【課題】 過硫酸の供給装置において、過硫酸濃度を十分に高くして繰り返し再生利用することを可能にするとともに、安全性を高めた動作を可能にする。
【解決手段】 過硫酸溶液２を洗浄液として被洗浄材３０を洗浄する洗浄槽１と、電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を製造する電解反応槽１０ａ、１０ｂと、洗浄槽１と電解反応槽１０ａ、１０ｂとの間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、４ａ、５を備える。さらに、前記電解反応槽等における異常動作時に異常値を示す動作物性量を測定する測定手段２１、２２、２３を設ける。また、前記異常動作時に、前記電解反応槽等に対する保安動作を行う安全装置２５ａ、２５ｂ、２６を設ける。過硫酸溶液を電解反応装置に再生して供給する。的確な安全管理、異常時の保安動作を確実にする。 （もっと読む）

【課題】 過硫酸の供給装置において、過硫酸濃度を十分に高くして繰り返し再生利用することを可能にするとともに、溶液寿命を判定可能にする。
【解決手段】 過硫酸溶液２を洗浄液として被洗浄材３０を洗浄する洗浄槽１と、該洗浄槽から排出した洗浄液を電解して該洗浄液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を製造する電解反応槽１０ａ、１０ｂと、洗浄槽１と電解反応槽１０ａ、１０ｂとの間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、４ａ、５、５ａを備える。さらに、前記洗浄に伴って前記過硫酸溶液中に蓄積される不純物量を測定する不純物量測定手段１６、１７ａ〜１７ｃ、１８を設ける。硫酸溶液を繰り返し利用して過硫酸溶液を電解反応装置によってオンサイトで再生して洗浄に使用でき、また、過硫酸溶液の寿命を的確に判定して洗浄作用の低下を回避できる。 （もっと読む）

【課題】 過硫酸を用いた洗浄システムにおいて、過硫酸濃度を十分に高くして洗浄効果を高めるとともに、強固に固着した汚染物なども確実に除去できる洗浄システムを得る。
【解決手段】 過硫酸溶液２を洗浄液として被洗浄材３０を洗浄する洗浄槽１と、電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応槽１０ａ、１０ｂと、洗浄槽１と電解反応槽１０ａ、１０ｂとの間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、５、６と、前記洗浄槽内の溶液２と、該溶液内に配置した被洗浄材３０とを相対的に移動させる移動手段４０を備える。硫酸溶液を繰り返し利用して過硫酸溶液を電解反応装置によってオンサイトで再生して洗浄に使用できる。また、溶液と被洗浄材とが相対的に移動することで、洗浄作用が高まる。 （もっと読む）

【課題】 低電流密度による水の電気分解によって、高効率にてオゾン水を生成することを可能とする電解用電極を提供する。
【解決手段】 オゾン発生用電極１は、基体２と、該基体２の表面に形成され、誘電体を含む表面層４とから構成され、該表面層４には、当該表面層４の表面から内部に連続して延在する孔１０が形成されており、この孔１０から基体２の表面までの最も近接する箇所における距離は、０より大きく２０００ｎｍ以下とされている。 （もっと読む）

【課題】 過硫酸を用いた洗浄システムにおいて、過硫酸濃度を十分に高くして洗浄効果を高めるとともに、過酸化水素の追加添加を必要とすることなく洗浄の継続が可能な洗浄システムを得る。
【解決手段】 過硫酸溶液２を洗浄液として被洗浄材３０を洗浄する洗浄槽１と、電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応槽１０ａ、１０ｂと、洗浄槽１と電解反応槽１０ａ、１０ｂとの間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、５、６を備える。硫酸溶液を繰り返し利用して過硫酸溶液を電解反応装置によってオンサイトで再生して洗浄に使用できる。また硫酸溶液の抜き取り位置及び戻し位置が適切になり、過硫酸イオンの生成効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 導電性ダイヤモンドを電極材料として使用することにより、効率的にかつ安定して中高温のオゾン水を生成することのできるオゾン水生成方法及びオゾン水生成装置を提供すること。
【解決手段】 固体高分子膜７を挟んで陽極３と陰極５とを配設してなる電解セル１には、陽極３が設けられた陽極室１３へ、温度制御ユニット３０から中高温の純水または水道水が供給される。陽極３と陰極５との間に直流電流を通電すると、陽極室１３の取出口１３ｂから中高温のオゾン水が排出される。このようなオゾン水生成装置において、陽極３として多孔質または網状の構造を有する導電性ダイヤモンドを使用すると、高温領域においてもオゾンの生成能力の低下が小さく、効率的にかつ安定して中高温のオゾン水を生成することができる。 （もっと読む）

