【課題】結晶粒径を小さくしてストレスマイグレーションを抑制した銅めっき膜を、より簡便に基板上に成膜できるようにする。
【解決手段】シード層で覆われた配線用凹部を表面に形成した基板を用意し、シード層を、硫酸銅及び硫酸由来の硫黄を２．０Ｍ以上含む硫酸銅めっき液に接触させ、シード層をカソードとして、該カソードと硫酸銅めっき液中に浸漬させたアノードとの間に電圧を印加して、シード層の表面に銅めっき膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｎ−Ｂｉ合金メッキ膜を形成する電解メッキ工程において、製造コストを抑えて、被メッキ処理物の表面に所望する組成のＳｎ−Ｂｉ合金メッキ膜を形成することのできる技術を提供する。
【解決手段】金属ケース３０内に投入された金属固体Ｓｎ３２と金属ケース３０とが直接接触するのを防ぐための絶縁シート３３を、金属固体Ｓｎ３２と金属ケース３０との間に設ける。さらに、金属ケース３０内に不活性ブロック３４を配置して、この不活性ブロック３４の上に絶縁シート３３（及びアノードプレート３１）を介して複数の金属固体Ｓｎ３２を配置し、また、金属ケース３０をアノードバック３５内に配置する。 （もっと読む）

【課題】酸化亜鉛およびテンプレート剤を含む光電層を形成することにより製造される色素増感型太陽電池の製造コストを削減するとともに製造に要する時間を短縮する。
【解決手段】メッキシステム１の導電層形成部３では、ロール９０から連続的に引き出される樹脂フィルム９の各部位に無電解メッキ槽３２内にて無電解メッキを施し、続いて、電解メッキ槽３４内にて電解メッキを施すことにより、当該部位上に酸化亜鉛を含む透明導電層が形成される。その後、導電層形成部３から連続的に排出される当該部位に対して光電層形成部にて電解メッキを施すことにより、酸化亜鉛およびテンプレート剤を含む光電層が形成され、処理後の樹脂フィルム９はロール状に巻き取られる。これにより、酸化亜鉛およびテンプレート剤を含む光電層を形成することにより製造される色素増感型太陽電池の製造コストを削減するとともに製造に要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】鋼帯の表面に異物が強固に付着するのを簡便な手段で防止し、効率良く均一な電気めっきを施すことが可能な電気めっき設備および電気めっき方法を提供する。
【解決手段】鋼帯の酸洗を行ない、次いで水洗を施して、さらに搬送用ロールが水洗した鋼帯に接触する部位に鋼帯の入側から洗浄水を吹き付けた後、鋼帯の表面に電気めっきを施す。 （もっと読む）

【課題】処理効率の向上および装置全体としての小形化を実現し得るメッキ処理装置を提供する。
【解決手段】供給された基板を収容するローダー部２と、基板に対してメッキ処理を行うメッキ処理部５ａ〜５ｃと、基板を搬送する搬送ロボット３ａと、搬送ロボット３ａに取り付けられると共に液体をシャワー状に放出可能なノズルを有する液体放出部４とを備えて、搬送ロボット３ａによってローダー部２からメッキ処理部５ａに搬送されている基板の表面に向けて前処理用の液体をノズルから放出することによって基板に対する前処理をメッキ処理に先立って行う。 （もっと読む）

【課題】 低張力でフィルムを搬送させても、特別な外部動力を用いずに、フィルムが液中ロールの外周面上でスリップしてフィルム表面に擦り傷が発生すること防止しながらフィルム表面に連続的にめっきを実施することができるめっき装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つのめっき槽と、少なくとも１つの水洗槽とを有し、該めっき槽内及び該水洗槽内にはそれぞれフィルムの搬送方向を変える液中ローラーを設け、フィルムの表面に連続的にめっき処理するめっき装置であって、少なくともめっき槽の一つに設けられた液中ローラーの表面に、該ローラーの表面とフィルムの間に発生した液膜を該ローラー内に吸引する複数の透孔を設けためっき装置。 （もっと読む）

【課題】低張力でフィルムを搬送させても、特別な外部動力を用いずに、フィルムが液中ローラーの外周面上でスリップしてフィルム表面に擦り傷が発生すること防止しながらフィルム表面に連続的にめっきを実施することができるめっき装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのめっき槽と、少なくとも１つの水洗槽とを有し、該めっき槽内及び該水洗槽内にはそれぞれフィルムの搬送方向を変える液中ローラーを設け、フィルムの表面に連続的にめっき処理するめっき装置であって、少なくともめっき槽の一つに設けられた液中ローラーの側面又は軸に固着され、めっき浴液の循環液の吹き付けにより回転し、該液中ローラーの回転を補助する回転補助駆動手段を設け、該液中ローラーの回転速度とフィルムの搬送速度を同調させるよう構成しためっき装置。 （もっと読む）

