【課題】蒸着プロセスにおける消費電力を小さくし、温度差による蒸着厚さの変化を最小化して、熱効率を向上せしめる蒸着源を提供する。
【解決手段】供給される電力によって加熱され、内部に収容された蒸着材料20に熱を伝達し、内部で生成された蒸着材料20の蒸気を噴射させて基板表面に蒸着膜を形成する有機電界発光膜蒸着用蒸着源200であって、蒸気放出開口301Aが形成された上部プレート301、側壁302、及び底部材303を含み、さらに選択された位置に熱を供給する加熱手段C1,..Cnと、内部に収容された蒸着材料表面の高さの変化を検知する検知手段353と、前記検知手段の信号に応じて前記加熱手段の作動を選択的に制御する制御手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ装置に用いられる基板に蒸着材料を真空蒸着する坩堝において、蒸着材料を最大限使い切ることができる発明を提供する。
【解決手段】その長手方向が基板１０の一辺と略同じ長さを有する直方体の箱形であって、その内部に蒸着材料を貯留するための貯留部２４と、貯留部２４に貯留された蒸着材料を加熱する加熱手段と、貯留部２４の上面に配置され、加熱手段により加熱されて昇華した蒸着材料が出射する吹出口２８を備えた蓋体２６とを備え、貯留部２４が複数の区画壁３０により長手方向に沿って複数に区画され、区画壁３０は、蓋体２６と距離をおいて配され、かつ、長手方向の中央部に対し周辺部で高さが低くなるよう形成される。 （もっと読む）

【課題】 不純物を低減して、リン分子を分子線として照射することができる分子線源および分子線源使用方法を提供する
【解決手段】 充填空間１１に赤リン材料を充填し、充填空間１１と精製空間１２とを連通させた状態で、充填部２１を第１気化温度ｔ１ｇに加熱して充填空間１１に存在する赤リンを昇華して、精製空間１２に白リンを凝縮する。次に精製空間１２と貯留空間１３とを連通させた状態で、精製部２２を第１気化温度ｔ１ｇよりも低い第２気化温度ｔ２ｇに加熱して精製空間１２に存在する白リンを気化して、貯留空間１３に白リンを凝縮する。このようにして貯留空間１３に生成した白リンを分子線の照射材料として用いて、リン分子線を照射する。 （もっと読む）

【課題】蒸着率が安定化するまでの所要時間を最小化し、蒸着効率を高め、ノズルの凝縮現象を防止するための有機蒸着源及びその加熱源の制御方法を提供する。
【解決手段】蒸着チャンバ内に配置され、含有する有機物質を蒸発させるためのるつぼ１０と、るつぼ１０に熱を供給するための加熱源を含む加熱部３０と、加熱部３０から放出される熱を遮蔽するためのハウジング５０と、るつぼ１０を安着させる外壁７０と、るつぼ１０から蒸発された物質を噴射するためのノズル部９０を具備する有機蒸着源１００であって、加熱部３０は、るつぼ１０の上部に位置される上部加熱部と、るつぼ１０の下部に位置される下部加熱部と、上部加熱部に電力を供給するための第１電力源と、下部加熱部に電力を供給するための第２電力源と、が構成される。 （もっと読む）

【課題】一つの同じ蒸着装置による蒸着工程において、少なくとも５個の貯蔵燐光体プレートの一組を連続的に製造する。
【解決手段】それぞれの蒸着を開始する前に、耐火材料表面がそのるつぼユニットにおいてマトリックス成分及び活性化剤成分、燐光体プリカーサ成分又はマトリックス、活性化剤及びプリカーサ成分の組み合わせの液化原材料との接触にもたらされる。前記組の貯蔵燐光体プレート内の一つのプレートから別のプレートまでのスピードの偏差を１５％未満にする。前記組の前記プレートの各々の製造における蒸着開始前に、前記るつぼユニットに、粉末、結晶質粒子、非晶質粒子、球体、バー、スティック、インゴット及び巻体又はそれらの組み合わせからなる群から選択される耐火粒子を加えて、耐火表面を回復する。 （もっと読む）

蒸発した材料のビームが、反射体の衝突面に衝突して、当該反射体からシャドウマスク内の１以上の開口を通って堆積基板上へと方向が変えられるように、前記蒸発した材料のビームを前記反射体の方向に向けて、パターン化された材料層を形成することを含む、パターン化層の作成方法。
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【課題】坩堝の寿命を予測し、破損や材料漏れなどの事故を未然に防止する。
【解決手段】非導電性材料からなる坩堝Ｐの寿命を予測するに際し、坩堝Ｐの底部壁体Ｐｂを誘電体として、静電容量計４により、底部壁体Ｐｂの内面に凝固材料Ｍを介して接触された内部電極３と、底部壁体Ｐｂの外面に接触された外部電極２との間の静電容量を計測し、この計測値から坩堝Ｐの寿命を予測する。 （もっと読む）

