【課題】単官能モノマーのみで硬化させると、膜の硬化性が悪く、一方、官能数を増やすと硬化するが、硬化収縮性が大きくなりやすかったので良好なパターン転写を行うパターン転写用紫外線硬化性樹脂材料を提供する。
【解決手段】イソボルニルアクリレートが８０ないし９５重量％、３官能アクリレートが１ないし２０重量％、及び重合開始剤が０．５ないし６重量％含まれるパターン転写用紫外線硬化性樹脂材料６を使用する。 （もっと読む）

【課題】官能性置換基を有するポリノルボルネンをバルク重合で合成できる感光性組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性組成物は、光酸発生剤と、該光酸発生剤が放出するプロトンの作用により分子構造の少なくとも一部が離脱し得る離脱性基を有するノルボルネン系モノマーと、該ノルボルネン系モノマーの付加重合のための触媒とを含んでなり、該離脱性基をexo位に有するexo体ノルボルネン系モノマーが、該離脱性基をendo位に有するendo体ノルボルネン系モノマーよりも過剰に存在する。 （もっと読む）

【課題】透明性、耐溶剤性、耐熱性、絶縁性、及びＩＴＯスパッタ適性の全てに優れた硬化膜と、この硬化膜を形成しうる保存安定性の良好なポジ型感光性樹脂組成物と、を提供すること。また、透明性、耐溶剤性、耐熱性、絶縁性、及びＩＴＯスパッタ適性の全てに優れた層間絶縁膜と、この層間絶縁膜を具備する、信頼性の高い有機ＥＬ表示装置、及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）とは異なる構造を有し、且つ、エポキシ基及びオキセタン基の少なくとも一方を含有する線状共重合体（Ｂ）、及び感光剤（Ｃ）を含有するポジ型感光性樹脂組成物、該組成物から形成された硬化膜、該硬化膜を用いた層間絶縁膜、該層間絶縁膜を具備する有機ＥＬ表示装置並びに液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分（Ａ）、および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分（Ａ）が、一般式（ａ０−１）で表される構成単位（ａ０−１）を有する高分子化合物（Ａ１）を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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【課題】カラーフィルタに用いる青色感光性着色組成物において、パターニング性、レジスト経時安定性に優れ、且つ透過度が高く、したがって明度の高い感光性着色組成物、およびこれを用いたカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】少なくとも、透明樹脂(a)、光重合性モノマー(b)、光重合開始剤(c)、青色着色剤(d)、溶剤(e)を含有する感光性着色組成物であって、光重合性モノマー(b)の官能基数が２〜４であり、かつ、該感光性着色組成物から形成された青色フィルタセグメントの６００ｎｍでの透過率を１０％としたときの４５０ｎｍでの透過率が９６％以上であることを特徴とする青色感光性着色組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】硬化前は低粘度であって、硬化後の力学的強度に優れた、感光性組成物を提供する。
【解決手段】下記化合物の少なくとも１種と、光重合開始剤を含有する感光性組成物。
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【課題】より微細で線幅変動が制御されたレジストパターンを、ダメージの発生を軽減しつつ、簡便で効率的に形成可能なレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位（Ｒ^１は水素原子等、Ｒ^２はメチレン基等を示す）を含む重合体、及び溶媒を含有するレジストパターン不溶化樹脂組成物を用いて不溶化レジストパターンを形成する工程（１）と、不溶化レジストパターンが形成された基板上にレジスト層を形成して選択的に露光する工程（２）と、第二のレジストパターンを形成する工程（３）と、を有するレジストパターン形成方法である。
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【課題】 レジストパターンの裾引き形状改善に効果があり、パターン倒れ欠陥が少ないパターンを形成することが可能である感活性光線又は感放射線樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 （Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、および、（Ｃ）フッ素原子及びケイ素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基とを有する樹脂を含有し、樹脂成分（Ａ）が下記一般式（１）で示されるエステル化合物から得られる繰り返し単位を含有することを特徴とする感活性光線または感放射線樹脂組成物。（一般式（１）中の符号は明細書に記載の意味を有する。）
【化１】
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【課題】コーナー・プロキシミティ（Corner proximity）が良好で、現像欠陥が少ないパターンを形成することが可能で、液浸液への酸の溶出が少なく、液浸液に対する追随性が良好である感活性光線又は感放射線樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基を有する繰り返し単位を含有し、かつ、フッ素原子及びケイ素原子の少なくともいずれかを含有する樹脂、および、（Ｄ）下記一般式（１）で表される含窒素ヘテロ環を有する含窒素有機化合物を含有することを特徴とする感活性光線または感放射線樹脂組成物。（一般式（１）の各符号は明細書に記載の意味を有する。）
【化１】
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【課題】化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、かつ解像度が優れるとともに、ドライエッチング耐性、感度、パターン形状等にも優れるのみならず、微細加工時の現像欠陥発生を抑制し、半導体素子の歩留りを著しく向上させることができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸解離性基含有樹脂、
（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、および
（C）分子構造中にシクロデキストリン骨格とフッ素原子とを有し、かつ、¹H NMRから算出した平均分子量が６０００以下である化合物、
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高精細で、密着性も良く、更に現像残渣のない、感光性樹脂組成物、それを用いたフォトスペーサーを有するカラーフィルタの製造方法及びカラー表示装置を提供する
【解決手段】 （Ａ）エチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）有機溶剤、及び（Ｅ）エチレン性不飽和基を有するリン酸エステル、とを含有する感光性樹脂組成物。前記（Ａ）成分であるエチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂が、重量平均分子量が３，０００〜２００，０００であり、ジシクロ環または、トリシクロ環を有するモノマー３〜７０質量％、水酸基を有するモノマー５〜５０質量％、及びＮ−置換マレイミド基を有するモノマー５〜５０質量％を含有するモノマー成分を重合して得られる重合体（ａ）に、一般式（１）で表されるエチレン性不飽和基含有イソシアネートを１〜３０質量％付加させた重合体である前記の感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】露光部における指紋部の画像抜けや、空気中の水分、塩（Ｎａｃｌ）などによる画像故障が改善された平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）光又は熱により分解して酸を発生する化合物、（Ｂ）酸により架橋する架橋剤、（Ｃ）バインダーポリマー、（Ｄ）赤外線吸収剤、及び（Ｅ）（ａ）側鎖にフッ素原子の数が９以上のフルオロアルキル基等含有置換基を有する（メタ）アクリレート（１）と、（ｂ）下記一般式（２）で示される側鎖に、カルボキシル基含有の炭素数３〜３０の脂肪族環状構造を有する（メタ）アクリレート（２）と、を共重合成分として有する高分子化合物、を含有する画像記録層を有するネガ型平版印刷版原版。
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【課題】接着性及び接着耐久性ともに優れるリン酸エステル化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される化合物（Ａ）である。式中の各記号は、明細書中に定義の通りである。
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【課題】水系現像感光性樹脂印刷版のデジタル版において、感光性樹脂層との密着性、赤外線でのアブレーション効率、製版現像時の赤外線感受性層の除去効率などを最適化することを課題とする。
【解決手段】少なくとも支持体（Ａ）、感光性樹脂層（Ｂ）、赤外線により加工可能な赤外線感受性層（Ｃ）がこの順に積層されてなる水系現像感光性樹脂印刷原版であって、赤外線感受性層のバインダー成分を２種類以上用いることにより、感光性樹脂層との密着性、赤外線でのアブレーション効率、製版現像時の赤外線感受性層の除去効率などを最適化することができる。 （もっと読む）

