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【課題】ArFエキシマレーザーを高原とするフォトリソグラフィー工程に用いられ、90nm以下の線幅を可能とする短波長の光源を用いた微細なレジストパターンの形成に対応することができ、解像性能に優れるだけでなく、パターン倒れ耐性にも優れた樹脂の提供。
【解決手段】ノルボルナンカルボン酸に由来する特定のラクトン骨格を側鎖に有する(メタ)クリル酸エステル(a−1)および特定のアダマンタン骨格を側鎖に有する(メタ)クリル酸エステル構造単位(a−2)とからなる樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤とからなる樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】耐熱性に優れ、屈折率が高く光学特性に優れた樹脂を提供すること。
【解決手段】縮環構造骨格を有する特定のアルコール化合物、縮環構造含有(メタ)アクリレート樹脂、縮環構造含有ポリエステル樹脂、および、縮環構造含有ポリウレタン樹脂が提供される。 (もっと読む)


【課題】レーザーによる画像記録が可能であり、充分な耐刷性を維持しつつ良好な汚れ性、現像性が得られる平版印刷版原版、及び平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、スルホンアミド基を有するポリマーを含有する中間層と、ラジカル重合開始剤、増感色素及び重合性化合物を含有する画像記録層とを順次積層して有することを特徴とする平版印刷版原版;支持体上に、スルホンアミド基を有するポリマーを含有する中間層と、ラジカル重合開始剤、増感色素、重合性化合物及びバインダーポリマーを含有する画像記録層とを順次積層して有する平版印刷版原版を用いた平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】 低粘度で、パターン精度に優れ、かつ、耐熱性および機械強度に優れた光ナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される(メタ)アクリレート化合物、(B)光重合開始剤および(D)離型剤を含む光ナノインプリント用硬化性組成物。


(一般式(1)中、R1およびR4は、それぞれ、水素原子またはメチル基を表し、Xは、それぞれ、2価の有機基を表し、R2およびR3は、それぞれ、水素原子、メチル基、または、ハロゲン原子を表し、R2およびR3は互いに結合して環を形成しても良く、nは1〜3の整数である。nが2以上のとき、それぞれの、R2およびR3は、それぞれ、同一であっても異なっていても良い。) (もっと読む)


【課題】解像度、及び密着性に優れ、アルカリ性水溶液によって現像することができ、さらに剥離工程において剥離片が溶解可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明に係る感光性樹脂組成物は、(a)α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が5,000〜500,000の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)トリアリールイミダゾリル二量体を含む光重合開始剤:0.01〜30質量%を含有する感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物の光硬化部が剥離液に可溶であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】画像位置バラツキのないFMスクリーニング再現性に優れ、微小画像部の耐刷性や耐薬品性に優れた感光層を作製するための感光性組成物およびその感光層を設けたサーマルネガ版用平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】式(I)で表わされる単量体単位を有するアルカリ可溶性樹脂、1−アミノ−2−フェノキシ−4−ヒドロキシアントラキノン(フェノキシ基に置換基を有してもよい)である特定の赤色染料、赤外線吸収剤、ラジカル重合性開始剤とエチレン性二重結合を有する重合性化合物とを含有する感光性組成物。
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【課題】レジスト材料の溶解性に優れた液浸露光用レジスト組成物、該液浸露光用レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法および当該液浸露光用レジスト組成物に用いる添加剤として有用な含フッ素化合物を提供すること。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)および含フッ素樹脂成分(F)を有機溶剤(S)に溶解してなり、含フッ素樹脂成分(F)は、フッ素原子を含む構成単位(f1)と、親水性基含有脂肪族炭化水素基を含む構成単位(f2)と、第3級アルキル基含有基又はアルコキシアルキル基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(f3)とを有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】マトリックスとしてのポリマーネットワークおよびそれに溶解した少なくとも1つの光重合可能なモノマーに基づくフォトポリマー配合物、該フォトポリマーからホログラフィック媒体を製造するための方法、ならびにその使用を提供する。
【解決手段】マトリックスとして3次元架橋した有機ポリマー(A)またはその前駆体、該マトリックス中の溶液または分散液として存在し、化学線の作用下での重合によってエチレン性不飽和化合物と反応する基を含む化合物(B)、および(C)少なくとも1つの光開始剤を含んでなるフォトポリマー配合物であって、該3次元架橋した有機ポリマーのネットワーク密度が、2つのポリマー鎖を架橋するセグメントの平均分子量MCとして表して、少なくとも2685g/モルであるフォトポリマー配合物によって上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】ノンハロゲン化による環境面が考慮され、優れた難燃性を備え、絶縁信頼性が良好で、難燃成分の析出が抑制されたカバー絶縁層を形成することのできるフレキシブルプリント配線回路基板用の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)(メタ)アクリル酸アリルの(メタ)アクリロイル基に9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキサイドが付加した化合物の残基で表される構造単位とカルボキシル基を含有する線状重合体、(B)エチレン性不飽和基含有重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化性化合物を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】モールド剥離性に優れ良好なパターンが形成でき、且つエッチング後に得られたパターンのラインエッジラフネスが小さいナノインプリント用組成物、これを用いたパターン形成方法および該パターン形成方法によって得られるパターンを提供する。
【解決手段】重合性単量体と、光重合開始剤と、トリフロロメチル基を有する繰り返し単位を含む(メタ)アクリレート系ポリマーとを含有し、前記(メタ)アクリレート系ポリマーを前記重合性単量体に対し0.01〜20質量%含むことを特徴とするナノインプリント用組成物。 (もっと読む)


