【課題】 大気中湿潤環境下で長期間保管しても潤滑特性が低下しない固体潤滑スパッタ膜を被覆した転動要素を得る。
【解決手段】 転動要素は、スパッタ法で作製された硫化物からなる固体潤滑膜で被覆されたものであり、転動要素に固体潤滑膜を被覆後、大気中に取り出す前に真空室内を乾燥した気体で置換することにより作製される。固体潤滑膜が二硫化モリブデン又は二硫化タングステンである。乾燥した気体が空気、窒素、アルゴンの少なくとも１種類からなる。乾燥した気体中に含まれる水の量が１体積％以下であること。 （もっと読む）

【課題】高イオン伝導性を有し、かつ、電極材料と反応し難い固体電解質を提供する。
【解決手段】本発明の固体電解質は、リチウム（Li）、リン（P）、イオウ（S）、酸素（O）を含有し、そのＸ線回折像の主なピーク位置はCuのKα線を用いたとき2θで16.7±0.25°、20.4±0.25°、23.8±0.25°、25.9±0.25°、29.4±0.25°、30.4±0.25°、31.7±0.25°、33.5±0.25°、41.5±0.25°、43.7±0.25°、51.2±0.25°であり、半価幅が0.5°以下である。また、本発明の固体電解質は、組成式xLi・yP・zS・wO（x+y+z+w＝1）で表した場合、x、y、z及びwは、0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.01≦w≦0.10を満足する。 （もっと読む）

【課題】 コスト的に安価なシリコン基板を用いながらも、６〜１２μｍ波長領域の全範囲に亘って高く、かつ、リップルのない平坦な透過特性を得ることができる赤外光用反射防止膜を提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板１の一方の面に、Ｇｅ層２、ＺｎＳ層３、Ｇｅ層４、ＺｎＳ層５及びフッ化イットリウム（ＹＦ₃ ）層を前記Ｓｉ基板１側から順に積層し、これら各層それぞれの光学膜厚を、１．７９μｍ、２．５０μｍ、０．９３μｍ、６．００μｍ及び５．３８μｍに設定して６〜１２μｍ付近の赤外波長領域で９０％以上の透過特性となるように構成されている。
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【課題】本願発明の課題は耐酸化性と耐摩耗性及び耐熱性を改善し格段に優れた耐酸化性皮膜及びこれを被覆した被覆部材を提供することである。
【解決手段】基材表面に被覆する皮膜の少なくとも１層は、金属成分としてＡｌとＮｂを含有する窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される１種若しくは２種以上であり、金属成分の総和に対する原子比で、Ａｌ含有量が０．５１〜０．９５、Ｎｂ含有量が０．０５〜０．４９であることを特徴とする耐酸化性皮膜である。 （もっと読む）

【課題】ＰＶＤによって皮膜を形成した摺動材料において、耐摩耗性および耐疲労性を損なうことなく、初期なじみ性および異物埋収性を向上させる。
【解決手段】摺動材料には、融点が３５０℃以上および３５０℃未満の互いに相分離する２種以上の金属を基材３上にＰＶＤにより被着して皮膜５が形成されている。この皮膜５上に固体潤滑剤板状結晶粒子９を積層して被覆層６を形成する。この場合、被覆層６を構成する固体潤滑剤板状結晶粒子９は、（００ｌ）面が皮膜５の表面と平行で、当該（００ｌ）面の配向指数が９０％以上となるように積層する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の少ない膜を形成することができる成膜方法を提供する。また、均質な膜を形成することができる成膜方法を提供する。また、低電圧駆動が可能な発光素子の作製方法を提供する。また、発光効率の高い発光素子の作製方法を提供する。
【解決手段】基板の表面の少なくとも一部を露出させるように基板保持手段に基板を固定し、蒸着材料が充填された蒸発源から蒸着材料を気化させ、気化している蒸着材料に対しレーザビームを照射し、基板の表面に蒸着材料を堆積させることにより、欠陥が少なく、均質な膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】経時変化が少なく、安定した膜質を有する保護層を任意に形成するのに適したスパッタリングターゲット、及び、そのスパッタリングターゲットを用いた信頼性、反射率、記録感度、記録特性（ＳＤＲ、ジッタ、ＰＲＳＮＲ、エラー率等）に優れた高密度光記録媒体の提供。
【解決手段】（１）ＳｒＳを含み、充填密度が７０〜９８％である光情報記録媒体用ＳｒＳ含有スパッタリングターゲット。
（２）更にＭとＯを含む（１）記載のスパッタリングターゲット（但し、ＭはＭｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｙ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｗ、希土類元素から選ばれる少なくとも１つの元素）。
（３）組成式（ＳｒαＳ１−α）γ（ＭβＯ１−β）１−γ（但し、α、βは原子比、γはモル比）で表され、かつ、０．４≦α≦０．６、０．２≦β≦０．５、０．５≦γ≦１である（１）又は（２）記載のスパッタリングターゲット。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング法による硫化モリブデン膜の潤滑特性を向上させる方法及びその方法により製造された硫化モリブデン潤滑膜を提供する。
【解決手段】スパッタリング法により硫化モリブデン膜を所定の基材に付け、その基材と共に同硫化モリブデン膜を所定温度以上、かつ、該基材の焼き戻し温度以下で、所定時間以上、所定の雰囲気で保管処理を行うことを特徴とする。このように処理した硫化モリブデン膜は、すべり摩擦試験で潤滑寿命が著しく向上した。 （もっと読む）

