【課題】良好なパターン転写が可能な紫外線硬化性樹脂材料を得る。
【解決手段】２−メチルー２ーアダマンチルアクリレート、２-エチルー２-アダマンチルアクリレート、及び１，３−アダマンタンジメタノールジアクリレートのうち少なくとも１種、イソボルニルアクリレート、多官能アクリレート、及び重合開始剤を含有するか、または上記アクリレートの少なくとも１つ、重合開始剤、及びフッ素系アルコールを含有するパターン転写用紫外線硬化性樹脂材料。 （もっと読む）

【課題】分散剤を添加しなくても優れた分散性を実現でき、かつ、得られる膜状体が高い強度を有するスラリー組成物を提供し、また、該スラリー組成物を用いて得られるセラミックペースト、導電ペースト、磁性粉末ペースト、ガラスペースト、熱現像性感光材料用ペースト及び蛍光体ペーストを提供する。
【解決手段】無機粉末及びポリビニルアセタール樹脂を含有するスラリー組成物であって、前記ポリビニルアセタール樹脂は、少なくともビニルアルコール単位、ビニルアセタール単位、酢酸ビニル単位ならびに下記式で示す１，２−ジオール有する単位、で表される構造単位を有する変性ポリビニルアセタール樹脂を含有し、上記変性ポリビニルアセタール樹脂は、当該式で表される構造単位の含有量が０．０５〜２．０モル％であるスラリー組成物。
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【課題】金属微粒子の分散能に優れる金属微粒子分散剤、並びに、該分散剤を用いることにより金属微粒子の濃度の高い薄膜又は硬化膜を提供すること。
【解決手段】アミノ官能基又はイミノ官能基を末端に有し、ゲル浸透クロマトグラフィーによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量が１，０００乃至２，０００，０００である高分岐ポリマーからなることを特徴とする金属微粒子分散剤、該金属微粒子分散剤と金属微粒子を含む組成物並びにそれから得られる薄膜又は硬化膜。 （もっと読む）

【課題】高感度、密集パターンおよび孤立ラインの高解像性、十分な露光余裕度、良好なラインウィズスラフネス、良好なブリッジマージン、孤立スペースの高解像性を同時に満足する感活性光線または感放射線樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）炭素数５から８の単環の酸解離性シクロアルキル（メタ）クリレート単位と置換スチレン単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により、炭素数３以上の炭化水素基を置換基を芳香環に有する構造のスルホン酸を発生する化合物を含有することを特徴とする、感活性光線または感放射線樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用されるポジ型感光性組成物及び該ポジ型感光性組成物を用いたパターン形成方法に於いて、パターン形状、ＰＥＢ温度依存性、露光ラチチュードが改善されたポジ型感光性組成物及び該ポジ型感光性組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）活性光線又は放射線の照射により有機酸を発生する特定構造の化合物、及び、（Ｂ）酸の作用により分解しアルカリ可溶性基を生じる酸分解性基として、ビシクロ［２．２．１］ヘプタン骨格にエステル結合を有する基が結合した基、並びに、特定の繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物及び当該ポジ型感光性組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】ＣＤ均一性及びマスクエラーファクターをさらに向上させることができるレジストパターンの製造方法を提供すること。
【解決手段】レジストパターンの製造方法であって、酸の作用によりアルカリ可溶となる樹脂（Ａ）と酸発生剤（Ｂ）とを含有するレジスト組成物を、基体上に塗布してレジスト膜を得る工程と、レジスト膜を温度Ｔ_PBでプリベーク（ＰＢ）する工程と、プリベークしたレジスト膜を露光する工程と、露光したレジスト膜を温度Ｔ_PEBでポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ）する工程と、ポストエクスポージャーベークしたレジスト膜をアルカリ現像液で現像してレジストパターンを得る工程とを含み、８５℃＜Ｔ_PEB、Ｔ_PEB＜Ｔ_PB、且つＴ_PB＜１００℃であることを特徴とする製造方法。 （もっと読む）

【課題】ディフェクトの発生が抑制されたレジストパターンを良好なリソグラフィー特性で形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、下記一般式（ｃ１−１）で表される構成単位（ｃ１）および下記一般式（ｃ２−１）で表される構成単位（ｃ２）を有し、前記構成単位の（ｃ２）の割合が２０〜６０モル％である含フッ素共重合体からなる添加剤成分（Ｃ）と、を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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【課題】アルカリ現像性を低下させることなく、基板に対する密着性が向上した感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】１分子中に１個以上のラジカル重合性不飽和結合と１個以上のカルボキシル基を有する酸価２０〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性樹脂、１分子中に１個以上のアミド基と１個以上のヒドロキシル基を有し、ゲルパーミエーション法により測定した重量平均分子量が１，０００〜１００，０００であるポリマー、光重合開始剤、着色剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】十分な透過率を有する塗膜を形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】ケイ素含有アクリル樹脂（Ａ）、シロキサン化合物（Ｂ）（ただし、（Ａ）を除く）及び感光物質（Ｃ）を含有し、感光性樹脂組成物に対する水分量が、０．１５〜０．４５質量％である感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 光学系用途としての十分に高い透明性及び屈折率を有し、マイクロレンズアレイを形成する際のレンズ形成能に十分に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 所定の構造を有する硫黄含有化合物と不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物とをモノマー単位として含む重合体、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】発生酸の溶出、ラインエッジラフネス、現像欠陥、スカムの発生が改良され、プロファイルの劣化も少なく、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるレジストパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、（Ｃ）極性変換基を少なくとも１つ有する繰り返し単位（ｃ）を有し、かつ、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂を含有する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