【課題】高感度化だけではなく、基板密着性、耐熱性、保存性を改良することができる感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、連鎖移動剤、及び熱架橋剤を含有してなり、前記連鎖移動剤が、下記一般式（Ａ)で表される化合物である感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板の提供。


Ｒ_１及びＲ_２は、いずれも水素原子及び有機官能基のいずれかを表し、Ｒ_１及びＲ_２のうち少なくとも１つは、有機官能基を表し、Ｒ_１とＲ_２とは環を形成してもよい。Ｙは、酸素原子、及び硫黄原子のいずれかを表す。ｎは、２〜８を表し、Ｚは、ｎ官能の有機連結鎖を表す。 （もっと読む）

【課題】記録層表面に付着した水分、塩分の影響、特に、手指接触領域における画像故障の発生が抑制されたネガ型平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】下記（Ａ）〜（Ｅ）の各成分を含有する画像記録層を備えるネガ型平版印刷版原版。（Ａ）光又は熱により分解して酸を発生する化合物、（Ｂ）架橋剤、（Ｃ）バインダーポリマー、（Ｄ）赤外線吸収剤及び（Ｅ）下記一般式（１）で表されるモノマーと、エチレンオキシド鎖及びプロピレンオキシド鎖を有するモノマーとを共重合成分として含む共重合体。一般式（１）中、Ｒｆは、フッ素原子の数が９以上のフルオロアルキル基またはパーフルオロアルキル基を含む置換基であり、ｘは１または２を表し、Ｒ¹は水素またはメチル基を表す。
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【課題】
優れた解像度及び形状を有するパターンを形成することができる化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物を得るための化合物を提供すること。
【解決手段】
下記式（Ｉ）で表される化合物。
【化１】


［式（Ｉ）中、Ｒ^１は、水素原子、フッ素原子、又はフッ素原子で置換されていてもよい直鎖状若しくは分岐状の炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｒ^２及びＲ^３は、互いに独立に、水素原子、又は直鎖状若しくは分岐状の炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｒ^４は、炭素数１〜８の２価の炭化水素基を表す。Ｒ^５は、単結合、炭素数１〜４の２価の炭化水素基又はカルボニル基を表す。Ｒ^６は、置換基を有していてもよい炭素数６〜２０の芳香族炭化水素基を表す。］ （もっと読む）

【課題】水残り欠陥、バブル欠陥、現像残渣欠陥の少ないパターンを形成することが可能であり、さらにＬＷＲの優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】主鎖に多環構造を有し、かつ該多環構造が酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解性が増大する部位を有する繰り返し単位（a）を含む樹脂（ＨＲ）を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】長期耐光性、透明性、屈折率などの光学特性、誘電率などの電気特性、更には長期耐熱性などの機械物性に優れたアダマンタン誘導体、その製造方法、当該誘導体を含む組成物及び当該誘導体を使用する硬化物を提供すること。
【解決手段】特定のアダマンタン骨格、重合性基、及びこれらを結合する特定構造を有する結合基を含有するアダマンタン誘導体である。 （もっと読む）

【課題】の目的は、１種類の感放射線性樹脂組成物で層間絶縁膜、保護膜及びスペーサーを形成することが可能であり、さらに、層間絶縁膜、保護膜においては高感度、高平坦性、高密着性、高透過率、スペーサーにおいては高解像度、高感度を達成できる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】
（Ａ）共重合体、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）感放射線性重合開始剤、（Ｄ）ヒンダードフェノール構造、ヒンダードアミン構造、アルキルホスフェート構造、チオエーテル構造を有する化合物の群から選ばれる少なくとも１つを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）