【課題】複雑な形状のセラミックの成形が可能で、環境負荷物質である有機バインダーの使用を低減したセラミック製造方法およびセラミック製造装置の提供を図る。
【解決手段】基板３上に、所望の形状のマスク２を配置し、基板３と所望の形状のマスク２と基板３の間に隙間を形成し、原料粉４をキャリアガス５により分散してなるエアロゾル１５を基板３上に噴射する。噴射されたエアロゾル１５を基板３とマスク２の隙間の間に流入せしめることにより、エアロゾル１５内の原料粉４を基板３とマスク２の隙間の間に堆積させることで、マスク２と同じ形状の成形体１７を形成する。 （もっと読む）

【課題】応力によって破壊されにくい金属酸化膜を、速い成膜速度で成膜できる金属酸化膜の形成方法と、それを実現する物理蒸着装置を提供する。
【解決手段】酸素を含むガス雰囲気で、金属蒸発源１５の加熱により金属粒子を生成し、得られた金属粒子を酸化して金属酸化物粒子を生成し、金属酸化物粒子を移送し、超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー（３０）中に噴出して、真空チャンバー（３０）中に配置された基板３３上に物理蒸着させ、金属酸化物粒子からなる金属酸化膜を形成する。あるいは、金属粒子を生成して物理蒸着させて金属膜を形成し、これに酸素を吹き付けて金属酸化膜を形成する。あるいは、蒸発源に金属酸化物を用い、金属酸化物粒子を生成して物理蒸着させて金属酸化膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】鋳鋼片の表層の改質に用いる金属又は合金を効率よく均一に添加し、鋳鋼片の表層の溶融処理を均一に行う。
【解決手段】チャンバ２の上面には、プラズマトーチ８が設けられている。プラズマトーチ８よりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの後方には、圧下ロール２３が設けられ、さらにその後方には、粒体供給装置２０が設けられている。チャンバ２内に鋳片Ｈが搬送されると、粒体供給装置２０によって鋳片Ｈの表面上にフェロニッケルＦが供給され、圧下ロール２３によって鋳片Ｈの表面上に供給されたフェロニッケルＦが鋳片Ｈの表層に圧入される。表層にフェロニッケルＦが圧入された鋳片Ｈは、プラズマアークＰによって溶融され、鋳片Ｈの表層が改質される。 （もっと読む）

【課題】、鋳鋼片の表層溶融処理を行なうにあたり、上面の表層溶融処理の際に、幅方向両端面（いわゆる短辺）の表層溶融処理も同時に行う。
【解決手段】搬送されていく鋳片Ｈの幅方向Ｂの両側に、壁体２４を介して誘導コイル２１、２２を配置する。プラズマトーチＴによるプラズマアークＰによって鋳片Ｈの上面が溶融処理され、それと並行して誘導コイル２１、２２による誘導加熱によって鋳片Ｈの搬送方向両側端面の上部領域が溶融される。上部領域の溶融部は、誘導コイル２１、２２の電磁力によって保持される。 （もっと読む）

