【課題】気化材料がるつぼ内を移動して、るつぼの各部分を溶かすことや、そのため温度安定性が不十分となることを防止できる金属気化用るつぼを提供する。
【解決手段】気化るつぼは、囲いを形成するための壁を有する電気伝導性で管軸を具備したチャンバ管１２０と、第１電気接続部１６２、１８２と、第２電気接続部と、少なくとも１個の供給開口１３４と、上記チャンバ管の少なくとも１個のディストリビュータ口１７０とを備えており、上記囲いは溶解／気化範囲を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の製造装置において、長時間の蒸着においても膜厚の均一性を失うことなく高い材料利用効率を実現する。
【解決手段】電極を有する基板１上に有機化合物層を備えた有機発光素子を製造する蒸着装置において、蒸着源２０と基板１の間に配置した膜厚補正板２３を蒸着源２０とともに基板１に対してＸ方向に相対的に移動させる。膜厚補正板２３の開口２３ａが、Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って開口幅が変化する太鼓形状を有することで、開口端部における蒸着材料の斜入射成分の蒸着時間を増大させて膜厚を均一化する。また、膜厚補正板２３の開口２３ａの周縁に傾斜面２３ｂを備えることにより、蒸発物が開口２３ａの周縁に付着することによる開口寸法の変化を抑制する。これにより安定して所定の膜厚分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】蒸気流の放出の開始時および終了時の切り換えを短時間に行なうことができ、かつ、蒸着材料の無駄な消費を抑えることができる蒸着用蒸気流放出装置、および蒸着装置を提供すること。
【解決手段】蒸着用蒸気放出装置１２Ａにおいて、加熱容器４１は、容器本体４２と蓋部材４３とから構成され、蓋部材４３の上底部４３ｂの一部には蒸気出口４３ａが形成されているが、成膜停止時、蒸気出口４３ａは閉塞部材４５によって塞がれた閉状態にある。この状態から、閉塞部材４５を回転させると、閉塞部材４５の蒸気入口４５ｄが蒸気出口４３ａと重なり、蒸気出口４３ａは、蒸気入口４５ｄおよび閉塞部材４５の内部空間４５ｒを介して連通する開状態になり、蒸気流放出口４５ｅから蒸気流が放出される。 （もっと読む）

【課題】被蒸着体への蒸着速度の制御を正確に行なうことができる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１内に蒸発源２と被蒸着体３とを配置すると共に蒸発源２と被蒸着体３の間の空間を蒸発源２の物質が気化される温度で加熱された筒状体４で囲み、蒸発源２と被蒸着体３を相対的に移動させた状態で、蒸発源２から気化した物質９を筒状体４内を通して被蒸着体３の表面に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置に関する。筒状体４の被蒸着体３と対向する開口部５に設けられ、開口部５の内側へ向けて折れ込み可能な折れ込み体１２と、蒸発源２から気化した物質９を蒸着させてその蒸着厚みを計測する蒸着厚み計測手段７と、蒸着厚み計測手段７で計測される蒸着厚みに応じて折れ込み体１２の折れ込みの程度を制御する折れ込み制御手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】成膜の均一性が高く、歩留まりも高い真空蒸着装置及び方法を提供する。
【解決手段】蒸着物質を収容する坩堝２と、坩堝中の蒸着物質を加熱する第１の加熱機構４と、一端６ａが坩堝の開口２ａに接続されて坩堝から生じた蒸着物質のガスを通過させる導管６と、ガスを放出するノズル８を有する筒状の拡散室１０とを備え、拡散室が中心軸を中心に回転するよう、拡散室の一端１０ａが導管の他端６ｂに回転可能に支持され、ノズルは拡散室の軸方向に沿って突出し、その先端が長尺スリット状に開口し、導管、拡散室、及びノズルの外側に蒸着物質の付着防止のための第２の加熱機構１４、１６、１８をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】従来の蒸着装置では、蒸着中に蒸発材料の液面高さが変化し、その影響で基板に成膜される膜厚の均一性が悪化するという問題があった。
【解決手段】蒸発材料を蒸発させるための加熱源として蒸着装置に設けられる蒸発源３８の構成として、高周波誘導加熱に用いられる加熱用容器３９と、高周波誘導加熱を行なう誘導コイル４０と、成膜用の蒸発材料４１を含浸させた状態で加熱用容器３９に収容される多孔質体４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ポートの数を増やすことなく，還元性ガスを分子線結晶成長装置の成長室内に導入することを可能にする分子線源を提供する。
【解決手段】本発明の分子線源は，結晶成長のための分子線を放出する分子線放出部と，前記分子線放出部に結合され，前記分子線を加熱して分解するクラッキングゾーンとを備え，前記分子線放出部と前記クラッキングゾーンの間に還元性ガスを導入するための還元性ガス導入部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生部で発生させた成膜材料の蒸気を温度低下させること無く蒸着ヘッドに送ることができる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着により被処理体Ｇを成膜処理する蒸着装置１３であって、被処理体Ｇを成膜処理する処理室３０と、成膜材料を蒸発させる蒸気発生室３１とを隣接させて配置し、処理室３０の内部と蒸気発生室３１の内部を減圧させる排気機構３６，４１を設け、処理室３０に、成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口８０を配置し、蒸気発生室３１に、成膜材料を蒸発させる蒸気発生部７０〜７２と、成膜材料の蒸気の供給を制御する制御弁７５〜７７とを配置し、蒸気発生部３１で発生させた成膜材料の蒸気を、処理室３０と蒸気発生室３１の外部に出さずに、蒸気噴出口８０に供給させる流路８１〜８３、８５を設けた。 （もっと読む）

