【課題】積層構造の金属膜を湿式エッチングする際に、テーパ角度が極端な低角度とならないようにして、断線が生じ難いパターンが得られるエッチング液組成物及びこのエッチング液組成物を使用した基板上に所定のパターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成されたアルミニウム又はアルミニウム合金膜の表面にモリブデン膜が積層された積層構造の金属膜をエッチングして所定のパターンを形成するためのエッチング液組成物であって、リン酸濃度４０〜７０質量％、硝酸濃度０．５〜１０質量％、酢酸濃度５０〜１５質量％、残部が水からなる。
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【課題】 本発明は、緩慢な条件下で合金製品表面の不動態化膜を破壊し、合金製品表面やエッジに発生した微小の凸部や微細なバリ或いは表面状態の不純を取り除くことができる上、エッジの盛り上がりのないミクロンオーダーの微細なくぼみを当該合金製品の表面に形成することができる新規な合金製品摺動面の化学処理剤及びこれを用いた合金製品摺動面の処理法方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 鉄を主成分とする合金製品における摺動面を処理するための酸性水溶液であって、この酸性水溶液には、更に、重金属イオン及び／又は金属酸化物を配合したことを特徴とする合金製品摺動面の化学処理剤。
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【課題】 フッ化物および過酸化水素フリーの環境に優しい化学研磨液を提供くし、それを使用してＣｕ合金材、特にコルソン系のＣｕ合金材を綺麗に、安定して研磨する方法を提供する。
【解決手段】 モノ過硫酸水素塩とリン酸を含有し、モノ過硫酸水素塩濃度が１０〜２０ｇ／Ｌ、リン酸濃度が１００〜２００ｍＬ／Ｌである化学研磨液を使用する。モノ過硫酸水素塩としては、モノ過硫酸水素カリウム、モノ過硫酸水素ナトリウム、モノ過硫酸水素アンモニウムのうちいずれか１種を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】Ａ２０００系アルミニウム合金の低コストで有効な艶消し方法と、この艶消し方法を施したアルミニウム合金から製作した光学素子保持用光学部品、光学機器の光路周辺の構成部品、反射防止部材を提供する。
【解決手段】リン酸をベース組成に含む処理液を満たしたエッチング槽にＡ２０００系アルミニウム合金を浸漬して化学エッチングを行う。これにより、アルミニウム合金の表面について、表面粗さＲａ＝２．０〜４．０μｍとなる。ここで、エッチング後のアルミニウム合金表面の光沢度を光沢計で計測すると、およそＧ３を示しており、十分な艶消し効果が得られている。レンズ保持枠などの光学素子保持用光学部品は、フレアの抑制など、光学性能を維持するために反射防止処理を施す必要があることから、Ａ２０００系アルミニウム合金にこの艶消し処理を施したものから製作することで、反射防止性能に加えて強度をもたせることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置の配線膜のエッチング加工において、溶け残り不良を抑制する。
【解決手段】酢酸濃度を５％以上含有する燐酸を主成分とするエッチング液、または、ヘキサン酸等の脂肪酸を含有するエッチング液により、レジスト上でのエッチング液の接触角を低減することができ、濡れ性を改善できる。このエッチング液を用いることによって、エッチング残りが生じ易いパターンにおいても、エッチング残りがないパターンを形成することができ、歩留まりよく液晶表示装置を製造できる。 （もっと読む）

【課題】複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から簡便に金属イオンを除去して精製リン酸を得る方法及び装置の提供、更には、金属エッチング工程で排出される高濃度のリン酸を含む混酸水溶液廃液に応用することにより、回収した精製リン酸を再利用するシステムの提供。
【解決手段】〔１〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒（以下、貧溶媒という）を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、〔２〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。 （もっと読む）

【課題】有害性、刺激性の強いフッ素化合物を用いることなく、かつ、特別な装置を必要としない簡便な化学的処理により、アルミニウム又はアルミニウム合金を装飾性のある白色面にするための処理液および処理方法を提供する。
【解決手段】リン酸および硫酸を混合してなる基本液１ｋｇに対して、ビスマス化合物をビスマス元素として０．００１〜０．０２０モル添加してなることを特徴とし、好ましくは、更に含窒素ポリカルボン酸類を添加してなる白色処理液。この液を９０〜１１０℃に加温し、アルミニウム又はアルミニウム合金を６０〜１２０秒処理することにより、表面が白色化する。 （もっと読む）

【課題】表面積をさらに拡大し、静電容量を向上させることのできる電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を提供する。
【解決手段】塩酸水溶液に硝酸、リン酸、硫酸またはフッ酸を添加したエッチング液を用いてアルミニウム箔をエッチングする電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法において、
ギ酸、酢酸、プロピオン酸などのモノカルボン酸を１．０〜５．０ｗｔ％の濃度で添加する。その際のエッチング液の温度を２５〜４０℃に設定する。 （もっと読む）

