【課題】合金基材の最表面にあるマクロ的な凹凸（例えば研磨によって生じる凹凸）の影響を排除して、波長選択性の熱放射または熱吸収材料として有効な厳格な寸法精度のキャビティを形成し、かつ、合金基材を二相共存領域で時効処理してスピノーダル分解させた合金基板を利用するので、大面積の熱放射または吸収材料を容易に作製する。
【解決手段】スピノーダル分解で第１の相と第２の相とが規則的に配列された合金基材の、最表面にある第１の相と第２の相とをいずれも除去してから、その内側にある第１の相と第２の相とを利用してキャビティを形成する。 （もっと読む）

【課題】亀裂等の欠陥を生じることなく、チタン酸ストロンチウムの膜をウェットエッチングすることのできるチタン酸ストロンチウム用のエッチング液組成物、並びに、そのエッチング液組成物を利用した、形状加工されたチタン酸ストロンチウム膜の製造方法及びチタン酸ストロンチウム膜の加工方法を提供すること。
【解決手段】フッ化水素酸及び硝酸を含有する水溶液からなるチタン酸ストロンチウム用のエッチング液組成物を使用する。 （もっと読む）

【課題】高電位域でも、セパレータの接触低抗が増加することを効果的に抑制する、燃料電池セパレータ用ステンレス鋼を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼の表面に、直径が0.1μｍ以上のラーベス相が10 ⁴個／mm²以上の存在頻度で露出させ、かつ該ラーベス相の平均粒径をｄ（μｍ）、該ステンレス鋼の素地の算術平均粗さをＲａ（μｍ）とするとき、以下の式（１）の関係を満足させる。
ｄ/2 ＞ Ｒａ/2 ＋ 0.05 … （１） （もっと読む）

【課題】無電解ニッケル合金膜の高精度のパターニング方法を提供すること。
【解決手段】本発明の無電解ニッケル合金膜のパターニング方法は、表面変性溶液を用いるステップと、エッチング液を用いるステップを含む。まず、無電解ニッケル合金膜を基板上に堆積する。次いで、フォトリソグラフィによって、無電解ニッケル合金膜上にレジストパターンを形成する。そして、レジストパターンを形成した無電解ニッケル合金膜の露出した表面を、表面変性溶液に浸して変性する。続いて、無電解ニッケル合金膜の変性された表面を、エッチング液に浸す。最後に、レジストパターンを除去する。ここで、エッチング液は、表面変性溶液よりも酸化力が強くなるように調整されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマに長期間曝されても、保護対象から剥がれ難いプラズマ耐性の高い保護膜を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、プラズマ処理装置内の構成部材上に形成されるプラズマ耐性を有する保護膜５０において、構成部材上に形成される凹凸構造を有する下地膜５１と、凹凸構造を覆うように下地膜５１上に形成されるプラズマ保護膜５３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】｛１１０｝面の傾斜角度が小さくてもヘイズレベルが良好なウェーハを提供する。
【解決手段】｛１１０｝面を主面とし、｛１１０｝面のオフアングルが１度未満のシリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長させる工程と、前記エピタキシャル層表面のヘイズレベル（ＳＰ２，ＤＷＯモードで測定）が０．１８ｐｐｍ以下であって、輝点欠陥ＬＰＤがヘイズの影響なく測定できるように、前記エピタキシャル層の表面を３０℃〜９０℃の温フッ化アンモニウム溶液で処理する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塑性変形が非常に少ないので、冷間成形加工が非常に困難であるZr基非晶質、準結晶、ナノ結晶、金属ガラス合金からなる合金材、例えば、リボン材や薄板材を加工して、任意の形状の製品、例えば、微細構造など付与された加工部品などを製造するエッチング技術の開発が求められている。
【解決手段】Zr基アモルファス合金材を塩素イオン中でエッチング加工することにより、特には塩化第二鉄を含有するエッチング液でエッチング加工することにより、金属ガラス合金のエッチング製品を得る。Zr基金属ガラス合金の薄板材やリボン材を用い、生体医療用材料、微小構造部品、例えば、微小伝動部品の歯車、バネ材、人工骨固定材などを容易に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミニウムパーツを再生するためのクリーニングプロセスは、パーツが、エッチングリアクタにおいてフッ素含有プラズマに露出された時に特に有用である。
【解決手段】パーツを、フッ化アンモニウムのようなフッ化物酸の攪拌溶液に浸し（８６）、フッ化アルミニウムを可溶のフッ化物に変換する。パーツを水で濯ぐ（８８）。クリーニングした陽極酸化物のポアは、熱攪拌脱イオン水にパーツを浸すことにより、再シーリング（９０）される。 （もっと読む）

【課題】 機械的な除去を必要とすることなく表面層を化学的に、均一に除去するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】 金属部品の表面処理方法は、チタン合金α相の析出物を有する表面層を化学的に除去しチタン合金β相を有するコアを露出させるステップを含む。化学的除去では、硝酸及びフッ化水素酸を含む第１の溶液及び硝酸を含む第２の溶液を使用する。 （もっと読む）