【課題】十分な感度を有すると共に、高い透過率の塗膜又はパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有し、光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを含んでなる光重合開始剤である、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】基材の上に設けられた微細パターンの欠陥を低減できる、新規な光硬化性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】光重合性単量体と光重合開始剤を含有する光インプリント用硬化性組成物であって、該組成物を構成する成分を全て混合した後、500rpmで1時間攪拌した組成物(A)を基板に滴下して10秒後の25℃における静的接触角が20度以下であり、かつ、さらに該組成物(A)の450nmにおける光線透過率が60%以上であることを特徴とする光インプリント用硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】 硬度が高く、且つ、よりカールしにくい硬化塗膜が得られるコーティング用活性エネルギー線硬化型樹脂組成物及び、硬度が高く、且つ、よりカールしにくい硬化塗膜を有するフィルムを提供すること。
【解決手段】 側鎖に(メタ)アクリロイル基を有し、且つ、(メタ)アクリロイル当量が200〜600であるアクリル系重合体(A)とコロイダルシリカ(B)とを含有することを特徴とするコーティング用活性エネルギー線硬化型樹脂組成物、前記コーティング用活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を硬化させて得られる硬化層を有することを特徴とするフィルム基材。 (もっと読む)


【課題】 アルカリ現像性及び感度が良好であり、かつ、その色純度に優れたカラーフィルター形成に使用される感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
カルボキシル基を有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、着色粒子(C)及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有する感光性樹脂組成物であって、前記カルボキシル基の少なくとも一部が、超強塩基性化合物(E)で中和されていることを特徴とするアルカリ現像可能なカラーフィルター形成用感光性樹脂組成物(Q)である。 (もっと読む)


【課題】低粘度で、耐熱性および力学的強度に優れた感光性組成物を提供する。
【解決手段】下記条件を満たす官能基Xを1個以上有する重合性モノマー(A)を0.01〜98質量%、下記条件を満たす官能基Yを1個以上有し、かつ、官能基Xを有さない重合性モノマー(B)を0.01〜98質量%、光重合開始剤を0.01〜15質量%含有することを特徴とする感光性組成物。官能基X:特定露光条件で露光した時の反応率が50%以上であり、露光後、さらに、200℃で30分間熱処理した後の反応率が80%以上である官能基である。官能基Y:特定露光条件で露光した時の反応率が50%未満であり、露光後、さらに、200℃で30分間熱処理した時の反応率が80%以上である官能基である。 (もっと読む)


【課題】ArFエキシマレーザー光等に対して高感度で、発生する酸(光発生酸)の酸性度が十分高く、かつレジスト被膜中での拡散長が適度に短く、またマスクパターンの疎密度への依存性が小さい新規な光酸発生剤、当該光酸発生剤を構成する新規なスルホン酸塩、当該光酸発生剤から発生するスルホン酸、当該光酸発生剤を合成する原料ないし中間体として有用なスルホン酸誘導体、並びに当該スルホン酸塩を製造するための方法を提供する。
【解決手段】下記一般式(2)で表される重合性含フッ素スルホン酸オニウム塩およびこれを重合させた重合体。
【化】


(式中、ZおよびRは前記一般式(1)におけるZおよびRと同義である。Q+は、スルホニウムカチオンまたはヨードニウムカチオンを表す。) (もっと読む)


【課題】レーザーによる画像記録が可能であり、充分な耐刷性を維持しつつ良好な汚れ性、現像性が得られる平版印刷版原版および製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、ラジカル重合開始剤、増感色素、重合性化合物、1−メトキシ−2−プロパノール1gに対する25℃での溶解性が0.3g以上であるバインダーポリマー、および1−メトキシ−2−プロパノール1gに対する25℃での溶解性が0.1g以下であるバインダーポリマーを含む画像記録層を有することを特徴とする平版印刷版原版;上記平版印刷版原版を用いた平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成でき、液浸露光用として好適なレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)および含フッ素化合物成分(F)を有機溶剤(S)に溶解してなる液浸露光用レジスト組成物であって、前記有機溶剤(S)は、沸点150℃以上のアルコール系有機溶剤(S1)と、沸点150℃未満のアルコール系有機溶剤(S2)とを含有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】低粘度で高い転写パターン精度を有しつつ、表面硬度、耐傷性に優れたナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】 下記一般式(1)で表され、分子量が500以下である(メタ)アクリレート化合物を含む、光ナノインプリント用硬化性組成物。


(一般式(1)中のRは、ぞれそれ、水素原子またはメチル基を表す。nは0以上の整数を表し、mは1以上の整数を表す。XおよびYは、それぞれ、有機基である。但し、nが0のとき、Xは、水素原子であってもよい。) (もっと読む)


【課題】短波長をカットした光源を使用した場合であっても高感度であり、例えば1,000J/m以下の露光量でも十分なスペーサー形状が得られ、弾性回復性、ラビング耐性、透明基板との密着性、解像性等にも優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 上記感放射線性樹脂組成物は、〔A〕(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種と、(a2)前記(a1)以外の不飽和化合物の共重合体、〔B〕重合性不飽和化合物、ならびに〔C〕下記化合物No.1に代表される特定のオキシムエステルを含有する。
【化1】
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