コポリマー、そのコポリマーを含むポリマー粒子、ポリマー粒子の製造方法、コポリマーバインダー、コポリマーバインダーの製造方法、近赤外線感応性コーティング組成物、ネガ型で機能するリソグラフィックオフセット印刷プレート、ネガ型で機能するリソグラフィックオフセット印刷プレートの製造方法、及びそのプレートに画像形成し、その画像形成されたプレートを用いて印刷する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】共役ジエン系重合体等の水素化反応の反応速度が大きく、当該重合体を高い反応率で得ることができる水素化重合体の製造方法を提供する。また、水素化重合体の製造方法を一工程として用いて、効率よく光硬化性樹脂を製造することができる光硬化性樹脂の製造方法、当該製造方法により得られる光硬化性樹脂、及び当該光硬化性樹脂を用いたシール材を提供する。
【解決手段】担体に白金を担持した白金担持触媒の存在下、有機溶媒中で重合体を水素化する水素化工程を含み、前記重合体が共役ジエン系重合体又は共役ジエン／芳香族ビニル系共重合体であり、前記有機溶媒が炭素数６〜１０の飽和炭化水素を含む水素化重合体の製造方法である。水素化重合体の製造方法を一工程として用いた光硬化性樹脂の製造方法、該製造方法により得られる光硬化性樹脂、及びこの光硬化性樹脂を用いたシール材である。 （もっと読む）

【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のスチレン系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に２個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長３００ｎｍ以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】高解像度であり、焦点深度（ＤＯＦ）が広く、得られるパターン形状が良好であり、且つ低比誘電率な硬化パターンを形成することができるネガ型感放射線性組成物、並びに、それを用いてなる硬化パターン及びその形成方法を提供する。
【解決手段】ポリシロキサン（Ａ）と、感放射線性酸発生剤（Ｂ）と、下記一般式（１）で表される構造単位（ｃ１）を含む重合体（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）と、を含有するネガ型感放射線性組成物。
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【課題】薄膜であっても、感度、解像度等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、ラインパターンを形成する際における露光余裕度が優れ、また、現像後の残渣を低減させるレジスト膜を形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）少なくとも下記式（ａ−１）で表される繰り返し単位を有する重合体、並びに（Ｂ）酸発生剤、（Ｄ）有機溶剤を含有することを特徴とする、感放射線性樹脂組成物。
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【課題】
電子情報分野の部材を形成するレジスト用のバインダー樹脂として好適な、感光性、アルカリに対する現像速度、耐溶剤性能やパターン形状、密着性に優れた新規な共重合体を提供する。また、該樹脂を含む感光性樹脂組成物を用いて高品質のカラーフィルター部位を歩留まりよく形成する。
【解決手段】
イタコン酸とアクリル酸エステルモノマーを含むモノマーを共重合して得られる共重合体をバインダー樹脂として用いる。また、該樹脂、ラジカル重合性化合物、光開始剤、及び溶剤を必須成分として含む感光性樹脂組成物を、カラーフィルター用レジストとして用いる。 （もっと読む）

【課題】解像性能などに優れたレジストの材料である感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）一般式（１）Ｘ^＋Ｚ⁻で表される化合物（Ｘ^＋は一般式（１−１）、（１−２）で表されるカチオン、Ｚ⁻はＯＨ⁻などのアニオン）、（Ｂ）一般式（２）で表される繰り返し単位と一般式（３）で表される繰り返し単位を有する樹脂、および（Ｃ）感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。


（一般式（１−１）、（１−２）、（２）、（３）中、Ｒ^２〜Ｒ^７は水素原子等、Ｒ^８は脂環式炭化水素基等、Ａは単結合等、Ｒ^９は１価の有機基である） （もっと読む）

【課題】環境問題に配慮したアルカリ現像性の感光性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにこれらにより硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、（Ａ）回収されたポリエステルを原料とする樹脂、及び（Ｂ）光重合開始剤を含有する。好適には、上記樹脂（Ａ）は、ポリオール、カルボキシル基含有樹脂、又はエチレン性不飽和基を有する感光性樹脂であり、特に回収されたポリエステル（ａ）を１分子中に２個以上のポリオール（ｂ）で解重合させて得られるポリオール、又は解重合の前、同時もしくは後に多塩基酸もしくはその無水物（ｃ）を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂等であり、さらに上記樹脂（Ａ）以外のカルボキシル基含有感光性樹脂（Ｃ）を含むことが好ましい。好ましくは、感光性樹脂組成物は、さらに熱硬化性成分（Ｄ）を含有し、あるいはさらに着色剤（Ｅ）を含有する。 （もっと読む）

【課題】パターン倒れが抑制され、かつ現像不良が発生しにくく、更に経時安定性に優れたパターンを形成することが可能である感活性光線又は感放射線樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、（Ｃ）アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基を有する繰り返し単位を含有し、かつ、フッ素原子及びケイ素原子の少なくともいずれかを含有する樹脂、及び（Ｄ）ｐＫａが９以下である塩基性化合物を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）