【課題】エッチング液の成分濃度の自動制御と、エッチング処理槽の液補給の適切なに管理により、エッチング性能の常時一定化、使用原液量の削減、操業停止時間の大幅短縮を図り、製造コストを低減するエッチング液管理装置の提供。
【解決手段】硝酸を含むエッチング液を貯留するエッチング処理槽と、エッチング液を循環させるエッチング液循環機構と、エッチングされるアルミニウム膜を含む基板を搬送するエッチング処理機構とを備えるエッチング処理装置に設けられるエッチング液管理装置において、エッチング液サンプリング手段と、サンプリングされたエッチング液の純水希釈手段と、希釈されたエッチング液の硝酸濃度に相関する導電率値を測定する導電率計と、導電率計により得られた導電率値に基づいて、エッチング液処理槽に補充液を供給する補充液供給手段、等を備えることを特徴とするエッチング液管理装置。 （もっと読む）

【課題】リン酸を含むエッチング廃液中のＭｏ成分及びＡｌ成分を除去して再生する、エッチング廃液の再生方法及び再生装置を提供する。
【解決手段】エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽４と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液をそのｐＨが０．５〜０．９となるように希釈する希釈部５と、官能末端基がＨ基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂が装填された吸着塔１４，１５と、官能末端基がＯＨ基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填された吸着塔２０，２１と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液を吸着塔１４，１５に供給する廃液供給部８と、吸着塔１４，１５と吸着塔２０，２１とを接続する接続管１６，１７と、吸着塔２０，２１から流出する希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】過酸化物含有溶液を用いて、金属表面を化学研磨する方法を提供する。
【解決手段】研磨溶液は、金属および過酸化物含有酸性研磨溶液を安定化するための、尿素および、１つ以上のヒドロキシル基または１つ以上のアミノ基で置換されていてもよい１種以上のアルカンジホスホン酸またはその塩の混合物を含有した過酸化物含有した溶液である。また、ｐＨが０〜３で、鉄含有金属表面、及び銅含有金属表面を化学研磨するのに適用できる。 （もっと読む）

【課題】筐体間の隙間からの処理液流出を防止することができる処理液供給装置を提供する。
【解決手段】処理液供給ノズル１は、所定間隔の隙間２を隔てて上下に対向配置された上部筐体１０および下部筐体２０を備える。上部筐体１０および下部筐体２０のそれぞれの側壁面には処理液供給部１２，２２および処理液排出部１５，２５が付設されている。処理液供給部１２，２２が隙間２の一方側から処理液を供給して処理液排出部１５，２５が他方側から吸引することによって隙間２に処理液流が形成され、ガラス基板ＧＳはその隙間２中を搬送される。下部筐体２０の上面２１には、ガラス基板ＧＳの先端部が支持コロ５０に接触して跳ね上がりが生じた場合であっても、隙間２の基板入口側に形成された処理液のメニスカスを維持できるようなピッチにて複数の支持コロ５０が配列されている。 （もっと読む）

【課題】耐食性に優れた電気二重層コンデンサ用集電体を、無電解エッチングによる粗面化にて安価に供給する。
【解決手段】質量比で、Ｎｉを５０ｐｐｍ〜５００ｐｐｍ未満含有し、残部がアルミニウムと不可避不純物からなる箔を、塩酸単独、または該塩酸に加えて、燐酸、硫酸、硝酸、シュウ酸のうち、一種、または２種以上の酸を混合した溶液にて無電解エッチングを行う。Ｎｉを添加することで箔の表層付近にＡｌ−Ｎｉ系析出物が生成され、エッチングに際し無電解にて良好に粗面化される。また、Ａｌ−Ｎｉ系析出物はエッチング中に容易に欠落除去され、耐食性を阻害することはなく、電気二重層コンデンサ用集電体として用いた際にも電解液に対し良好な耐食性を示す。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上に無電解めっきを行って、これからフォトマスクを得、このフォトマスクのめっき金属層と基板との密着性が良好であり、このフォトマスクを使用して、例えばＰＤＰ用の大型スクリーン版を、安価に得ることができるスクリーン印刷用スクリーン版の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の上に無電解めっきを行って金属膜を形成し、その上にフォトレジスト膜を形成し、パターンを露光・現像し、画像形成後にエッチングして、パターンを形成し、このパターンをフォトマスクとして使用してスクリーン印刷用スクリーン版を製造する。 （もっと読む）

【課題】 被加工物である金属材の表面に陽極酸化皮膜を形成することで、アンダーカットを制御した傾斜角の小さな傾斜面を有する浅い凹部を形成するための金属材の表面加工方法を提供することである。
【解決手段】 基板１１上に形成され、表面がマスクで被覆された金属材１２に対して、硫酸を含む電解液、２０Ｖ以下の電解電圧からなる電解条件の下で陽極酸化処理し、前記マスクの開口部から露出する金属材１２の表面に傾斜角の小さな傾斜面１７を有する陽極酸化皮膜１５を形成する。また、前記金属材１２の表面に形成された陽極酸化皮膜１５を除去することで、前記金属材１２の表面に傾斜角θ１による傾斜面１７を有する浅い凹部を形成する。 （もっと読む）