【課題】 、光学部品の両面に反射防止膜を形成しても密着力、耐久性を損ねることなく、良好な特性の反射防止膜を形成する方法を提供するものである。
【解決手段】 本発明に関わる反射防止膜形成方法は、基板に金属フッ化物を蒸着することで反射防止膜を形成する方法において、前記基板の表面を蒸着する基板温度が、前記基板の裏面を蒸着する基板温度より25〜60℃低いものである。また、反射防止膜付き基板は、基板に形成された赤外反射防止膜において、基板を加熱して蒸着した表面反射防止膜と、表面を蒸着した温度よりも25〜60℃低い温度で蒸着した裏面反射防止膜と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、摺動材の摺動面全体に微細周期構造の形成及び表面改質を行うことで優れたトライボロジー特性を有する摺動材及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】摺動材の基材１の摺動面に成膜されたＤＬＣ膜２に、低フルーエンスのパルスレーザ（フェムト秒レーザ等）を照射することで、照射領域をガラス状炭素に改質された改質領域３とするとともに微細周期構造４を形成する。こうして表面加工された領域を被覆するように潤滑層５を形成することで、摩擦係数等のトライボロジー特性が大幅に改善された摺動材を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＬ用およびＥＬ用として高輝度、高効率な３元系硫化物蛍光体を得ることができる蛍光体の製造方法およびそれにより製造された蛍光体を提供する。
【解決手段】一般式（ＭＩ）（ＭII）_２Ｓ_４：Ｒｅ（但し、ＭＩ＝Ｂａ、Ｃａ、ＭｇまたはＳｒ：ＭII＝Ｇａ、ＩｎまたはＡｌ：Ｒｅ＝Ｅｕ^２＋、Ｅｕ^３＋、Ｃｅ^３＋またはＭｎ^２＋）で表される蛍光体の製造方法において、スパッタ法または電子線蒸着法または多源蒸着法を用いて蛍光体の薄膜を製造するにあたり、フラックス材料として硫化亜鉛を含むものを用いる。好適には、蛍光体がＢａＡｌ_２Ｓ_４：Ｅｕ^２＋で表される青色蛍光体の薄膜である。 （もっと読む）

【課題】Ａｌ含有量がリッチな組成範囲において、耐摩耗性に優れ、且つ高温での強度、靭性が高い硬質皮膜を被覆した被覆部材を提供する。
【解決手段】基材表面に硬質皮膜を少なくとも１層以上被覆した被覆部材であって、該硬質皮膜は、（ＡｌｘＭｅ１−ｘ）の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される１種以上もしくはこれらの固溶体からなり、但し、ＭｅはＮｂ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉから選択される１種以上、ｘは原子比で０．６０以上、０．９５未満からなり、該硬質皮膜の結晶粒子内部のＡｌ含有量をＡ、結晶粒子界面領域のＡｌ含有量をＢとしたとき、Ｂ／Ａ値が、Ｂ／Ａ＞１を満足することを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】形状安定性を損なうことなく可撓性を有するシートを保持する。
【解決手段】一側が第２加圧部材１４により支持された可撓性のあるシート部材３４に対し、他側から環状弾性部材１２を圧接して、シート部材３４を環状弾性部材１２とシート部材３４との間に生じる摩擦力によって、歪み等を発生させることなく拘束する。そして環状弾性部材１２を環をたどる方向の中心線を中心に回転させることによりシート部材３４に対し放射状の張力を作用させることによりシート部材３４が例えば熱応力等により変形することを回避する。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れ、且つ高温での強度、靭性が高い硬質皮膜を被覆した被覆部材を提供することである。
【解決手段】基材表面に硬質皮膜を少なくとも１層以上被覆した被覆部材であって、該硬質皮膜は、（ＡｌｘＳｉｙＭｅ１−ｘ−ｙ）の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される１種以上もしくはこれらの固溶体からなり、但し、ＭｅはＮｂ、Ｃｒ、Ｔｉから選択される１種以上、但しｘ、ｙは原子比で、ｘ＞０、ｙ＞０．１、ｘ＋ｙが０．４０以上、０．９５未満からなり、該硬質皮膜の結晶粒子内部のＡｌ含有量をＡ、結晶粒子界面のＡｌ含有量をＢとしたとき、Ｂ／Ａ値が、Ｂ／Ａ＞１を満足することを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜の耐欠損性、潤滑性の特性を犠牲にすることが無く、特に皮膜の低応力化により優れた密着性を有する硬質皮膜を提供することとその被覆方法を提供する。
【解決手段】硬質皮膜は、４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂ、Ｓｉから選択される１種以上の金属元素と、Ｓを含みＣ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素によって構成され、該硬質皮膜は柱状組織構造を有し、該柱状組織構造の結晶粒はＳ成分に組成差を有する多層構造を有し、少なくとも該多層構造における層間の境界領域で結晶格子縞が連続している領域があり、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、Ｘ線回折による（２００）面のピーク強度をＩｂ、（１１１）面のピーク強度をＩａとしたときに、そのピーク強度比Ｉｂ／Ｉａは、Ｉｂ／Ｉａ＞１．０であることを特徴とする硬質皮膜とその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 硫化水素ガスを放出し難い二硫化モリブデン、二硫化タングステン固体潤滑膜の提供、または、これらの膜を適用した固体潤滑軸受の提供。
【解決手段】 物理気相成長法で作製される二硫化モリブデン固体潤滑膜１において、かさ密度が３．５〜４．８g／ｃｍ^３で酸素を１．５〜２０at％含む構成とする。または、物理気相成長法で作製される二硫化タングステン固体潤滑膜１において、かさ密度が５．３〜７．４g／ｃｍ^３で酸素を１．５〜２０at％含む構成とする。さらに、玉やころなどの転動要素にこれらの膜が被覆されている固体潤滑軸受。 （もっと読む）