材料を一定速度で気化させて基板上に層を形成する方法は、気化可能で気化中に体積が変化する可能性のある柱状の材料を、その気化可能な材料の有効気化温度よりも低温に維持された温度制御領域から気化エネルギー供給源へと供給するステップと；柱の表面に一定の熱流を供給する気化エネルギー供給源を用意し、供給速度とは無関係に気化可能な材料を単位時間に一定の体積で気化させて基板上に層を形成するステップを含んでいる。
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本発明は、真空コーティング設備用のエバポレータ（１）を備える真空処置プラントに関する。本発明によるエバポレータ（１）は、掴持方向（Ａ）に移動可能で、基部（２２）を有する蒸発ボート（３）を掴持および位置決めすることを目的とした供給ライン（４）を案内するためのデバイスを備え、上記エバポレータ（１）はさらに、上記移動可能な供給ライン（４）を上記基部（２２）に固定的に接続するための２つのスペーサ（１８、１９）を備え、それぞれの上記スペーサ（１８、１９）の一側には移動可能な供給ライン（４）が、他側には基部（２２）が配置されているため、上記第１供給ライン（４）を強制的に案内することができ、また、上記スペーサ（１８、１９）は、上記第１供給ライン（４）と上記基部（２２）の間に、上記スペーサ（１８、１９）の少なくとも小さな逸脱範囲にかけて案内方向（Ｂ）が上記掴持方向（Ａ）と本質的に平行である長さと構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 物理蒸着法において、プラズマ照射によるクリーニング条件の制約を緩和できる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】 成膜装置１ａは、真空容器１０と、真空容器１０の成膜室１０ｂ内へプラズマビームＰを照射するプラズマガン４と、成膜室１０ｂ内に設けられ、成膜室１０ｂ内の所定位置ＣへプラズマビームＰを吸引する主陽極機構２と、被処理物５を支持する搬送機構３とを備える。主陽極機構２は、被処理物５のクリーニングの際に使用されるクリーニング用主陽極部材２１と、成膜材料Ｍａを保持しており成膜の際に使用される成膜用主陽極部材２２と、これらの主陽極部材２１及び２２を順に所定位置Ｃへ移送する移送機構２ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】有機薄膜材料加熱装置の温度を安定かつ容易に制御することを可能にするとともに、有機薄膜材料加熱装置に貯留された有機薄膜材料の温度を急速に上昇、下降、又は所定の温度に保持させることを可能にした蒸着源装置及び該蒸着源装置を備える真空蒸着装置を提供すること。
【解決手段】有機薄膜材料３を加熱するヒーター６を備えた有機薄膜材料加熱装置５と、有機薄膜材料加熱装置５の温度を制御するために所定の温度範囲に制御される恒温装置８と、有機薄膜材料加熱装置５と恒温装置８間の熱を交換するために設けられた熱交換器１２とを真空中に配設し、有機薄膜材料加熱装置５において、−５０℃から５００℃の温度範囲の昇華温度を有する有機薄膜材料３を昇華させるようにしたことを特徴とする蒸着源装置である。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材の防汚性薄膜の形成において、優れた防汚性薄膜を安定的にムラがなく、連続的に形成でき、その薄膜形成の制御性および蒸発源の調整やセット等の作業性に優れた簡便な防汚性薄膜の形成方法の提供にある。
【解決手段】真空蒸着法による被処理基材１０の表面に防汚性薄膜１を形成する方法で、織物状含浸担体２０に浸したフルオロアルキルシラン等の防汚性材料をランプヒーター３０加熱又はヒートローラー接触加熱により蒸発させるもので、前記織物状の含浸担体がロール状含浸担体２０ａで、それを連続巻き取り式送り装置１１０により送り、連続的に蒸発させる方法である。またセラミックス多孔性形成体の含浸担体に浸した防汚性材料を、ランプヒーター加熱により蒸発させるもので、前記セラミックス多孔性形成体の含浸担体が、板状、ペレット状、粉状含浸担体で、それらの表面又は裏面から照射加熱してなる形成方法である。 （もっと読む）

コーティング材料を気相に変えることが可能であり、特にコーティング装置（１００）に使用される加熱装置（１０）が、記載されている。この加熱装置は、前記コーティング材料が中に装填可能な中空のスペースと内面とを有する少なくとも1つの加熱ユニット（１１）と、前記加熱ユニット（１１）中に分散状態で位置された複数の加熱素子（１２）とを有している。コーティング材料を気相に変えるためのコーティング装置と方法とが、また、記載されている。
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【課題】 スプラッシュによる故障を防止し、スポット状欠陥の少ない高品質な機能性薄膜形成と、膜厚が安定した機能性薄膜形成が可能な真空蒸着方法の提供。
【解決手段】 蒸発源容器から原料を蒸発させ、基板上に蒸着膜を形成する真空蒸着方法において、原料を該蒸発源容器に入れる前に、前記蒸発源容器を洗浄手段を用いて洗浄液で洗浄し、乾燥した後に前記蒸発源容器に該原料を入れ、前記蒸発源容器を加熱し原料を蒸発させ、基板上に蒸着膜を形成することを特徴とする真空蒸着方法。 （もっと読む）

