電気化学素子１であって、
前記電極のうちの一方の電極１３が、基板１１上に形成された電子伝導性物質からなる第一層１３ａと、第一層１３ａ上に形成されたジルコニア固溶体からなる第二層１３ｂとを備えるＮＯ_ｘ分解電極１３であり、且つ、
前記ジルコニア固溶体が、正方晶と単斜晶との合計量に対する正方晶の結晶相比率［〔正方晶〕／（〔正方晶〕＋〔単斜晶〕）］が５０〜８０％の範囲にあるものであること、
を特徴とするＮＯ_ｘ分解用電気化学素子。 （もっと読む）

【課題】触媒の形状、配置等に制限されることなく、貴金属ナノ粒子担持金属酸化物触媒を用いる低温酸化反応が著しく促進され、工業的に有利な低温酸化反応を効率的に行える方法を提供する。
【解決手段】貴金属ナノ粒子担持金属酸化物触媒を用いる低温酸化反応を低温プラズマ雰囲気下で行うことにより、該低温酸化反応を促進させる。かかる反応を実施するための装置としては、貴金属ナノ粒子担持金属酸化物触媒を収納する反応器に、低温酸化反応用の原料ガスと酸化用ガスを供給する手段と、低温プラズマを印加する手段とを付設した低温酸化反応装置が好ましい。 （もっと読む）

【目的】 エンジンからの排気ガスの未燃焼成分のうちのＨＣ，ＮＯｘを大幅に減少させることができ、しかも同時に燃料消費率向上させることができる排気ガス中の有害成分の低減装置を提供するものである。
【解決手段】 エアクリーナー１０の上流側に黒曜石２４を備え、黒曜石２４に接触した空気をエアクリーナー１０を経由してエンジン１８に導入する。これにエンジン１８からの排気ガスの未燃焼成分のうちＨＣ，ＮＯｘを大幅に減少させることができ、かつ燃料消費率を向上させることができる。 （もっと読む）