【課題】排気効率のよい蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着装置１０は、第１の処理容器１００と第２の処理容器２００とを有している。第１の処理容器１００に内蔵された吹き出し器１１０と第２の処理容器２００に内蔵された蒸着源２１０とは、連結管２２０を介して互いに連結される。第１の処理容器１００には、その内部を所望の真空度にまで排気する排気機構（図示せず）が接続されている。蒸着源２１０により気化された有機分子は、連結管２２０を介して吹き出し器１１０から吹き出される。吹き出された有機分子は、基板Ｇ上に吸着し、これにより基板Ｇ上に薄膜が形成される。第２の処理容器２００と第１の処理容器１００とを別体にて設けることにより、成膜材料補充時、第１の処理容器１００内を大気に開放することがないため、排気効率を上げることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に配向膜を形成する際に、異物の発生を抑制し、配向膜を良好に形成できる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置は、基板を収容可能であり、収容した基板上に配向膜を形成可能な第１室と、第１室に配置され、基板上に配向膜を形成するための材料を供給可能な材料供給部と、第１室に配置され、材料供給部と基板との間に所定部材が配置されるように所定部材を着脱可能に保持する保持装置と、第１室と別の位置に配置され、所定部材をクリーニング可能なクリーニングシステムと、第１室の保持装置とクリーニングシステムとの間で所定部材を搬送する搬送システムとを備えている。 （もっと読む）

【課題】垂直に案内される基板を被覆するためのものであって、自動で連続してるつぼに材料を供給するコンパクトなベーパライザ装置を提供する。
【解決手段】本装置は、キャリアプレート３の一の側部に着脱自在に広げられるワイヤ供給ハウジング２と、るつぼ４０の上方に配置され、前記キャリヤプレート３の他の側部に着脱自在に広げられるリニアベーパライザ１とを有する。このベーパライザ装置の全部品は、キャリア・プレートだけに取り付けられているので、クリーンルーム内で迅速な取り付け又は取り外しが、粒子を生成することなく可能である。それに加えて、螺旋状加熱素子は、保護管に囲まれているので、蒸発される材料と接触することはない。 （もっと読む）

【課題】蒸着原料を無駄無く使うことができると共に、蒸発量の制御を容易に行うことができる蒸着装置及び蒸着方法を提供すること。
【解決手段】本発明の蒸着装置１は、減圧可能に構成されたチャンバー２と、チャンバー２内に被蒸着体Ｋを保持するホルダ３と、蒸着原料Ｍを加熱蒸発させる加熱手段４１と、蒸着原料Ｍを加熱手段４１に供給する原料供給手段７とを備え、蒸着原料Ｍを減圧下で加熱蒸発させ、蒸着原料Ｍによる蒸着膜を被蒸着体Ｋの被蒸着面Ｋ１に形成する蒸着装置１において、原料供給手段７は、蒸着原料Ｍを１マイクロリットル以下の体積で加熱手段４１に供給するように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の生産性を向上させることのできる真空蒸着装置を実現する。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス材料１を蒸発させるための蒸着源１０に接続パイプ２１を接続し、２つの分岐パイプ２２ａ、２２ｂを基板３１ａ、３１ｂとマスク３２ａ、３２ｂからなる２つの被成膜物に向けてそれぞれ有機蒸着膜形成を行う。異なる平面上の複数の被成膜物に蒸着源１０からの蒸気を同時に放出し、成膜することで、成膜時間の短縮および装置の小型化を促進する。 （もっと読む）

