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Fターム[4J100BA20]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | 構成元素 (28,779) | O含有基 (18,190) | −COOR基 (634)

Fターム[4J100BA20]に分類される特許

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【課題】近赤外の波長領域における一層辺りの反射帯域幅が広く、実質的に無色な重合体の提供。
【解決手段】420nmにおける透過率を550nmにおける透過率から減じた値が10%以下であり、実質的に無色であり、固定化されたコレステリック液晶相を有し、前記固定化されたコレステリック液晶相のピッチが、近赤外の波長領域において入射光の40%以上を反射する帯域が200nm以上となるように勾配を有する重合体。 (もっと読む)


【課題】繰り返してパターン形成しても、パターン形成性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)および非重合性化合物(C)を含有するインプリント用硬化性組成物であって、該インプリント用硬化性組成物に対する前記非重合性化合物(C)の溶解が発熱的であることを特徴とするインプリント用硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】高変性率の変性共役ジエン系重合体を得ることができる製造方法を提供すること。
【解決手段】ランタン系列金属化合物を開始剤に用いて、共役ジエン系単量体を重合させて共役ジエン系重合体を得る工程と、前記共役ジエン系重合体と、シリル基に結合したアルコキシ基と、エステル基とをそれぞれ少なくとも1個有するアミノ基含有化合物とを反応させる工程と、を有する変性共役ジエン系重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】解像性、焦点深度(DOF)特性に優れ、真円性に優れた矩形性の高いホールパターンを与えることのできるポジ型レジスト組成物、及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】(A)下記一般式(1−1)で示される繰り返し単位と、下記一般式(1−2)で示される繰り返し単位と、酸不安定基を有する繰り返し単位とを含み、酸によってアルカリ溶解性が向上する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)塩基性化合物、及び(D)溶剤を含有するものであることを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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【解決手段】酸不安定基により水酸基が保護された構造を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、光酸発生剤と、有機溶剤と、フッ素原子を有する繰り返し単位を含有し、かつ水酸基を含有しない高分子添加剤とを含み、高分子添加剤の含有量が全高分子化合物の含有量に対して1〜30質量%であるレジスト組成物を基板に塗布し、塗布後加熱処理をして作製したレジスト膜を高エネルギー線で露光し、露光後加熱処理を施した後に、有機溶剤を含有する現像液によりレジスト膜の未露光部分を選択的に溶解させるネガ型パターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト組成物は、液浸露光可能な高い後退接触角を示すと共に、有機溶剤ネガ現像と組み合わせることで高い解像性、微細トレンチパターンやホールパターンの広い焦点深度を示し、ラインパターン側壁の垂直性を高め、パターン倒れ耐性を向上させることが可能である。 (もっと読む)


【課題】 従来の紫外線吸収剤を用いた場合に比して、耐光性、非ブリードアウト性、相溶性、耐水性、及び耐熱性に優れ、単独又は種々の樹脂との配合で、光劣化が抑制されるとともに、耐久性の向上した塗料を提供する。
【解決手段】
紫外線吸収型ポリマー(A)と、ポリウレタン(B)のディスパージョンとを含むポリマー組成物を含有してなる塗料が提供される。紫外線吸収型ポリマー(A)は、二重結合及び紫外線吸収基を有する化合物(a)と、二重結合含有成分(h)とを含む重合成分を重合させて得られる重合生成物であり、ポリウレタン(B)のディスパージョンとしては、活性水素含有基及びアニオン性親水性基(水酸基を除く。)を有する化合物(b)と、ポリオール(c)及び/又はポリアミン(d)と、ポリイソシアネート(e)と、を含む反応成分を反応させて得られる反応生成物の水分散体が用いられる。 (もっと読む)