【課題】 大気中で繰り返し試運転を行っても寿命低下が少ない固体潤滑膜の提供。
【解決手段】本発明の固体潤滑膜2は、二硫化モリブデンのかさ密度を２．５〜３．０ｇ／ｃｍ^３とした低密度膜2aと、二硫化モリブデンのかさ密度が３．５〜４．８ｇ／ｃｍ^３で膜厚が０．０５〜０．１５μｍの高密度膜2bとを交互に少なくとも４層積層し、最表面を高密度膜としたものである。また、二硫化タングステンのかさ密度を３．８〜４．６ｇ／ｃｍ^３とした低密度膜2aと、二硫化タングステンのかさ密度が５．３〜７．４ｇ／ｃｍ^３で膜厚が０．０５〜０．１５μｍの高密度膜2bとを交互に少なくとも４層積層し、最表面を高密度膜2bとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 装飾感に優れた加飾製品を容易に製造することができる部分マルチコートによる加飾製品の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１１上に有機溶剤剥離型又はアルカリ剥離型のレジストインクを印刷することによりレジスト層１２を形成した後、基板１１上に蒸着法によってマルチコート層１３を被覆形成する。次いで、レジスト層１２の位置に有機溶剤又はアルカリ水溶液を作用させマルチコート層１３を浸透させてレジスト層１２を溶解させた後、ブラッシングを行ってレジスト層１２が存在していた位置のマルチコート層１３を剥離し、その部分の基板１１を露出させる。次いで、マルチコート層１３上にマスキング層１５を形成し、剥離されたレジスト層１２の部分にメッキを施して装飾部１４としてのメッキ層を形成し、その後マスキング層１５を剥離する。このようにして、部分マルチコートによる加飾製品が製造される。 （もっと読む）

【目的】一部に真空アークプラズマを用いて、ドロップレットの影響を受けることなく高純度に、かつ円滑に単一膜、混合膜及び積層膜を成膜するプラズマ表面処理方法、プラズマ処理装置及びこれらを用いて処理された目的物を提供する。
【構成】２種類の第１プラズマ１６及び第２プラズマ１７を使用する。各プラズマは、第１プラズマ発生部２、第２プラズマ発生部３において真空雰囲気下に設定されたアーク放電部で真空アーク放電を行って発生させる真空アークプラズマであり、第１と第２プラズマ導入路２２、２３を介して共通輸送ダクト１０に導入される。このとき、第１及び第２プラズマ１６、１７を共通輸送ダクト１０に導入するタイミングを制御して、プラズマ処理部１内のワークＷ表面に対して積層膜形成等の表面処理加工が行われる。各プラズマ導入路のプラズマ導入角度は共通輸送ダクト１０の輸送方向に対して鋭角に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームを用いた薄膜形成装置において、昇華性材の蒸着材料に電子ビームを照射時、電子チャージアップ現象が生じ、安定した蒸着が行えないという問題点を解決し、昇華性材上の電子の中和を可能とする薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】 真空チャンバ内に設けられた電子ビーム発生装置とおよび柱状をなし中央部の上面から下面に達する貫通孔が設けられた蒸着材料を収納したるつぼを備え、電子ビーム発生装置の出射する電子ビームを蒸着材料に照射する。 （もっと読む）