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Fターム[4H006AA03]の内容

有機低分子化合物及びその製造 (186,529) | 発明の種類 (31,005) | 用途 (6,451)

Fターム[4H006AA03]に分類される特許

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【課題】露光ラチチュード、及びLWRなどのパターンラフネス特性に優れ、経時による性能の変動が少ない感放射線性樹脂組成物、それを用いた感放射線性膜及びパターン形成方法、並びに電子デバイスの製造方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】放射線の照射により分解して酸を発生させる下記一般式(1)で表される化合物、及び酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感放射性樹脂組成物。一般式(1)中、R及びRは、各々独立に、アリールを表し、RとRが連結していてもよい。R及びRは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を表す。また、RとRが連結していてもよい。Rは、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、又はアルキルカルボニル基を表す。Rは、RもしくはRと連結していてもよい。
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【課題】優れたパターン倒れ耐性(PCM)を有するレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下式(I)で表される化合物、その化合物に由来する構造単位を有する樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法。


[式中、QI1及びQI2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表し、nは、0又は1を表し、m1及びm2は、それぞれ独立に、0又は1を表し、Xは、単結合又は炭素数1〜10のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよいが、nが0の時、Xは単結合ではなく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Z1+は、有機対イオンを表す。] (もっと読む)


【課題】以前のテトラサイクリン合成および半合成法によって、これまでアクセス不能であった様々なテトラサイクリン類似体およびポリサイクリンに効率的でエナンチオ選択的な経路を提供する。
【解決手段】下記式に代表されるテトラサイクリン類似体。


これらの類似体は、ヒトまたは他の動物の疾患治療において、抗菌剤または抗増殖剤として使用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】レジストパターン製造時のラインエッジラフネス(LER)が良好なレジスト組成物を構成する酸発生剤の提供。
【解決手段】式(1)で表される基を有するヒドロキシ芳香族誘導体。


[式中、Q及びQは、同一又は相異なり、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。Lは、炭素数1〜17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表し、該2価の脂肪族飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。Zは、有機カチオンを表す。*は、ヒドロキシ芳香族環との結合手を表す。] (もっと読む)


【課題】ポジ型、ネガ型のいずれのフォトレジスト組成物においても使用することができる新規な光感応性酸発生剤化合物、およびそれらの化合物を含むフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】組成物の露光されたコーティング層を現像させるのに充分な量で樹脂バインダおよび光感応性酸発生剤化合物を含み、その光感応性酸発生剤が放射線で露光されることによりα,α−ジフルオロアルキルスルホン酸を発生させる、フォトレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】第四級アンモニウム塩を含む組成物を提供すること。
【解決手段】(a)第三級アミノ基を有するマンニッヒ反応生成物であって、上記マンニッヒ反応生成物は、ヒドロカルビル置換フェノールと、アルデヒドと、アミンとの反応より調製される、マンニッヒ反応生成物;および(b)上記第三級アミノ基を第四級窒素に変換するのに適切な第四級化剤の反応の反応生成物より作製される第四級アンモニウム塩清浄剤、および吸気弁デポジットを低減するための上記第四級アンモニウム塩清浄剤の燃料組成物中での使用。 (もっと読む)


【課題】より優れた拡散制御およびレジストプロファイルのような付随する特性を有するテイラーメード光酸発生剤を含むフォトレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I):[A−(CHR−(L)−(CH−(C(R−SO(I)(式中、Aは置換されているかもしくは非置換の単環式、多環式もしくは縮合多環式の環式脂肪族基であり、RはH、単結合または置換されているかもしくは非置換のC1−30アルキル基であり、RはH、F、もしくはC1−4フルオロアルキルであり、Lはスルホナート基、スルホンアミド基またはC1−30スルホナートもしくはスルホンアミド含有基を含む連結基であり、Zは有機もしくは無機カチオンであり、pは0〜10の整数であり、kは1もしくは2であり、mは0以上の整数であり、並びにnは1以上の整数である)を有する光酸発生剤化合物。 (もっと読む)


