【課題】成分汚染が生じ難く、それと共に半導体製造装置におけるパーティクルの発生を十分に減少させることのできる半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】搬送アーム１の載置部材１６にセラミックを溶射して溶射皮膜を形成し、この溶射皮膜にレーザービームを照射して、セラミック組成物を再溶融、再凝固させて変成させたセラミック再結晶物からなる高強度セラミック層５を形成し、半導体製造装置５０における外的要因により、載置部材１６から脱落する粒子を、半導体製造プロセスに影響を与えない程度に低減させる。 （もっと読む）

【課題】溶射工程の後のホーニング工程で、溶射皮膜表面に形成される突起部の脱落を抑える方法を提供する。
【解決手段】ワイヤを溶融させた溶融金属を被溶射物の被溶射面に向けて供給して溶射皮膜を形成する溶射工程２７と、溶射皮膜の表面に対してホーニング加工を施すホーニング工程３１との間に、突起部除去工程２９を設ける。突起部除去工程２９は、溶射工程２７でワイヤが溶融する際に発生した粗大な粒子が溶射皮膜に混入し、溶射皮膜の表面から突出するように形成された、溶融金属を含む突起部を、周囲の溶射皮膜の脱落を伴うことなく除去する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の品質向上を図るべく、エアノズルの噴出し口近傍に付着する溶射粒子を低減しつつ、溶融直後の溶射粒子の熱による、被加工物の熱変形の発生を防止することができる溶射方法を提供することを課題とする。
【解決手段】溶射ガン２は、ワイヤー粗材５０の先端部を中心として回転可能に構成されつつ、被加工物１００の筒状部１００Ａ内を同軸上に往復移動可能に構成され、回転しつつ「溶射噴霧化用圧縮空気５２」が噴出される状態の溶射ガン２がアーク放電を開始し、その後溶射ガン２が筒状部１００Ａ内を往復移動することで、筒状部１００Ａの内周面１００ａに溶射を行う被膜形成工程２０１と、被膜形成工程２０１の完了後、アーク放電を開始することなく、回転しつつ「溶射噴霧化用圧縮空気５２」が噴出される状態の溶射ガン２が筒状部１００Ａ内を往復移動する冷却・清掃工程２０２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】成膜装置用部品に対してパーティクル量を低減したプレコート層を効率よく形成することができる成膜装置用部品の前処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置用部品の前処理方法は、成膜装置用部品を成膜装置に用いるに先立って、該成膜装置用部品に対して、溶射によって金属溶射層を形成する工程、及び、金属溶射層が形成された成膜装置用部品に対し振動を与えた後、エアブローする工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品１を製造する方法であって、部品本体２の表面に膜厚が300μm以上のＣｕ溶射膜３を形成する工程と、表面に前記Ｃｕ溶射膜３が形成された部品を、真空雰囲気中で加熱するアニーリング工程と、前記アニーリング工程後、水素雰囲気中にて前記加熱温度より低い温度で前記部品を還元する還元処理工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】酸化イットリウム溶射皮膜の表面に、外観色が白色で、緻密かつ平滑で耐プラズマ・エロージョン性にも優れた白色二次再結晶層を生成させる技術を提案する。
【解決手段】大気プラズマ溶射法によって形成された白色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、強酸化性ガス雰囲気中でレーザビーム処理することによって、外観色が白色の二次再結晶層を形成する方法、およびその白色二次再結晶層を表面にもつＹ_２Ｏ_３溶射皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】黒色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面および／またはその表面の黒色二次再結晶層の表面を白色化させる技術を提案する。
【解決手段】黒色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、酸素ガスやオゾンガス、亜酸化窒素ガスなどの強酸化性ガスによってシールした状態でレーザビーム照射することによって、黒色の皮膜を白色化するとともに、皮膜の表面を構成する酸化イットリウム粒子を溶融一体化させて二次再結晶層を生成させる。これによって、黒色皮膜の表面に白色の文字、数字、線模様などを描くことができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのモリブデン系化合物を含む公称厚さのターゲットであって、ラメラ微細構造、１０００ｐｐｍ未満、好ましくは６００ｐｐｍ未満、特に好ましくは４５０ｐｐｍ未満の酸素量、及び前記化合物の理論電気抵抗率の５倍未満、好ましくは３倍未満、特に好ましくは２倍未満の電気抵抗率を有することを特徴とするターゲットに関する。 （もっと読む）

【課題】基体上に、異方性柱状微細構造をもち、腐食に対し大きな抵抗性を示す熱絶縁層、機能性層を製造する方法、及び製造された部品を提供する。
【解決手段】第一工程で１００００Ｐａ未満の低い圧力でプラズマ溶射法により粉末ジェットの形態で基体（２）の表面に被覆材料を溶射し、細長い微粒子（１０）が基体（２）の表面に対しほぼ垂直に立って並んでいる異方性微細構造を有する機能性層（１）を形成し、第二工程で前記層の毛細管状の空間（１１、１２）を、補強用媒体（６）として用いられる液体であって、熱により金属酸化物へ転化することができる前記層に含まれる金属（Ｍｅ）の少なくとも一種類の塩を含む液体で満たし、前記補強用媒体を前記層の表面に塗布して毛細管状空間内へ浸透するのを待った後、熱を導入して酸化物の形成を行わせることにより、前記層を強化する。 （もっと読む）

