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【課題】透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜を与える感光性樹脂組成物を提供すること、並びに、透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜及びその形成方法を提供すること。また、透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜を具備する有機EL表示装置、及び、液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する架橋性アクリル樹脂、(C)高分子感光剤、並びに、(D)溶媒を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物を使用する硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置。 (もっと読む)


【課題】解像性が高く、しかも、優れた屈曲性および難燃性を有する膜が得られる感放射線性組成物、この感放射線性組成物に好適な重合体、この感放射線性組成物から得られる感放射線性カバーレイおよびフレキシブルプリント配線板を提供する。
【解決手段】本発明の感放射線性組成物は下記の(A)成分、(C)成分および(D)成分を含有する。
(A)成分:リン含有基を有するエチレン性不飽和単量体由来の構造単位(a1)と、リン含有基を有さず、エチレン性不飽和基を少なくとも2つ以上有するエチレン性不飽和単量体由来の構造単位(a2)とを含有してなる重合体。
(C)成分:多官能性単量体。
(D)成分:感放射線性重合開始剤。 (もっと読む)


【課題】赤外線レーザー露光によって露光後経時安定性のよい発色画像が得られる発色感光性組成物及び平版印刷版原版を提供する。また、赤外線レーザー露光によって露光後経時安定性のよい発色画像が得られるシアニン色素を提供する。
【解決手段】(A)分子内にアクリロイル基、メタクリロイル基、及びビニル基から選ばれる重合性基を少なくとも2つ有するシアニン色素、(B)ラジカル発生剤、及び(C)エチレン性不飽和基を有するモノマーを含有することを特徴とする発色感光性組成物、及び該組成物を含む画像記録層を有する平版印刷版原版、並びに特定構造のシアニン色素。 (もっと読む)


【課題】基板密着性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)オキシムエステル化合物および(B)重合性単量体を含むインプリント用硬化性組成物であって、該組成物の溶剤を除く成分の80重量%以上が前記(B)重合性単量体である、インプリント用硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】 パターニング時のアルカリ水溶液への可溶性に優れ、かつ硬化後の機械的強度特に弾性率に優れる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 一般式(1)で表される樹脂(A)、架橋剤(B)及び感光性酸発生剤(C)を含むことを特徴とする化学増幅型ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物。
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【課題】 新規なビニルエーテル重合体を提供すること。
【解決手段】 下記一般式(1−a)又は下記一般式(1−b)で表される構造単位を含有する、ビニルエーテル重合体。
【化1】


[式中、nは0又は1を示し、R及びRはそれぞれ水素、メチル基又はエチル基を表し、RとRの炭素数の合計は1又は2である。] (もっと読む)


【課題】低粘度で低揮発性の新規化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)、下記一般式(2)、下記一般式(3)、下記一般式(4)、または下記一般式(5)で表される、分子量310以上の化合物。
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【課題】LWRが小さく、かつ、DOFの広いレジストパターンを形成可能なレジスト被膜の材料である感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】40モル%以上の下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体(A)及び酸発生剤(B)を含有する感放射線性樹脂組成物。(一般式(1)中、Rは水素原子など、Rはアルキル基、Rは炭素原子、Zは脂環式骨格を示す。)
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【課題】難燃性、密着性、耐薬品性、耐熱性、耐屈曲性等のバランスに優れたカバーレイ、またはソルダーレジストを形成することが可能な、硬化性組成物を提供する。
【解決手段】式(1)で表されるイミド(メタ)アクリレート(A)及び難燃剤(B)を含有する硬化性組成物により、耐めっき性、はんだ耐熱性、密着性、難燃性を有する硬化膜を形成する。



(式中、Rは水素又はメチルであり、Rは炭素数1〜100の有機基であり、R、Rは、それぞれ独立して水素、またはメチルを示すか、RとRが結合して環状構造を示す炭化水素環、あるいはその炭化水素環にメチルが1〜4つ結合した炭化水素環誘導体、nは1〜6までの整数である) (もっと読む)