【課題】 長時間エアロゾルを発生させても、初期状態と同じ濃度でエアロゾルを発生させることを可能とし、且つエアロゾル濃度の濃淡を高度に且つ高速で調整可能とする。
【解決手段】 微粒子をガス中に分散したエアロゾルを発生するエアロゾル発生部５と、このエアロゾルを高速で基板へ向けて噴出するノズル１０とを備え、エアロゾルを基板へ衝突させることで前記微粒子と基材とからなる複合構造物を作製する複合構造物作製装置であって、前記エアロゾル発生部５へ供給するメインガス流量を調整するメイン調整部２と、前記エアロゾル発生部５によって発生したエアロゾル濃度を読み取るセンサ７と、前記エアロゾル経路に補正ガスを供給するガス導入路と、このガス導入路を流れる補正ガス流量を調整する補正調整部３と、前記センサ７の検出値に基づいて、メイン調整部２と補正調整部３を制御する制御手段８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】原料に用いるアルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子の導電性を損なうことなく、高い導電性、透明性を有する透明導電膜を簡易に効率よく、低コストで製造可能な透明導電膜の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子にキャリアガスを混合してエアロゾルを形成する工程（Ｉ）、及び前記エアロゾルをノズルから噴射して基板に衝突させ基板上に前記微粒子からなる透明導電膜を形成する工程（II）を含む。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法により従来よりも膜を形成し易い成膜装置、成膜方法、及び回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基材Wを保持するステージ１２と、粒子２９とキャリアガスとを含むエアロゾルASを生成するエアロゾル生成部２１と、エアロゾルASを基材Wに導くエアロゾル導入経路Pと、エアロゾル導入経路Pに設けられ、回転運動によってエアロゾルASの速度を増加させる羽根４０と、エアロゾル導入経路Pにおいて、羽根４０の後段に設けられたノズル１４とを有する成膜装置による。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ダイヤモンド粒子を含む被膜を基材上に密着性高く形成することにより耐摩耗性に優れた被覆体を提供することにある。
【解決手段】本発明の被覆体は、基材上に被膜が形成されたものであって、該被膜は、ダイヤモンド微粒子とセラミックス微粒子とを含み、該ダイヤモンド微粒子と該セラミックス微粒子とは、それぞれ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の平均粒子径を有し、該基材と該被膜との界面には、上記ダイヤモンド微粒子と上記セラミックス微粒子とが上記基材に浸入したアンカー部が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粉体収容室に収容された材料粒子の凝集を適切に低減して、エアロゾルを長期間に亘り安定的に生成できるエアロゾル生成装置およびエアロゾル生成方法を提供する。
【解決手段】材料粒子Ｍをキャリアガスに分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成装置１０１は、材料粒子Ｍの粉体８を収容するための粉体収容室９を有する本体５と、本体５の外部から粉体収容室９にキャリアガスを供給するためのキャリアガス供給手段（１１、１２、１５）と、粉体収容室９における、粉体８の粉面８Ａよりも下方の位置に入口開口４０Ａを有し、粉面８Ａよりも上方の位置に出口開口４０Ｂを有する粉体流路４０と、粉体流路４０内の粉体８を、粉体流路４０の入口開口４０Ａから出口開口４０Ｂへ向かう方向に移送する移送手段４１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による剥がれ、ひび割れを抑制することができる伝熱部材の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱された固相状態の金属粉末をノズルから所定の吹付け径となるように、基材１１の表面に吹き付けると共に、該吹付け時に、ノズル２３と基材１１とを、相対的に第一の軸方向に直線移動させる第一工程Ｐ１と、第一工程後のノズル２３と基材１１とを、相対的に第一の軸方向とは異なる第二の軸方向に前記吹付け径以下の移動距離となるように直線移動させる第二工程とＰ２、を一連の工程として該一連の工程を繰返すことにより、基材１１の上の長辺Ｌと短辺Ｓとからなる矩形状の範囲に、金属粉末から被膜を形成する伝熱部材の製造方法であって、第一工程Ｐ１におけるノズル２３と基材との相対的な移動距離を、基材上の前記長辺Ｌの長さよりも短い距離にする。 （もっと読む）

【課題】従来と同様の構成を備えるコールドスプレー装置を用い、大きな条件変更を行なわずに溶射効率を改善する方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するために、圧縮部、スロート部、及びそのスロート部から先広がりで円錐状の膨脹部とを備え、原料粉末をその融点以下の作動ガスを用いて該圧縮部のノズル入口から流入させ、該膨脹部先端のノズル出口より超音速流として噴出させるコールドスプレー用のノズルとして、圧縮部がノズル入口側の予熱領域と圧縮領域とを備えることを特徴とするノズルを採用する。 （もっと読む）

【課題】、寿命を延ばすことができ、内部への金属粒子の付着を抑えることができるコールドスプレー用ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル本体１１が、ステンレス製で熱伝導性を有し、円筒状を成している。ノズル本体１１は、一端１１ａがコールドスプレー装置１の噴射口１ａに取り付けられている。冷却部材１２が、コールドスプレー装置１の噴射口１ａから突出したノズル本体１１の外側面を覆うよう設けられている。冷却部材１２は、供給口１２ｂから導水路１２ａに供給された冷却水が、導水路１２ａの内部を循環し、排出口１２ｃから排水されるようになっている。冷却部材１２は、ノズル本体１１の外側面を均一に冷却することにより、ノズル本体１１の内側面を冷却可能になっている。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルを用いた被膜形成方法及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】微粒子材料にキャリアガスを混合してエアロゾル化し、これをノズルから噴射して基板に衝突させ基板上に微粒子材料からなる被膜を形成する方法であって、該微粒子材料が有機金属錯体を１種以上含むものであり、基板上に形成された被膜中の前記有機金属錯体を、焼成及び／又は還元処理をして金属又は合金にすることを特徴とする被膜形成方法、及び微粒子材料にキャリアガスを混合してエアロゾル化し、これをノズルから噴射し開口パターンを有するマスクを介して基板に衝突させて基板上に微粒子材料からなるパターンを形成する方法であって、該微粒子材料が有機金属錯体を１種以上含むものであり、基板上に形成されたパターン中の前記有機金属錯体を、焼成及び／又は還元処理をして金属又は合金にすることを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】粉体の凝集が低減し、安定してエアロゾルが発生するエアロゾル発生装置とこのエアロゾル発生装置を使用した成膜装置を提供する。
【解決手段】粉体３が入れられるエアロゾル室２と、このエアロゾル室２内に設けられた回転部４と、このエアロゾル室２に設けられたガスの導入口８と、このエアロゾル室２に設けられ、エアロゾル化した粉体３が排出される排出口９とを備えたエアロゾル発生装置１において、回転部４が、略水平な回転軸を有する軸部５と、軸部５から放射状に延在する板部６とを備え、板部６は、回転部４の回転方向に貫通孔６ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】円周曲面を有する基材にノズルからエアロゾルを吐出するときエアロゾルの相互干渉を低減可能な被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー５内でエアロゾル吐出ノズルから円周曲面を有する基材８上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置４であって、上記エアロゾル吐出ノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅを複数設け、上記基材８の径方向断面の円周上に少なくとも一つ以上重ならないように割付けて配置して、かつ、同時に吐出する。 （もっと読む）