本発明は、鮮度を維持する飲食物貯蔵装置及びその貯蔵方法に関するもので、水及び飲食物を収容する容器と、前記容器内の水を殺菌するように前記容器に連通する位置に形成された陰電極部、及び前記陰電極部と所定距離離隔して配列された陽電極部を備えた電極部とを含み、前記陰電極部及び前記陽電極部に電源を供給してその間で電気分解を誘導し、これにより生成された酸化体が前記飲食物を腐敗させる細菌などを除去することにより、冷蔵又は冷凍させることなく長期間鮮度を維持できる飲食物貯蔵装置及びその貯蔵方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 低電流密度による水の電気分解によって、高効率にてオゾン水を生成することを可能とする電解用電極及び当該電極を用いた過硫酸溶解水生成方法を提供する。
【解決手段】 本発明のオゾン生成用電極１は、基体２と、該基体２の表面に形成され、誘電体を含む表面層４とから構成され、該表面層４の厚さは、０より大きく２０００ｎｍ以下に形成される。特に、基体２は、導電性材料にて構成すると共に、表面層４を構成する誘電体は、酸化タンタル、又は、酸化アルミニウムにより構成し、低電流密度による電解質溶液の電解処理によって高効率にてオゾンを生成する。 （もっと読む）

【課題】
固体高分子型セルの構成部材である固体高分子電解質膜の寸法を安定化する方法を提供すること。それによって、電解質膜やＭＥＡに設ける開口部のピッチのずれを防ぎ、使用中に電解質膜にシワが生じることを防止して、セル・スタックの組み立て、保管、輸送を容易にするとともに、流路の狭隘化および閉塞を生じさせないことであり、ひいては、安定で信頼性の高い固体高分子型セルの製造を可能とすること。
【解決手段】
固体高分子電解質膜を、純水、希酸溶液またはアルカリ溶液に浸漬した状態で、１００℃以下であるがその固体高分子電解質膜の使用温度を超える温度に加熱処理することによって固体高分子電解質膜を膨張するだけ膨張させる。希酸またはアルカリの溶液で処理した場合には、処理に続いて純水で洗浄する。どちらの場合も、使用の時点まで、処理終了時の温度以下の温度において湿潤状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】水溶液系電気化学セルの各種電極に好適な多孔質チタンおよびその製造する方法を提供する。
【解決手段】表面に開口し内部の空孔に連続している連続空孔と骨格からなる多孔質チタンの骨格表面に炭化チタン層を形成してなる多孔質発泡チタン。 （もっと読む）

【課題】 オゾン等の電解生成物を従来より高濃度で溶解する電解水の噴霧装置、特に得られた電解水を霧状に噴霧する小型スプレー装置を提供する。
【解決手段】 容器３に収容した原料水２を、少なくともその一部を導電性ダイヤモンドで形成した陽極７を有する電解ユニット６で電解し、生成する電解水を噴霧ノズル12から殺菌対象に噴霧する。陽極材料として導電性ダイヤモンドを使用すると、オゾンや過酸化物などの電解種を高濃度で溶解した電解水を高効率で生成でき、この電解水を対象物に噴霧することにより高濃度電解種での殺菌が可能になる。 （もっと読む）

【課題】有害塩素化合物を発生することなく、被処理水中のノニオン性界面活性剤のような難生物分解性有機物を含む有機物を低濃度にまで効率的に除去する。
【解決手段】難生物分解性有機物含有水を耐酸性及び耐酸化性の無機吸着剤と接触させて、難生物分解性有機物を無機吸着剤に吸着させ、難生物分解性有機物を吸着した無機吸着剤を過硫酸及び／又は過硫酸塩を含有する溶液と接触させて、無機吸着剤に吸着している難生物分解性有機物を剥離・分解して無機吸着剤を再生させる。難生物分解性有機物を耐酸性及び耐酸化性の無機吸着剤に吸着させることにより無機吸着剤上に濃縮し、無機吸着剤に吸着された難生物分解性有機物を過硫酸及び／又は過硫酸塩に接触させることにより、容易に難生物分解性有機物を酸化分解することができる。難生物分解性有機物の酸化分解により過硫酸イオンが還元されて生成した硫酸イオンは、電解反応により過硫酸イオンに酸化して再生し、これを無機吸着剤に吸着された難生物分解性有機物の酸化分解に再利用できる。 （もっと読む）

【課題】 ポリアニリンに電子を供給することによって活性酸素を発生させる方法および装置において、通電とともに高まるベンゼノイド構造比を改善することによって活性酸素発生能を持続させる。
【解決手段】 ベンゼノイド構造をキノイド構造に転化させる転化手段として、例えば、両極部１・２に対する通電方向を逆にすることのできる通電切換部４を設け、ベンゼノイド構造のキノイド構造に対する比が通電前の当初の比よりも高くなった際には両極部１・２間への通電方向を逆にして通電を行う。
これによれば、ポリアニリンを担持させた陰極部１を、短時間だけ陽極として通電することにより、電子の供給によって増加していたポリアニリンのベンゼノイド構造をキノイド構造に戻すことができ、高まっていたベンゼノイド構造比を改善することができ、活性酸素発生能を復活させることができる。 （もっと読む）