【課題】低張力でフィルムを搬送させても、特別な外部動力を用いずに、フィルムが液中ロールの外周面上でスリップしてフィルム表面に擦り傷が発生すること防止しながらフィルム表面に連続的にめっきを実施することができるめっき装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのめっき槽と、少なくとも１つの水洗槽とを有し、該めっき槽内及び該水洗槽内にはそれぞれフィルムの搬送方向を変える液中ロールを設け、フィルムの表面に連続的にめっき処理するめっき装置であって、少なくともめっき槽の一つに設けられた液中ロールの表面に、該ロール内部に供給されためっき浴液循環液を排出して該ロールの表面とフィルムの間に液膜を形成しフィルムを浮上させる、複数の透孔が設けられためっき装置。 （もっと読む）

【課題】低張力でフィルムを搬送させても、特別な外部動力を用いずに、フィルムが液中ローラーの外周面上でスリップして表面に擦り傷が発生すること防止しながらフィルム表面に連続的にめっき処理することができるめっき装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのめっき槽と、少なくとも１つの水洗槽とを有し、該めっき槽及び該水洗槽内にフィルムの搬送方向を変える液中ローラーを設け、フィルムの表面にめっき処理するめっき装置であって、少なくともめっき槽の一つに設けられた液中ローラー１の表面２２に該液中ローラーとフィルムとの間に発生する液膜を該間から外部に排出可能な溝２１ａ、２１ｂを設けたことを特徴とするめっき装置。 （もっと読む）

【課題】長尺帯状体の搬送位置の位置ずれの補正を容易化し、搬送機構の調整作業を容易にする。
【解決手段】長尺帯状体１０の搬送装置であって、それを挟むように配置された第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂが、支持軸３２を支点として回動可能に支持され、前記帯状体１０の前記ローラの進入側において前記帯状体の両側縁に当接して転動するガイドローラ４０ａ、４０ｂと、該ガイドローラ４０ａ、４０ｂと前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂとを連係し、前記帯状体１０が搬送される際に前記ガイドローラ４０ａ、４０ｂの動きに追随して前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂを前記支持軸３２を支点として回動させる揺動部材３０と、前記第１のローラ２０ａと第２のローラ２０が基準位置から偏位した際に、第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂを基準位置に復帰させる復帰手段５０ａ、５０ｂとを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 各基板毎にめっき電流が正常に流れたかどうかを検知して、正常な電流が流れなかったために所定のめっき厚となっていない可能性の高い基板を除外できるようにする電解めっき装置を提供する。
【解決手段】 プッシュバー方式による電解めっき装置によりプリント基板３へのめっきを行うに際し、各基板がめっきされつつある時に、各基板毎にそのラック１に流れているカソード電流値を計測するとともに、各基板毎の使用されているラック識別番号及び各基板毎の使用さえているめっき治具識別番号を読み取り、これら計測結果と読み取り結果をコンピュータ１０に入力し、まためっき完了後に、各ラック１のカソード電流の積算値が予めコンピュータ１０に設定値として入力してある設定範囲になっているかどうかを確認できるようにした。 （もっと読む）

【課題】鋼帯形状不良を安価に検出でき、新設ラインだけなく、既存ラインにも設置可能な鋼帯形状検出装置を提供する。
【解決手段】鋼帯処理装置の上流に配置される鋼帯形状検出装置であって、鋼帯幅方向全幅に延在し、鋼帯Ｓとの接触を検知するタッチセンサー２１ａ〜２３ａ、２１ｂ〜２３ｂが鋼帯進行方向に１個又は複数個設置されている。 （もっと読む）

【課題】垂直状態の帯状体を搬送する際に、垂直状態の帯状体を、その垂れ下がりを防止して確実に搬送できる帯状体の搬送装置を提供する。
【解決手段】幅方向の一側端の近傍に、前記一側端に沿って搬送用の複数の搬送孔１２が穿設された帯状体１０を、搬送孔１２が穿設された一側端を上端とする垂直状態にして、送りローラと引取ローラとの間を搬送する帯状体１０の搬送装置であって、前記送りローラと引取ローラとして、帯状体１０の搬送孔１２と歯合するピンが周設されたスプロケットローラ１４，１４・・が用いられ、前記送りローラと引取ローラとの間に、帯状体１０の搬送孔１２と歯合するピンが周設された複数のスプロケットガイドローラ１４が、帯状体１０の送り方向に回転されたとき、自重で垂れ下がった帯状体１０を引き上げる方向に搬送孔１２と歯合したピン１２が周回するように、傾斜して設置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の水平電気めっき電着方法及び水平無電めっき方法を提供すること。
【解決手段】水平電気めっきの設備の一種で、その主要は一組みのめっき液当て板、一組の第一電極、一組のネット状、面状または針状第二電極、電極再生とめっき液回収システムを含む。基板が水平に定位に送り込まれた場合、前述めっき液緩流当て板と接触陰極をもって基板を挟み持って導電を行い、更にめっき液の注入を通じて上側の陽極と接触し、電気めっきの環境を形成して陰極側の基板の片面電気めっきを行い、または電着液の注入を通じて上側の陰極と接触し、電着の環境を形成して陽極側の基板の片面彩色フィルター顔料、染料または導電性フォトレジスト電着を行う。 （もっと読む）