ハニカムの端を形成するセル端を包含するセル壁を有する複数個のハニカムセルから構成される耐食金属ハニカム。ポリアミドイミドを含む耐食被覆が該セル壁およびセル端を被覆するのに使用される。該耐食被覆は好ましくは該ハニカム構造が形成されてから適用される。
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【課題】同一の組成物を使用して薄膜トランジスタ液晶表示装置のＴＦＴを構成するゲート配線材料のＭｏ／ＡｌＮｄ二重膜またはＭｏ／ＡｌＮｄ／Ｍｏ三重膜を単一工程で下部膜のＡｌＮｄまたはＭｏのアンダーカット現象がなく湿式エッチングして優れたテーパを収得することができ、同時にソース／ドレイン配線材料のＭｏ単一膜とＭｏ／ＡｌＮｄ／Ｍｏ三重膜でも優れたプロファイルを形成することができる薄膜トランジスタ液晶表示装置のエッチング組成物を提供する。
【解決手段】本発明は薄膜トランジスタ液晶表示装置のエッチング組成物に関するものであって、特にａ）燐酸；ｂ）硝酸；ｃ）酢酸；ｄ）リチウム系化合物；ｅ）燐酸塩系化合物；およびｆ）水を含む薄膜トランジスタ液晶表示装置のエッチング組成物に関する。 （もっと読む）

【課題】エッチング取り代に応じた化学補給量でエッチング能力を劣化させずにシリコンウェーハのエッチングを継続して行うことができる。
【解決手段】フッ酸、硝酸、リン酸及び純水からなり、所定の式を満たすエッチング液を用いてウェーハをエッチングした後に、枚葉式エッチングにより消費されたエッチング液を回収し、この回収した消費エッチング液に対して硝酸を下記の式（６）で示される重量ｚ、リン酸を下記の式（７）で示される重量ｍ、フッ酸を下記の式（８）で示される重量ｎだけそれぞれ補給する。ｚ＝（Ａｘ／Ｂ）＋ｙ…（６）、ｍ＝（Ｄｘ／Ｂ）＋［（Ｄ−Ｃ）ｙ／Ａ］…（７）、ｎ＝Ｄｘ／Ｂ…（８） 但し、式（６）〜式（８）において、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはエッチング前のエッチング液に含まれる硝酸、純水、リン酸、フッ酸の重量、ｘはエッチングにより生成される水の重量、ｙはエッチングにより消費される硝酸の重量である。 （もっと読む）

【課題】同一相内で結晶方位の異なる領域、即ちフェライト粒、マルテンサイトやベイナイト組織の旧γ粒、旧γ粒内の下部組織（パケット、ブロックなど）を結晶面方位に対応した色に着色し、高価な器機や熟練を必要とせずに、光学顕微鏡によって簡便に識別可能とする着色エッチング液とエッチング方法の提供。
【解決手段】水（Ｈ_２Ｏ）１ｍｏｌにチオ硫酸ナトリウム（Ｎａ_２Ｓ_２Ｏ_３）を８．７ｘ１０^−３〜１７．４ｘ１０^−３ｍｏｌ加え、更にピロ亜硫酸カリウム（Ｋ_２Ｓ_２Ｏ_５）とピロ亜硫酸ナトリウム（Ｎａ_２Ｓ_２Ｏ_５）のどちらか一方、又は両方を合計して、２．４ｘ１０^−３〜６．８ｘ１０^−３ｍｏｌ加えて溶解した水溶液からなることを特徴とする着色エッチング液に顕微鏡観察用試料を浸漬、水洗、乾燥する。 （もっと読む）

【課題】 モリブデン系金属とアルミニウム系金属を主成分とした金属積層膜を一括エッチング可能で各膜のサイドエッチング量を抑制し、テーパー角度を２０〜７０度に制御可能な優れたエッチング液を提供すること。
【解決手段】 絶縁膜基板上に形成されたアルミニウム系金属およびモリブデン系金属の積層膜をエッチングするエッチング液であって、硫酸、硫酸アンモニウム、硫酸ナトリウム、硫酸カリウム、硫酸水素アンモニウム、硫酸水素ナトリウム、硫酸水素カリウム、硫酸カルシウム、硫酸セリウムアンモニウム、硫酸第二鉄、硫酸銅、硫酸マグネシウム、硫酸鉛、硫酸ヒドロキシルアンモニウム、アミド硫酸、アミド硫酸アンモニウム、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、エチレンジアミン硫酸塩、アニリン硫酸塩およびアデニン硫酸塩からなる群から選択されるスルホン酸化合物、燐酸および硝酸を含有する、エッチング液。 （もっと読む）