【課題】基板に対する密着強度が高く、組織が緻密で均一な厚膜の形成が可能なエアロゾルデポジッション成膜装置及びその成膜装置を使用した電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】エアロゾル発生部３１において、原料粉末とキャリアガスとを混合してエアロゾルを生成する。そして、このエアロゾルを噴射ノズル２２のエアロゾル噴射口から基板２４に向けて噴射するとともに、噴射ノズル２２の整流ガス噴射口からエアロゾルの周囲に整流ガスを噴射する。これにより、エアロゾルの広がりが抑制され、基板２４に原料粉末（微粒子）が垂直に衝突して、密着強度が高く、組織が緻密で均一な厚膜の形成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
エアロゾルデポジション法により光学的に透過率の高い酸化物からなる成膜体を形成する方法を提供する。
【解決手段】
酸化物から成る原料微粒子の表面層を酸素不足の状態とし、かつ酸化性を有する搬送ガスを用いることにより、原料微粒子の基板衝突・破砕時に発生する粒子間結合を促進することにより、ボイドの発生を抑圧し成膜体の緻密性を向上させると共に、その透過率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】噴射ノズルが劣化してもその劣化を監視してコールドスプレー品質が低下する前に、確実にノズルを清掃又は交換する。
【解決手段】コーティング装置は、金属粉末を被加工物１に高速噴射させて皮膜を形成するコーティング装置において、コーティング条件又はコーティング結果から噴射ノズル３内壁への粉末付着状態を評価するノズル評価値を算出する算出手段１１と、算出されたノズル評価値を表示する評価結果表示手段１２と、算出されたノズル評価値が予め設定された設定値に到達したことを示す設定値到達表示手段１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】溶射法に代わる方法で緻密なセラミックス層を形成し、高い絶縁性能を保持できる絶縁転がり軸受を提供する。
【解決手段】内輪１、外輪２、およびこれら内外輪の軌道面間に介在する複数の転動体４を備えてなり、上記内輪１の内周面および上記外輪２の外周面から選ばれた少なくとも一つの周面にセラミックス被膜７を有する絶縁転がり軸受であって、該セラミックス被膜は、アルミナ微粒子等をエアロゾル原料として使用したエアロゾルデポジション法により形成される被膜であり、該被膜は、例えば、エアロゾル噴射ノズルを固定し、外輪または内輪を、対象物回転用モータを用いて回転させつつ、位置決め用ＸＹテーブルを用いて軸方向に移動させて形成する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてセラミックス被膜の形成に供されず飛散するセラミックス微粒子を回収し、セラミックス微粒子の歩留まりを向上させることができる微粒子回収容器およびこの容器を用いる微粒子回収方法を提供する。
【解決手段】微粒子回収容器２は、真空チャンバー５内で基材４上にセラミックス被膜を形成するエアロゾルデポジション法において、セラミックス被膜の形成に供されず飛散する微粒子を真空チャンバー５内で回収する微粒子回収容器２であって、微細な孔を持つフィルターで構成され、少なくとも噴射ノズル８および基材４を覆う形で配設され、回収容器２の内壁に付着した微粒子を除去する機構（振動装置）３を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】濃度が制御されたエアロゾルを安定的に生成することができるエアロゾル生成装置、及び、そのようなエアロゾル生成装置を用いた成膜装置を提供する。
【解決手段】エアロゾル生成装置は、収納される粉体を導出する開口１０が形成されている粉体収納室１と、粉体が開口から導出される際に粉体の導出を補助又は促進するアシストガス導入部１３と、開口から導出される粉体を分散させるガスを供給する分散ガス導入部１７とを含む。また、成膜装置は、そのようなエアロゾル生成装置と、基板を固定する基板ステージ７と、該エアロゾル生成装置によって生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル６とを含む。 （もっと読む）

【課題】応力腐食割れを低減させることが可能であり、腐食および応力腐食割れの抑制効果が持続でき、金属材料の表面において残留応力や微小亀裂が発生している場合にはその補修もできる金属表面改質方法を提供する。
【解決手段】金属基材１表面に耐食性材料４を接触させて加圧しながら接触面の相対運動を起こす摩擦攪拌を実施し、金属基材１表面に耐食性材料４から成る肉盛層３を形成することにより、金属基材１表面の耐食性を向上させ応力腐食割れを防止することを特徴とする金属表面改質方法である。 （もっと読む）