【課題】低抵抗なセラミックス膜とその製造方法を提供する。
【解決手段】式Ｘ／Ｙ≧１（ここで、Ｘ：前記セラミックス膜のａ軸に直交するいずれかの結晶面のうちのＸ線回折強度の中の最大値、Ｙ：前記金属化合物からなる粉末のＸ線回折強度が最大値となる結晶面と同一の結晶面における前記セラミックス膜のＸ線回折強度）を満足する結晶構造が六方晶の金属化合物相を主体としたセラミックス膜を、アスペクト比が２〜７の範囲の柱状粒子を個数比で５〜３０％含む金属化合物粉末を気体と混合してエアロゾルを形成し、減圧雰囲気でエアロゾルをノズルから被成膜体へ噴射し被成膜体に形成する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル吐出ノズル廻りでの微粒子の堆積の発生が抑制され、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能なエアロゾル吐出ノズル、および該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを搬送するエアロゾル配管１に接続され、基材の成膜部に向けてエアロゾルを吐出するエアロゾル吐出ノズル２であって、該エアロゾル吐出ノズル２は、エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体と、エアロゾル配管１の導出開口１ａに接続されてエアロゾルを導入する導入開口２ｃと、エアロゾルを吐出させる矩形の吐出開口２ｂとを具備し、導入開口２ｃが、エアロゾル配管１の導出開口１ａと同一形状もしくは類似形状を有し、導入開口２ｃの内壁面と、導出開口１ａの内壁面とが段差なく連続的に接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エアロゾル中の微粒子濃度をより安定させることができ、かつ安定した状態を長時間にわたり維持することができる粒子群、複合構造物形成方法、および形成システムを提供する。
【解決手段】エアロゾルデポジション法に用いる粒子群であって、前記粒子群は、複数の脆性材料微粒子を含む微粒子を固めた集合体であり、前記粒子群のスパチュラ角が４６．２°以下であること、を特徴とする粒子群が提供される。 （もっと読む）

【課題】コールドスプレー用ノズルの内壁部への原料粉末の付着及びコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少できるコールドスプレー用ノズル及びコールドスプレー装置を提供する。
【解決手段】上記課題を達成するため、先細で円錐状の圧縮部と該圧縮部に連通する先広がりで円錐状の膨張部とを含み、原料粉末をその融点以下の作動ガスを用いて該圧縮部のノズル入口から流入させ、該膨張部先端のノズル出口より超音速流として噴出させるコールドスプレー用ノズルであって、該膨張部は、少なくとも内周壁面が窒化ケイ素セラミックス、ジルコニアセラミックス、炭化ケイ素セラミックスのいずれかのセラミックス材で形成されていることを特徴とするコールドスプレー用ノズル等を採用する。 （もっと読む）

【課題】安価であるとともに、優れた耐食性及び導電性を有する事務機用転がり軸受を提供する。
【解決手段】事務機用転がり軸受１は、内輪２と、外輪３と、内輪２及び外輪３の間に転動自在に配された複数の転動体４と、を備える。そして、内輪２及び外輪３の少なくとも一方は、その表面の少なくとも一部に、亜鉛粉末及びスズ粉末の少なくとも一方からなる投射材１４の投射により形成された金属被膜５を備えている。投射を行う際には、多数の軌道輪１０をバレルかご１１に収容し、バレルかご１１の中心軸を回転軸としてバレルかご１１を回転させながら、噴射ノズル１６の噴出口から投射材１４を軌道輪１０に吹き付けて、軌道輪１０に投射材１４からなる金属被膜を被覆する。そして、金属被膜が被覆された軌道輪１０と転動体等の他の軸受部品とを組み立てて転がり軸受とする。 （もっと読む）