【課題】レジストパターンのラインエッジラフネスに優れた酸発生剤を含むレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される塩。


[式中、Q〜Qはフッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。L及びLは炭素数1〜17の2価の飽和炭化水素基等を表す。Wは式(W−I)


(式中、nは0〜5の整数を表す。Rは炭素数1〜12の炭化水素基等を表す。mは0〜4の整数を表す。2つの*はL及びLとの結合手である。)で表される基を表す。Za+及びZb+は有機対イオンを表す。] (もっと読む)


【課題】レジスト組成物に有用な酸発生剤、該酸発生剤を含有するレジスト組成物および該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するレジスト組成物であって、酸発生剤成分(B)が、一般式(b1−11)で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含むことを特徴とするレジスト組成物。式(b1−11)中、R101〜R104はそれぞれ独立にアルキル基またはアルコキシ基であり、n1は1〜5の整数であり、n3およびn4はそれぞれ独立に0〜3の整数である。Xはアニオンである。
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【課題】リソグラフィー特性及びパターン形状に優れたレジスト組成物、レジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)と、露光によりpKaが0以上である酸を発生する酸発生剤成分(C)(但し、前記基材成分(A)を除く)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)(但し、前記基材成分(A)及び前記酸発生剤成分(C)を除く)と、を含み、前記基材成分(A)が、主鎖の少なくとも一方の末端に露光により酸を発生するアニオン部位を有する重合体(A1)を含有することを特徴とするレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】レドックスメディエータとしての錯体の提供。
【解決手段】レドックスメディエータとして式IIの錯体の使用が開示され、


式中、Mがルテニウム又はオスミウムであって0、1、2、3又は4の酸化状態を有し、x及びnが独立に、1〜6から選択された整数であり、yが0〜5から選択された整数であり、mが−5〜+4の整数であり、zが−2〜+1の整数である。Aが二座、三座、四座、五座又は六座配位子であって、Bが独立に選択された配位子、Xが対イオン、任意にBが、置換又は無置換のアルキル、アルケニル又はアリール基、−F、−Cl、−Br、−I、−NO2、−CN、−CO2H、−SO3H、−NHNH2、−SH、アリール、アルコキシカルボニル、アルキルアミノカルボニル、ジアルキルアミノカルボニル、−OH、アルコキシ、−NH2、アルキルアミノから、独立に選択された1〜8個の基で置換され、配位原子数が6である。 (もっと読む)


【課題】望ましくは高い解像度および低いラインエッジラフネス(LER)を有するフォトレジストについての厳しい要件を満たす向上した解像度を有するカリックス[4]アレーンベースの分子性ガラス化合物、該化合物の形成方法および該化合物を含むフォトレジストを提供する。
【解決手段】式C(R=C(R)−O−(L)−Arの芳香族ビニルエーテル(式中、RおよびRはそれぞれ独立して単結合、H、C1−20アルキル等であり、LはC1−20連結基であり、nは0もしくは1であり、並びにArはハロ含有単環式、または置換されているかもしくは非置換の多環式もしくは縮合多環式C6−20芳香族含有部分であり、ここで、RおよびRのいずれかもしくは両方が単結合であってかつnが0である場合にはRおよびRはArに連結される)と、カリックス[4]アレーンとのビニルエーテル付加物を含む分子性ガラス化合物。 (もっと読む)


【課題】ピセアタンノール、p−クマル酸、ルテオリン及びε−ビニフェリンより強力な抗癌活性、特に口腔癌に対する強力な抗癌活性を有する新規ヒドロキシスチルベン誘導体、該新規ヒドロキシスチルベン誘導体を、効率よく、安全に生成する方法、さらには前記新規ヒドロキシスチルベン誘導体を含有することを特徴とする抗癌剤さらには食品、医薬品及び医薬部外品の提供。
【解決手段】ピセアタンノールとp−クマル酸を金属塩存在下で加熱処理することにより得られる4-[(4-ヒドロキシフェニル)-1-エチル]-(E)-スチルベン-3,3',4',5-テトラオール又はその薬学的に許容可能な塩。 (もっと読む)