【課題】ポリオレフィン系樹脂層及びビニルアルコール系樹脂の両方との接着性に優れる樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表される構造単位を有するポリビニルアルコール系樹脂と、スチレン系熱可塑性エラストマーとを含有する樹脂組成物であって、ポリビニルアルコール系樹脂とエラストマーの重量比が75/25〜60/40であり、ポリビニルアルコール系樹脂が島成分、ブロック共重合体が海成分の海島構造であることを特徴とするものである。
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【課題】ラインウィズスラフネス等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性、及び露光ラチチュードに優れ、パターンサイズの現像時間依存性が小さく、かつ現像により形成されるパターン部の膜厚低下、いわゆる膜べりを抑制できるパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びレジスト膜、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】(ア)下記一般式(I)又は(II)で表される繰り返し単位(a1)を樹脂(P)中の全繰り返し単位に対して20モル%以上有する樹脂(P)、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、(イ)膜を露光する工程、及び(ウ)露光された膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を有するパターン形成方法。
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【課題】レジスト組成物用酸発生剤として有用な塩、及び当該塩を含有する、優れたCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造し得るレジスト組成物等を提供する。
【解決手段】式(I)で表される塩。


[式(I)中、Rは、置換基を有してもよい芳香族炭化水素基を表す。Rは、塩基解離性基を表す。Rは、水素原子又はヒドロキシ基を表す。X及びXは、それぞれ独立に、式(a−g1)


(式(a−g1)中、sは0〜2の整数を表す。A10及びA11は、それぞれ独立に脂肪族炭化水素基を表す。X10は、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。m1は1又は2を表し、m2は0又は1を表す。但し、m1+m2=2の関係を満たす。Aは、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオンから選ばれる有機アニオンを表す。] (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性で、レジストパターンを製造することができ、得られたレジストパターンの欠陥の発生数も少ないレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】高感度、良好なパターン形状、良好なラフネス特性、及び残渣欠陥の低減を達成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いた感活性光線性又は感放射線性樹脂膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を生成する基を含有する繰り返し単位(A)と、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解度が増大する基を含有する繰り返し単位(B)とを含んだ樹脂(P)と、下記一般式(1−1)又は(1−2)により表される化合物(Q)とを含有している。


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【課題】CD均一性が良好で、かつ欠陥が少ないレジストパターンを製造できるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】高速硬化が可能で硬化反応が停止しにくい活性光線硬化組成物及び該組成物を用いた活性光線硬化型インクジェット用インクの提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される塩基反応性化合物及び光塩基発生剤を含む活性光線硬化組成物。


上記式中、Aは脂環式構造又は複素環式構造を表し、置換基を有していても良く、環の中に二重結合を二つ有していても良い。 (もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージン(DOF)で、欠陥の発生数も少ないレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)及び式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】優れたマスクエラーファクターを有し、かつ欠陥の発生が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し式(I)で表される構造単位を含まない)、酸発生剤及び式(II)で表される化合物を含有するレジスト組成物。
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【課題】レジストパターン形成時の露光マージン(EL)に優れ、欠陥の発生数が少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)及び式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、A14は、脂肪族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】優れたマスクエラーファクター(MEF)のレジストパターンを製造し得るレジスト組成物及び該レジスト組成物に用いられる新規な樹脂を提供する。
【解決手段】式(aa)で表される構造単位(aa)と、式(ab)で表される構造単位(ab)とを有する樹脂及びこの樹脂及び酸発生剤を含むレジスト組成物。


[Raa1及びRab1は、水素原子又はメチル基;Raa2は、水素原子又はフッ化アルキル基;Raa3は、フッ化アルキル基;Raa4は、酸安定基;Aaa1は、炭化水素基;Aab1は、アルカンジイル基;Rab2は、脂肪族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)で、且つ、欠陥の発生が少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、酸発生剤、式(II)で表される化合物を含むレジスト組成物。
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【課題】優れた露光マージン及びマスクエラーファクターを有し、且つ欠陥の発生が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、酸発生剤及び式(II)で表される化合物を含有するレジスト組成物。
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【課題】ラインエッジラフネス(LER)がより良好なレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】 酸分解性基を有する樹脂(A)と、
式(B3)


[式(B3)中、
は、酸分解性基を有し、窒素原子を有さない有機カチオンを表す。
は、酸分解性基及び窒素原子を有さない有機スルホン酸アニオンを表す。]
で表される塩(B3)と、
式(E1)


[式(E1)中、
は、窒素原子を有する有機カチオンを表す。
は、窒素原子を有さない有機スルホン酸アニオンを表す。]
で表される塩(E1)と
を含有するレジスト組成物。 (もっと読む)


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