【課題】 有機化合物を安定して保存できると共に、真空蒸着時に突沸現象の発生を抑えることができ、安定して薄膜を形成することができる真空蒸着用原料ユニット、真空蒸着用蒸発源および真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】薄膜原料を蒸発させて基材表面に薄膜を形成する真空蒸着装置または真空蒸着方法に用いられる薄膜原料が収納された略円筒アンプル形状の真空蒸着用原料ユニットであって、上記薄膜原料と共に、該薄膜原料が蒸発するときの突沸を抑制する突沸抑制部材が収納され、不活性ガスまたは乾燥空気と共に密閉封止されている。 （もっと読む）

【課題】蒸発源の材料の減少に伴って蒸発流の密度分布の勾配が大きくなっても、均一な膜厚を形成できる。
【解決手段】真空蒸着室１１内で、蒸発源１の材料を加熱して気化し、蒸発源１の上方に配置された基板３の被蒸着面３ａに蒸着する時に、蒸発源１から放出された蒸発流の密度分布を複数の水晶振動子１５Ａ〜１５Ｃを介して膜厚センサ１５で検出し、膜厚制御装置２１により、前記密度分布の勾配が大きくなった時に、前記密度分布の勾配に応じて、鉛直距離調整装置１４により蒸発源１と被蒸着面３ａとの距離を増大させ、蒸発流の密度分布の均一性が低下することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 酸化物、窒化物、塩化物、フッ化物などの化合物の薄膜を分子線エピタキシー装置で作製する場合、気体材料がチャンバ内に雰囲気ガスとして残留し、他方の材料の分子線セルのるつぼに進入し、気体材料との化合物を作る。化合物になった分は材料の損失となる。材料損失が大きいと、原料の補填のためにたびたび超高真空チャンバを大気圧に戻さなければならず作業能率が悪くなる。
【解決手段】 るつぼ底部または上部に到るようにパージガス導入管を設け、パージガス導入管を通して、不活性ガスをるつぼ内へ吹き込み雰囲気ガスがるつぼ内の材料と接触しないように遮断する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの照射に対して分解し易い蒸発材料に好適な電子ビーム蒸発源、蒸着装置、並びに蒸着方法及びその蒸着方法により形成された光学膜を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射に対して分解し易い蒸発材料１２ａを収納した材料収納部１２と電子銃とを備え、真空中で材料収納部１２内の蒸発材料１２ａに前記電子銃から出射された電子ビームＥＢを照射して蒸発材料１２ａを溶融し蒸発させる電子ビーム蒸発源において、材料収納部１２はグランドから電気的に絶縁されており、材料収納部１２内の蒸発材料１２ａは負に帯電した状態で電子ビームＥＢが照射される。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置および方法において、突沸により発生した物質を捕捉するとともに、十分な膜厚を安定して確保する。
【解決手段】蒸着材料５を加熱して、蒸発した該蒸着材料を基板３に蒸着させる蒸着装置１は、蒸着材料５を収容する本体１１と、蒸着材料５より上方に配置されて蒸着材料５の突沸により発生する物質を捕捉する捕捉部材１２とを有する蒸着ボート６と、蒸着ボート６を加熱する加熱手段７とを備える。蒸着の際に、捕捉部材１２の温度が、蒸着材料５の温度以上となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】被蒸着部材と蒸発源の少なくとも一方を直線移動させて、複数の異種材料を被蒸着部材に均一な成分量比で蒸着する。
【解決手段】異種の第１，第２蒸着材料を加熱して気化させる蒸発装置１２と、真空蒸着容器１１内で蒸発装置１２から気化された第１，第２蒸発材料を蒸着させるガラス基板１３と、ガラス基板１３をｘ方向に移動させる基板保持移動装置とを具備し、蒸発装置１２に、各蒸発部２１Ａ，２１Ｂから導入された第１，第２蒸発材料をそれぞれ第１拡散容器２３Ａ，２３Ｂで拡散した後に、ガラス基板１３に向かって第１，第２蒸発材料をそれぞれ放出する第１ノズル筒２５ａおよび第２ノズル筒２５ｂを近接配置したノズル組２５Ａ，２５Ｂを設け、ノズル組２５Ａ，２５Ｂをガラス基板１３の移動方向に直交する横断方向にライン状に配置した。 （もっと読む）

プロセスチャンバコンポーネントは、使用中、チャンバ内で励起されたガスに露出され、パリレンコーティングを含む第１の表面と、使用中、励起されたガスに露出されない第２の表面とを含む。プロセスチャンバの内部表面は、イン・サイチュで、ポリマーコーティングによりコートすることができる。可搬性設備を用いて、プロセスチャンバにポリマーコーティングを形成することができる。前にコートしたチャンバコンポーネントはまた、ポリマーをオゾン及び／又は酸素により剥離し、ポリマーを再コートすることによって、再生することもできる。
（もっと読む）