【課題】溶射法およびＡＤ法による複層構造の絶縁層を形成することで、高い絶縁性能を維持しつつ、安価で生産性にも優れる絶縁転がり軸受を提供する。
【解決手段】内輪１、外輪２、およびこれら内外輪の軌道面間に介在する複数の転動体４を備えてなり、上記内輪１の内周面および上記外輪２の外周面から選ばれた少なくとも一つの周面に絶縁層７を有する絶縁転がり軸受であって、この絶縁層７は、上記少なくとも一つの周面に溶射法により形成される溶射セラミックス被膜７ａと、該溶射セラミックス被膜上にたエアロゾルデポジション法により形成されるエアロゾルデポジションセラミックス被膜７ｂとを少なくとも有する複層構造である。 （もっと読む）

【課題】連続処理が可能で、微細化粒子に解砕・分級された均一でコンタミのないエアロゾルを供給可能なエアロゾル発生装置を提供する。
【解決手段】原料セラミックス粉を供給するホッパ６を有する原料粉導入ノズル３と、複数の不活性ガス導入ノズル４とが設けられるとともに、中央部にエアロゾル吐出口５を有する粉砕容器２と、不活性ガス導入ノズル４等を介して粉砕容器内に不活性ガスを供給するガス供給手段７とを備えてなり、複数の不活性ガス導入ノズル４は、粉砕容器２内において円盤気流旋回渦が形成される位置および角度でそれぞれ粉砕容器２に設置され、原料セラミックス粉は、原料粉導入ノズル３から不活性ガスに随伴して粉砕容器２内に連続的に導入されるとともに、粉砕容器２内の円盤気流旋回渦により粒子間で衝突粉砕されて微粒子となり、該微粒子が不活性ガス中に分散されたエアロゾルとしてエアロゾル吐出口５より連続的に吐出される。 （もっと読む）

【課題】超音波等の音波エネルギーを利用し、様々な形状を持つ金属材料の表面に金属、金属化合物、セラミックスのコーティング膜を短い処理時間で形成させるための、また金属あるいはセラミックスの複合皮膜を形成させるためのコーティング装置とその処理方法を提供すること。
【解決手段】周波数自動調整機能をもつ発振機と超音波を発生するトランスデューサーとトランスデューサーの振動を伝達する振動子と筒状の共鳴チャンバーと該共鳴チャンバーの蓋状または共鳴チャンバー内のコーティング対象金属材料から構成され、共鳴チャンバー内には金属あるいはセラミックス製のボールと金属あるいはセラミックスの粉体を装入し、共鳴チャンバーの共鳴周波数に調整した高周波の音波あるいは超音波を作用させることにより共鳴チャンバーを振動させ、ボールと粉体が被コーティング材に衝突することを特徴とするコーティング装置である。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法を用い、厚さが均一な膜を形成するのに適した成膜装置を提供する。
【解決手段】原料粉をガスによって分散させることにより、エアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、複数の排気ポートが設けられた成膜チャンバと、該成膜チャンバ内に配置され、基板が固定される基板ステージと、成膜チャンバ内に配置され、エアロゾル生成部において生成された原料粉のエアロゾルを基板に向けて噴射するノズルとを含む。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルを安定的に発生させることのできる成膜装置およびエアロゾル発生装置を提供することにある。
【解決手段】成膜装置１のエアロゾル発生器１０には、エアロゾル室１１収容された材料粒子の堆積層１４中に下端部を埋没させつつ移動する攪拌棒１５が備えられている。このような構成によれば、攪拌棒１５の動きにつれて材料粒子の堆積層１４が攪拌され、粒子が巻き上げられる。また、導入管１２の吹出口１２Ａが攪拌棒１５に向かって開口しているから、キャリアガスが攪拌棒１５に吹き付けられる。これらにより、キャリアガスの流れにおいてこの攪拌棒１５の下流側で強い渦流が発生する。この渦流が材料粒子を巻き込むことによって、凝集、固化等の不具合が生じることなくエアロゾルが安定的に発生する。 （もっと読む）

【課題】緻密でテーパー角が大きい無機構造体を製造するのに適した成膜装置を提供する。
【解決手段】原料粉を基板に吹き付けることにより原料粉を基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いる成膜装置であって、原料粉をガスによって分散させることにより、エアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、基板が固定される基板ステージと、エアロゾル生成部によって生成された原料粉のエアロゾルを、基板に向けて噴射するノズルと、該ノズルと基板との間に配置され、ノズルから噴射された原料粉を通過させることにより、該原料粉の流れの方向を調整する微粒子流方向調整ガイドとを有する。 （もっと読む）