【課題】 孤立パターンの解像性に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、下記一般式(1)により表される繰り返し単位を含んだ樹脂を備えている。
【化1】
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【課題】保存安定性及び現像性に優れ、優れた膜物性と高い透明性を有する硬化膜を与えることができる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)(メタ)アクリル酸及び/又はそのエステルに由来するモノマー単位を有し、アルカリ可溶性基を有し、オキシラニル基及びオキセタニル基のいずれをも有さず、加熱によりカルボキシ基を生成する残基を含有するアルカリ可溶性樹脂、(成分B)1,2−キノンジアジド化合物、並びに、(成分C)(メタ)アクリルエステルに由来し、オキシラニル基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位を含み、不飽和カルボン酸又は不飽和酸無水物に由来するモノマー単位を有しない架橋性樹脂を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】特に露光光源として電子線、X線またはEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像性、パターン形状、及びラインエッジラフネズ、レジスト経時安定性、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供。
【解決手段】活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位であって、酸解離性基を含む繰り返し単位(A)と、少なくとも芳香環基を有する繰り返し単位(B)を含む樹脂(P)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】分散安定性が良好で、インクの吐出性およびカラー画像の耐擦性を両立しうるインク組成物、インクセットおよびこれを用いた画像形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される構造単位を含む第一の樹脂分散剤と下記一般式(II)で表される構造単位を含む第二の樹脂分散剤とによって被覆された顔料、有機溶媒、中和剤、及び水を含むインク組成物〔式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Arは無置換又は置換の芳香族環を表す。nは、平均の繰り返し数を表し、1〜6である。Rは水素原子又はメチル基を表し、Lは置換又は無置換のフェニレン基を表し、Lは単結合又は2価の連結基を表し、Arは炭素数8以上の縮環型芳香環、芳香環が縮環したヘテロ環、又は二個以上連結したベンゼン環から誘導される1価の基を表す。〕。
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【課題】良好な形状及び良好なラインエッジラフネスを示す化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【解決手段】酸解離性炭酸エステル基を有するベンゼンスルホン酸のトリスルホニウム塩型光酸発生剤と、ヒドロキシスチレン及びフェノキシ置換または無置換のアルコキシアルキル型の酸解離性基を含むヒドロキシスチレン単位を含む共重合体樹脂とを含む化学増幅ポジ型のレジスト組成物。光酸発生剤として、特に、2−アルキルー2−アダマンチル炭酸エステル置換ベンゼンスルホン酸のトリフェニルスルホニウム塩が望ましい。 (もっと読む)


【課題】1,3,4−チアジアゾール基を有する新規なモノマーおよびこれを重合することで得られる新規なポリマーを与えることを目的とし、水、アルコール等の極性溶媒に可溶性であり、コーティング材料として基体との間で高い接着性を示す水酸基を有する重合体とこれを得るためのモノマーを与える。
【解決手段】下記一般式Iで示されるチアジアゾール誘導体およびこれを重合して得られるポリマー。
【化1】
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【課題】保存安定性に優れ、かつ耐熱性、透明性、基材密着性、平坦性に優れた感光性組成物、それを含むコーティング剤ならびにこれを用いたカラーフィルタ保護膜、層間絶縁膜、フォトスペーサーの提供。
【解決手段】炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、カルボキシル基、およびエチレン性不飽和基を有するアクリル系硬化性樹脂(A)、モノシクロ環を有するエポキシ化合物、ビシクロ環を有するエポキシ化合物、およびトリシクロ環を有するエポキシ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1つのエポキシ化合物(B)、エチレン性不飽和基を有する重合性化合物(C)、ならびに、溶剤(D)を含んでなる感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】紫外線露光と現像とによりパターンを作製するために用いられる感光性組成物であって、作製したパターンに熱処理を行うことによって平滑性に優れた順テーパー形状のパターンに変化させることができ、かつ耐熱性と耐候性とに優れた塗膜を形成できる感光性組成物の提供。
【解決手段】水酸基とカルボキシル基とを有しない式量70〜120のエチレン性不飽和モノマー(a)10〜50重量%、水酸基含有エチレン性不飽和モノマー(b)40〜60重量%、およびカルボキシル基含有エチレン性不飽和モノマー(c)10〜30重量%を含むエチレン性不飽和モノマー(M)をラジカル重合してなる共重合体(A)中の水酸基1molに対し、
イソシアネート基含有エチレン性不飽和モノマー(d)中のイソシアネート基を0.5〜1mol反応させてなる感光性樹脂(B)を含有する感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥、ラインウィズスラフネス、スカムの発生が抑制され、パターン形状に優れたパターンを形成することが可能で、更に液浸露光時の液浸液に対する追随性が良好であり、バブル欠陥抑制の諸性能も良好な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】極性変換基を少なくとも2つ以上有し、かつ、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する繰り返し単位(a)を含有し、かつ、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂(A)、を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】紫外線露光と現像とによりパターンを作製するために用いられる感光性組成物であって、作製したパターンに熱処理を行うことによって平滑性に優れた順テーパー形状のパターンに変化させることができ、かつ耐熱性と耐候性とに優れた塗膜を形成できる感光性組成物の提供。
【解決手段】カルボキシル基を有しない式量70〜120のエチレン性不飽和モノマー(a)10〜90重量%、カルボキシル基含有エチレン性不飽和モノマー(b)10〜70重量%を含むエチレン性不飽和モノマー(M)をラジカル重合してなる共重合体(I)中のカルボキシル基1モルに対し、
エポキシ基含有エチレン性不飽和モノマー(c)中のエポキシ基を0.2〜0.9モル反応させてなる感光性樹脂を含有する感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】高解像性、高感度、良好なラインエッジラフネスが得られる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により、側鎖に酸を生じる繰り返し単位(A)、及び、アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位(C)、を有する樹脂(P)であって、該樹脂(P)が、ヘテロ原子を含んでもよい複数の芳香環構造を有し、該複数の芳香環構造が縮環、又は互いに単結合で連結されている構造部位(X)を有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


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