【課題】シリコンエッチングにおいて、結晶面によるエッチング速度比やエッチング面の平滑度などのエッチング特性を維持しつつ、且つシリコンエッチング速度が高くシリコンエッチングプロセス時間が短縮されるエッチング剤組成物並びにこのエッチング剤組成物を用いるシリコンのエッチング方法を提供すること。
【解決手段】
無機アルカリ化合物および、アスコルビン酸又はグリオキシル酸を含有することを特徴とするシリコン微細加工に用いるエッチング剤組成物並びにこのエッチング剤組成物を用いるシリコンのエッチング方法。
なし （もっと読む）

【課題】エッチング槽中でシリコン基板を異方性エッチングして構造物を形成する際に行う異方性エッチングのエッチングレートを安定化し、得られる構造物の開口幅のばらつきを抑制する方法を提供すること。また、良好な吐出特性を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】エッチング槽２中に存在するエッチング液の、ＰＨ電極１０により測定される電位差を一定にする制御を行う。また、この方法を利用してインクジェット記録ヘッドのインク供給口を形成する。 （もっと読む）

【課題】アルミ合金の表面に御影石調の模様を有する内外装材及びその製造方法を提供する
【解決手段】アルミニウム合金に予備熱処理として、再結晶温度＋５０℃〜４５０℃の温度で０〜６時間、その後０〜５％の歪みを掛け、更に調整熱処理として、４００〜６３０℃で０〜６時間、両者合計で３０分〜１２時間の熱処理を行い、平均粒径が０．１〜５ｍｍの結晶を持つ素材を作り、その結晶及び結晶方位の違いを鮮明に発現させる前処理及び陽極酸化処理を行い、次いで染色、電解発色、合金発色、電解着色等の多様な着色技術を利用して、光沢度が５〜８０％（入射角、測定角８５°）、色調は緑、青及び紫系でマンセル表示では、色相（Ｈ）は５ＧＹ〜１０Ｐ、明度（Ｖ）は１〜７、彩度（Ｃ）は０．２〜６を有している御影石模様を形成する。これにより、従来石板の使用が不向きであった住宅資材、電子、モバイル、カーアクセサリー関連用途に軽い、割れないアルミ合金の御影石調模様の加工材提供が可能となった。 （もっと読む）

【課題】 いくつかの基板除去技法を組み合わせて、各基板除去工程の特徴を利用できるようにする。
【解決手段】 基板３００の厚みの大部分の中を通ってブラインド形状４１２を形成するステップであって、ブラインド形状４１２は少なくとも１つの側壁表面４１６および底面４１８によって画定されるものである、ブラインド形状を形成するステップと、ブラインド形状４１２にウエットエッチレジスト材料を被着するステップと、底面４１８の少なくとも一部から前記ウエットエッチレジスト材料を除去するステップと、基板３００の前記厚みを通して貫通形状３０５を形成するほど十分に、少なくとも底面４１８を通して基板３００をウエットエッチングするステップとを含んでなる方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は工具または部品から硬質材料層系を除去するための方法および装置であり、除去方法を改善するために、クロムおよびアルミニウムを含有する少なくとも１つの層が基材に直接被着され、該基材は強力な酸化剤を含むアルカリ溶液を用いて膜除去される。
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結晶膜のパターン形成方法を提供する。第１の原子を含む縮退格子を有する結晶膜が第１領域及び第２領域に設けられる。ドーパントが第１領域内の第１の原子を置換し、第１領域に非縮退結晶膜を形成する。第１領域及び第２領域はウェットエッチャントに晒され、ウェットエッチャントは第１領域の非縮退格子をエッチングせずに第２領域の縮退格子をエッチングする。

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選択的エッチングプロセスは、非晶質金属ストリップ供給材料から形状を切断する。エッチングプロセスは、必要な形状を規定するパターンでストリップの一側面に化学的抵抗材料を付着するステップと、金属ストリップにキャリアストリップをかみ合わせるステップと、所望の形状に選択的エッチングするために、金属ストリップの少なくとも一側面にエッチング剤を晒すステップと、ストリップ供給材料から形状を分離するステップと含む。形状の複数の層は、高効率の電気モータおよび誘導デバイスにおいて有用な、全体的に多面体に成形されたバルク非晶質金属の磁気構成要素を形成するために、接着積層体によって組み立てられる。バルク非晶質金属の磁気構成要素は、弓形表面を含むことができ、好ましくは互いに対向して配置された２つの弓形表面を含むことができる。磁気構成要素は、約５０Ｈｚから約２００００Ｈｚの範囲の周波数で動作可能である。構成要素は、ピーク誘導レベルＢ_ｍａｘに対して励起周波数「ｆ」で動作されるとき、構成要素は、約「Ｌ」より低いコア損失を有し、ここで、Ｌは、式Ｌ＝０．００５ｆ（Ｂ_ｍａｘ）^１．５＋０．００００１２ｆ^１．５（Ｂ_ｍａｘ）^１．６で与えられ、前記コア損失、前記励起周波数、および前記ピーク誘導レベルは、キログラム当たりのワット、ヘルツ、およびテスラでそれぞれ測定される。本発明のバルク非晶質金属の磁気構成要素の性能特徴は、同一の周波数範囲にわたって動作される珪素鋼の構成要素の性能特徴より著しく良好である。

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