【課題】耐傷つき性、耐磨耗性および耐食性に優れた欠陥のほとんどない緻密な被膜を効率的に鋼材表面に形成させることで、長期に渡る耐久性を有する防食被覆鋼材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】エアロゾル化させた高硬度且つ耐磨耗性を有する固体の微粒子を鋼材表面に吹き付けることで形成させた被覆膜を有する。
また、エアロゾル化させた犠牲防食性を有する金属または合金の微粒子を鋼材表面に吹き付けることで形成させた被覆膜の上に、さらに、エアロゾル化させた高硬度且つ耐磨耗性を有する固体の微粒子を鋼材表面に吹き付けることで形成させた被覆膜を有するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】各種の描画対象体に対して十分に小さい図画を容易に描画し得る描画方法を提供する。
【解決手段】描画対象体（物体：基材１０）の一面に描画用ガスを吹き付けると共に描画すべき図画Ｇａ（星の絵）を構成する各画素に対応する一面上の各所定位置（形成位置Ｐｂ１０，Ｐｃ１０・・）に描画用ビームを照射して描画用ビームの照射領域に描画用ガス中の描画材料を堆積させることにより、描画対象体の一面とは電気抵抗値が相違する点（マーク４ａ）を所定位置に形成して図画Ｇａを描画する。 （もっと読む）

【課題】施工対象の形状等に影響されず緻密で熱・電気伝導性が高く、酸化や熱変質も少なく、かつ密着性も良好な皮膜を施工することができるコールドスプレー装置を提供すること。
【解決手段】室温以上、材料粉末の融点未満又は軟化温度以下の作動ガスを、超音速流とし、前記材料粉末と共に噴出するコールドスプレーにおいて、コールドスプレーノズル内コールドスプレーノズル内にまたはノズルとコンプレッサー間の作動ガス配管内の作動ガスが高圧である部分に作動ガスを加熱するための加熱手段を設けることを特徴とするコールドスプレー装置。 （もっと読む）

【課題】鋼材に対して犠牲防食性を有し、耐食性に優れた欠陥のほとんどない緻密な被膜を効率的に鋼材表面に形成させることで、長期に渡る耐久性を有する防食被覆鋼材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】エアロゾル化させた犠牲防食性を有する金属または合金の微粒子を鋼材表面に吹き付けることで形成させた被覆膜を有する。
また、前記犠牲防食性を有する金属または合金が、亜鉛、アルミニウム、マグネシウムのうちのいずれか１種または２種以上を含有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 基材表面に形成された酸化イットリウムからなる構造物の機械的強度を向上させた複合構造物を提供する。
【解決手段】 本発明では、基材表面に形成された酸化イットリウムからなる構造物は、酸化イットリウム多結晶体が主成分であり、構造物を構成する結晶同士の界面にはガラス質からなる粒界層が実質的に存在せず、さらに酸化イットリウム多結晶体の結晶構造を立方晶系（ｃｕｂｉｃ）と単斜晶系（ｍｏｎｏｃｌｉｎｉｃ）とを混在させることにより、基材表面に形成された酸化イットリウムからなる構造物の硬度を酸化イットリウム焼結体の硬度よりも大きくすることを可能とした。 （もっと読む）

【課題】従来の真空蒸着による金属膜形成に比べ安価な、金属粉を基板に吹き付けることにより金属膜を形成する方法に於いて、金属粉末が酸化して基板に付着しなくなる課題があった。
【解決手段】加工室内を窒素ガス雰囲気とし、窒素ガス雰囲気で窒素ガスと金属粉末の混合流体を加工基材に吹き付けることにより、金属粉末が酸化することなく基材表面に金属膜が形成でき、簡単に安定して加工基板の金属による配線パターンを形成できた。 （もっと読む）

【課題】成膜プロセスにおいて膜厚制御を容易に行うことができる膜形成装置および膜形成方法を提供することにある。
【解決手段】成膜を行う成膜室１０と、膜厚を測定する測定室２０とが連通されており、それぞれ内圧を制御可能となっている。このような構成によれば、成膜室１０および測定室２０の内部を減圧した状態で、両室１０、２０の間で基板Ｂを行き来させ、成膜と測定とを繰り返し行うことができる。また、成膜と測定とを別室で行うようになっており、成膜を行う際には成膜室１０と測定室２０との間を遮断できるようになっているから、測定室２０の内部がエアロゾルによって汚染されることを回避して測定室内を清浄に保ち、測定精度を維持することができる。これらより、成膜プロセス中に膜厚を簡易かつ精確に測定して成膜条件へのフィードバックを行うことができる。 （もっと読む）