【課題】
ポリアニリンのような活性酸素発生能を有するレドックスポリマーを用いて、活性酸素発生効率の高い装置を提供する。
【解決手段】
活性酸素発生能を有するレドックスポリマーを溶剤に溶かし材料に染み込ませた後、設置場所１に材料を設置後、回転させ余分なレドックスポリマーを除去する。その後乾燥させることにより、材料表面に極薄くレドックスポリマーを担持させ、溶液中の溶存空気とレドックスポリマーとの接触面積を大きくし、活性酸素の発生効率を上げる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハなどの被洗浄材を効果的に洗浄する。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置１０と、電解反応により過硫酸溶液を再生する電解反応装置２０と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で溶液を循環させる循環ライン１、３とを有し、前記洗浄装置１０には仕切部１４、１５によって洗浄液の流れ方向に複数に分割されたる洗浄槽１１、１２、１３を備え、前記仕切部１４、１５は、洗浄液の通液が可能になっている。過硫酸溶液を電解反応装置によって再生して洗浄に使用することができ、外部からの過酸化水素やオゾンなどの薬液添加を必要とすることなく効率的な洗浄を継続できる。各分割洗浄槽で洗浄液が滞留しながら被洗浄材を効果的に洗浄したり、溶解物を効果的に分解できる。 （もっと読む）

【課題】 硫酸使用量を大幅に低減して良好な洗浄作用を継続的に得るとともに、被洗浄材の洗浄度合いを的確に把握することを可能にする。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置１と、電解反応により、過硫酸溶液を再生する電解反応装置１０ａ、１０ｂ、１４、１５と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、６と、溶液の導電性を判定する導電性測定器を備え、溶液の導電性の変化に基づいて被洗浄物の洗浄度合いを判定する。洗浄に際し発生する溶液への溶解物濃度と溶液の導電性との関連性を利用して、洗浄度合いを正確に把握する。洗浄を効率的に行うことが可能になり、また、洗浄を確実なものとして高い清浄度を維持することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハなどの被洗浄材を効果的に洗浄する。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置１と、電解反応により溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応装置２０と、洗浄装置１と電解反応装置２０との間で溶液を循環させる循環ライン４、５、６、１０、１１と、溶液中のＳＳを除去するＳＳ捕捉フィルタ１３を備えるＳＳ除去装置１２とを有する。ＳＳ除去装置は、複数の洗浄槽の内、最初の洗浄順位の洗浄槽１ａの循環ライン１０に介設する。最初の洗浄順位の洗浄槽１ａは独立して洗浄液を循環可能とし、後側洗浄順位の洗浄槽１ｂ、１ｂは直列にして洗浄液を循環可能にする。過硫酸溶液を電解反応装置によって再生して洗浄に使用できる。また、システムで生成されるＳＳは、ＳＳ除去装置で効果的に除去される。 （もっと読む）

【課題】 硫酸使用量を大幅に低減して良好な洗浄作用を継続的に得るとともに、洗浄中の過硫酸濃度を適切に管理して良好かつ効率のよい洗浄処理を行う。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置１と、電解反応により、過硫酸溶液を再生する電解反応装置１０ａ、１０ｂ、１４、１５と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ライン４、６と、溶液の過硫酸濃度を測定する過硫酸濃度測定手段１６、電解用電源１４を制御する電源制御部１７を備える。溶液の過硫酸濃度の管理によって高い洗浄効果を維持するとともに、電解用の電力を効率的に使用することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハなどの被洗浄材を効果的に洗浄する。
【解決手段】 過硫酸溶液によって被洗浄材を洗浄する洗浄装置１と、電解反応により過硫酸溶液を再生する電解反応装置１０、１１、１２、１３、１４と、洗浄装置１から溶液が送られる洗浄装置送りライン５と、洗浄装置１に溶液を戻す洗浄装置戻しライン７と、電解反応装置から溶液が送られる電解反応装置送りライン１５と、電解反応装置に溶液を戻す電解反応装置戻しライン１７と、洗浄装置送りライン５と電解反応装置送りライン１５が上流端で合流し、下流端で洗浄装置戻しライン７と電解反応装置戻しライン１７に分流する混合ライン２０を備える。硫酸溶液を繰り返し利用し、レジストの剥離効果を高める過硫酸溶液を電解反応装置で再生して、レジスト溶解物を分解し、又洗浄装置に供給する。薬液添加が必要なく、効率的な洗浄を継続できる。 （もっと読む）

【課題】 ヨウ素及び／またはヨウ素酸塩を含有する水溶液を電解工程により電解酸化して過ヨウ素酸塩類を製造する方法において、電解工程中、二酸化鉛陽極表面に析出した不溶性のヨウ素酸塩ないしは過ヨウ素酸塩を簡便な方法で除去し、過ヨウ素酸の電流効率を向上させ、生産性に優れた過ヨウ素酸塩類を製造する方法を提供。
【解決手段】 電解工程が、ヨウ素及び／またはヨウ素酸塩を含有する水溶液中、二酸化鉛電極を陽分極させて過ヨウ素酸に電解酸化させる酸化電解と、前記電解液中、前記電極表面を活性化させる電極活性化電解とを包含し、電極活性化電解は、例えば、酸化電解における平均電圧の少なくとも１．０Ｖ上昇する電圧で電解させるか、または、ヨウ素及び／またはヨウ素酸を３０ｇ／Ｌ未満含有する水溶液中で電解させる。 （もっと読む）