【課題】導電膜上に付着している有機汚染物を原因として凸部等の欠陥を有するメッキ層が形成されることを防止する積層基材の製造方法及び積層基材の製造装置を提供する。
【解決手段】表面に導電膜が形成されるとともに、帯幅方向を上下方向に向けて水平方向に搬送される帯状の基材を、導電膜を通電させた状態でメッキ槽２に供給し、当該メッキ槽内において導電膜上にメッキ層を形成する積層基材の製造方法であって、順次、メッキ槽に供給される直前の基材の導電膜に、帯幅方向の全長に亘って酸素プラズマを照射する。同積層基材の製造装置として、導電膜の帯幅方向の全長に亘って酸素プラズマを照射する細長状の噴射口が形成されたプラズマ装置６と、このプラズマ装置の後段近傍に配設され、酸素プラズマが照射された基材を導電膜が通電した状態で搬入させて、導電膜上にメッキ層を形成するメッキ槽とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ルテニウム膜の表面の不動態層（酸化ルテニウム）を除去した後、連続して電解めっきを行うことができ、しかもルテニウム膜の表面の不動態層（酸化ルテニウム）を除去する時のターミナルエフェクトを改善できるようにする。
【解決手段】基板上のルテニウム膜をカソードとした電解処理により該ルテニウム膜表面に形成された不動態層を電気化学的に除去する電解処理装置２２と、基板上のルテニウム膜の表面に電解銅めっきを行う電解銅めっき装置２４と、電解前処理部２２と電解銅めっき装置２４とを収容する装置フレーム１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】
３５０ｍｍを超える広幅の長尺プラスティックフィルム基材を安定に搬送しながら、めっき表面の突起と凹み等の欠点の少ない優れた表面品位の金属層付きプラスティックフィルムを製造することができるめっき装置を提供する。
【解決手段】
めっき液を収容するめっき槽と、導電層が設けられたプラスティックフィルム基材をその幅方向を上下に向けて長手方向に搬送しながら前記めっき槽内のめっき液に浸漬するための搬送手段と、前記プラスティックフィルム基材の導電面に電気的に接触する給電手段とを有する前記プラスティックフィルム基材に電解めっきを施すめっき装置において、前記搬送手段がめっき液に対する耐腐食性を有する材料を用いた駆動ロールであり、前記給電手段が固有電気抵抗３０×１０^−６Ω／ｃｍ以下の材料を用いた給電ロールであることを特徴とするめっき装置。
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【課題】
プラスチックフィルムの表面に金属膜を成膜する際に、金属膜上の付着異物を低減した金属化プラスチックフィルム基材の製造方法と、そのための真空成膜装置を提供する。後の加工において、凹凸などの表面欠点が極力少ない長尺製品の製造に適している。
【解決手段】
真空容器内に、プラスチックフィルムの巻出し手段、前処理装置および隔壁で隔てられた成膜室および隔壁で隔てられた巻取り手段を有する真空成膜装置を用いてプラスチックフィルムに金属を成膜加工して金属化プラスチックフィルム基材を製造する方法において、プラスチックフィルムへの金属の成膜加工後、前記プラスチックフィルムの金属成膜加工面の反対面に付着した異物を除去してから、金属化プラスチックフィルム基材を巻取ることを特徴とする金属化プラスチックフィルム基材の製造方法。
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【課題】装置のイニシャルコスト、ランニングコストを低くでき、広い設置スペースを必要とせず、短い処理時間で銅又は銅合金による回路配線を形成でき、且つクロスコンタミネーションの原因となるエッジ・ベベル部に銅膜が残ることのない半導体基板処理装置を提供する。
【解決手段】回転軸線を中心に回転する回転部材と、回転部材の前記回転軸線を中心とした同一円周方向に沿って配置され該回転部材の回転に伴って公転する保持部材とを有し、保持部材は、該保持部材の軸心を中心に回動するように構成された回転保持装置で保持した半導体基板を洗浄する洗浄ユニットを有する。 （もっと読む）

【課題】帯状のフィルムを一定方向に搬送する際に、めっき槽や洗浄槽の液中ローラとフィルムとのスリップを抑制し、フィルム表面に傷が発生することを抑制する装置の提供。
【解決手段】めっき槽や洗浄槽に液中ローラ６２Ａが設けられる。液中ローラ６２Ａは、固定支持された軸体１５２と、軸体１５２が挿通される円筒体１５４と、円筒体１５４の両端部を塞ぐ側面体１５６とを備えている。側面体１５６は、軸受１５８を介して軸体１５２に支持されており、円筒体１５４には感光ウエブが巻き掛けられている。円筒体１５４の両端部には複数の開孔１６０が設けられ、円筒体１５４の感光ウエブと接触する周面には、スパイラル状の溝１６２が形成されている。この液中ローラ６２Ａを備えためっき槽や洗浄槽からなる被膜付きフィルムの製造装置。 （もっと読む）