【課題】低加湿条件下においても優れたプロトン伝導性を有し、機械強度および化学的安定性に優れ、固体高分子型燃料電池としたときに高出力、優れた物理的耐久性を達成することができる高分子電解質材料、ならびにそれを用いた高分子電解質成型体および固体高分子型燃料電池を提供する。
【解決手段】式(P1)で表される構成単位を含有するポリマーからなる高分子電解質材料、ならびにそれを用いた高分子電解質成型体および固体高分子型燃料電池。


(R1、R2はそれぞれ独立して、パーフルオロアルキル基からなる群、またはイオン性基を含有する芳香族基からなる群より選択される置換基を表す。M1、M2は水素、金属カチオン、アンモニウムカチオンから選択されるカチオン種を表す。) (もっと読む)


【課題】感度等の基本性能に加えて、ナノエッジラフネス、解像度、パターン倒れ耐性、MEEF(Mask Error Enhancement Factor)等に優れると共に、これらのバランスに優れるレジスト膜を形成するために用いられる化合物、それを用いて得られる重合体及びその重合体を含有するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表される化合物である。
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【課題】グリセリンの脱水反応により得られたアクロレイン含有ガスを分縮により高度に精製でき、凝縮液での析出物の生成を抑制できるアクロレインの製造方法、ならびに、前記アクロレインの製造方法により得られたアクリル酸を用いたアクリル酸の製造方法、および親水性樹脂の製造方法を提供する。
【解決手段】グリセリンを脱水反応させてアクロレイン含有ガスを得るグリセリン脱水工程と、アクロレイン含有ガスを冷却して、アクロレイン含有ガスに含まれるアクロレインの一部、水、および高沸点物質を凝縮させて、精製ガスと凝縮液を得る分縮工程と、精製ガスと凝縮液を気液分離する分離工程とを有し、分縮工程で、アクロレイン含有ガスまたは凝縮液に重合禁止剤を添加することを特徴とするアクロレインの製造方法。 (もっと読む)


【課題】フッ素ガスの放出率が極めて高い、フッ素化カーボンナノホーンを含む組成物を提供する。
【解決手段】フッ素化カーボンナノホーン、及び、金属フッ化物を含むことを特徴とする組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明は、新規な塩基増殖剤、該塩基増殖剤を含む樹脂組成物および該樹脂組成物から得られる硬化物を提供することを課題とする。
【解決手段】斯かる課題を解決する手段として、下記一般式(1)で表される化合物を提供する。
【化1】


[式中、X、n、R〜Rは明細書に定義されるとおりである。] (もっと読む)


【課題】感度等の基本性能に加えて、ナノエッジラフネス、解像度、パターン倒れ耐性、MEEF(Mask Error Enhancement Factor)に優れるレジスト膜を形成するために用いられる化合物、それを用いて得られる重合体及びその重合体を含有するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表される化合物。


(式(1)中、Rは、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。Rは、単結合又は2価の連結基である。Mは、1価のカチオンである。)また、式(1)におけるMの1価のカチオンは、例えば4−シクロヘキシルチオフェニル・ジフェニルスルホニウムのようなスルホニウム好ましい。 (もっと読む)


【課題】医薬等に用途で有用な光学活性アルキルアミノスルホンアミド誘導体の製造方法及び光学活性β−アミノアルコール誘導体の提供。
【解決手段】3-ニトロベンズアルデヒド化合物とニトロアルカンとを光学活性テトラアミノホスホニウム塩、及び塩基の存在下、反応させて得た光学活性β−アミノアルコール誘導体をスルホニル化して光学活性アミノスルホンアミド誘導体を製造し、その後、該誘導体と、アルデヒド類とを、還元剤の存在下、反応させ、光学活性アルキルアミノスルホンアミド誘導体(3)を製造する。


[Rsはアルキル基スルホニル基であり、R、Rはアルキル基であり、HYは酸である。] (もっと読む)


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