【課題】蒸発量、蒸発温度が異なる蒸着材料であっても、蒸着材料の加熱温度の制御性が良く、蒸着材料の蒸気量を高精度に制御できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】壁面が加熱されたチャンバ３の下方側に設けられ、異なる蒸着材料４ａ、４ｂを各々気化又は昇華させて、蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気を発生させる蒸発室１ａ、１ｂと、蒸発室１ａ、１ｂからの蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気量を各々制御する２つのスプールシャッタ６と、２つのスプールシャッタ６が面し、蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気が混合される混合室７とを有し、上方側に配置された基板５に混合された蒸気を蒸着させる真空蒸着装置において、少ない蒸発量又は低い蒸発温度の蒸着材料４ｂ側のスプールシャッタ６と蒸発室１ｂとの間に、複数の孔１１ａを有する多孔板１１を設ける。 （もっと読む）

分子線エピタキシャル成長法によりＩＩＩ−Ｖ族系化合物半導体のヘテロ接合を有する半導体薄膜を形成するエピタキシャル成長方法であって、少なくとも一種類以上のＩＩＩ族元素の分子線と第１のＶ族元素の分子線とを照射して第１の化合物半導体層を形成する第１の工程と、前記ＩＩＩ族元素の分子線と前記第１のＶ族元素の分子線の照射を停止し、前記第１のＶ族元素の供給量が前記第１の工程における供給量の１／１０以下となるまで成長を中断する第２の工程と、少なくとも一種類以上のＩＩＩ族元素の分子線と第２のＶ族元素の分子線とを照射して前記第１の化合物半導体層上に前記第１の化合物半導体とは異なる第２の化合物半導体層を形成する第３の工程と、を備えるようにした。
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【課題】 加熱容器支持台及びそれを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】 上面に複数個の孔が形成された支え台、そして支え台の各孔の入口に配置され、孔に対応する開口部と孔内壁に沿って延びる遮断部を備えた汚染防止板を備えることを特徴とする蒸着装置の加熱容器支持台である。これにより、加熱容器支持台の孔の縁部近傍への蒸着物質の付着が防止されて、維持、管理及び使用が容易である。 （もっと読む）

【課題】垂直上下方向に移動する蒸着源から噴射される有機気相物質の蒸着率から基板に形成される蒸着膜の厚さを正確に換算することができる蒸着膜厚測定方法及びこれを用いた蒸着システムを提供する。
【解決手段】蒸着率測定センサー２６が蒸着源２０から基板３０に噴射される物質の蒸着率を感知する段階と、感知された蒸着率を制御部に伝送する段階と、感知された蒸着率と蒸着率測定センサー２６のライフ数値を媒介変数とする変換式によって基板３０に形成される蒸着膜の厚さを換算する段階からなる。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化に対応するための垂直移動型有機物蒸着装置において、蒸着源から噴射される有機気相物質が真空チャンバ内で飛散して蒸着源を上下方向に移動させる駆動軸に付着することを防止することができる蒸着システム用蒸着源の駆動軸密閉装置及びこれを具備した蒸着システムを提供する。
【解決手段】蒸着システムの真空チャンバに設置された駆動軸に結合する結合部と、連結部を介して前記結合部に連結されて前記真空チャンバで有機気相物質を噴射する蒸着源を支持する支持板を有して前記連結部には貫通口が形成されている支持体；と、前記駆動軸を取り囲んで前記支持体が前記駆動軸にしたがって移動可能になるように一側面が開放されているビーム；と、前記貫通口を貫通する遮断板；とでなる蒸着システム用蒸着源の駆動軸及びこれを具備した蒸着システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生源から基板への物質の流れを中断する問題、および同時に気化物質を節約する問題を解決することにある。
【解決手段】本発明は、蒸気発生源および該蒸気発生源と基板との間の蒸気バリヤを備えた基板のコーティング装置に関する。蒸気バリヤは、少なくとも気化すべき物質の気化温度以上の温度に維持される。蒸気バリヤは、可動ロッドに連結された球状閉鎖部分を備えた石英弁として実施される。この球状閉鎖部分は、第１の位置において、蒸気発生源に連結された蒸気導入チューブを閉じ、かつ第２の位置において、石英チューブをシールしている球状キャップに当接する。 （もっと読む）