【課題】空隙を有するワークピースのプレースホルダとして用いられる担体材料、及び該ワークピースを製造する方法であって、除去が簡単で費用効果の高いものを提供する。
【解決手段】担体材料は、標準電極電位が室温で異なる少なくとも２つの金属粉末ＭｅＩ及びＭｅＩＩから成り、該担体材料は粉末を圧密化する方法によって製造される。 （もっと読む）

【課題】電蝕マークやアークスポット及びロール表面へのメッキ析出の発生を抑制すると共に耐摩耗性及び耐腐食性に優れ、更には消費電力を削減することができ、高品質且つ安価な製品の提供できる、コンダクターロールを提供する。
【解決手段】ロール胴部の表面に、Ni合金皮膜を有し、当該合金皮膜が厚さ５０μ〜１０ｍｍの厚さを有し、さらにその合金皮膜の表層に、硬度がＨｖ４８０以上の窒化層を形成させているコンダクターロール。また、銅、銀、金、白金のいずれかまたはこれらの合金をNi合金皮膜の下地処理として施すこと、ロール胴部の両端部や側面及び軸部にガラス質層であるセラミックスを被覆することが、望ましい。 （もっと読む）

【課題】医療用インプラント部品を製造する方法。
【解決手段】本方法は、第１の材料から、ベアリング部分を有する基質を形成するステップと、所定の溶射技術にしたがって第２の材料からなる粒子を基質のベアリング部分に対して吹き付けて、前記ベアリング部分上にコーティングを設けるステップと、コーティングされたベアリング部分を熱間等静圧圧縮成形プロセス、真空焼結プロセス、又は、大気を制御した焼結プロセスに晒すステップとを含んでもよい。第１の材料は、第２の材料と同じであってもよく或いは異なっていてもよい。所定の溶射技術は、プラズマ溶射プロセス又は高速酸素燃料溶射プロセスなどの熱型の溶射プロセスであってもよい。 （もっと読む）

【課題】 ガスタービンエンジンコンポーネントなどの物品におけるサーマルバリアコーティングの熱疲労による剥離耐性を向上させる高密度サーマルバリアコーティングおよびその方法を提供する。
【解決手段】 本発明による物品のコーティング方法が、概ね、物品の少なくとも一つの外表面上にボンディングコート層を適用し（ステップ１０）、このボンディングコート層の上にサーマルバリアコーティング組成物の層を適用し（ステップ１２）、このサーマルバリアコーティング組成物の層を熱処理し（ステップ１４）、サーマルバリアコーティングを形成させる（ステップ１６）ステップを備えてなる。本発明の方法により、剥離を低下させるために十分な密度と、亀裂密度と、空隙率と、を備えた高密度サーマルバリアコーティングが提供される。 （もっと読む）

【課題】厚さが薄く、剛性の低いマシナブルセラミックス基板への溶射皮膜の剥離や割れがなく、かつ、溶射後にマシナブルセラミックス基板自体が割れることがない溶射皮膜の形成方法を提供する。
【解決手段】厚さ１０ｍｍ以下で、かつ、ヤング率が１００ＧＰa以下のマシナブルセラミックス基板への溶射皮膜の形成方法であって、前記基板を予熱する工程と、前記基板に溶射によりセラミックス粉を溶着してセラミックス皮膜を形成する工程と、前記セラミックス皮膜に冷却用空気を吹き付ける工程と、を含むことを特徴とするマシナブルセラミックス基板への溶射皮膜の形成方法。 （もっと読む）

本発明は、(a)昇華するセラミック成分、(b)昇華しない金属又は半導体物質、並びに(c)バインダーから形成される自由流動性の凝集物を使用する溶射原料組成物に関する。本発明は、前記凝集物の製造方法、及び前記凝集物からセラミック含有複合構造物の製造方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】 Ｍｏ材料などの高価な溶射用材料を使用することなく、ボア内面に溶射皮膜を形成したシリンダブロックを有するエンジンの耐スカッフ性能の確保およびオイル消費増加や、ボア内面とピストンリングとのフリクション増加を防止する。
【解決手段】 シリンダブロックのボア内面に対し、鉄系金属材料からなる溶射皮膜を形成した後ホーニング加工を施し、その後、ボア内面の溶射皮膜の積層粒子間に、ホーニング加工後にボア内面に付着しているホーニング油を含浸させる。この含浸時には、ボア内を真空引きして溶射皮膜の積層粒子間の空気抜きを行った後、ボア内を大気開放することで、ホーニング油を積層粒子間に入り込ませる。 （もっと読む）

【課題】 水分の付着及び脱離を確実に抑制することができるセラミック溶射部材の製造方法、該方法を実行するためのプログラム、記憶媒体、及びセラミック溶射部材を提供する。
【解決手段】 基材２１０と、溶射によって基材２１０の表面に形成される溶射被膜２２０とを有するセラミック溶射部材２００を、アセトン、エチルアルコール、及びイソプロピルアルコールのうちの少なくとも１つを含む有機溶剤に所定時間浸漬し、溶射被膜２２０に付着した有機物を除去し、さらに、圧力が２０２．６５ｋＰａ以上、相対湿度が９０％以上の環境下において、温度が１００〜３００℃程度の炉の中で１〜２４時間加熱することにより溶射被膜２２０の外表面を水和処理する。 （もっと読む）