【課題】１個の処理容器内でスパッタによって厚さ方向に濃度勾配を有するように添加金属を含んだ合金層を被処理体上に容易に形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】添加金属と主金属とを含む合金からなる金属ターゲットを備えた処理容器内にプラズマ発生用のガスを供給すると共にこのガスに電力を供給してプラズマ化し、そのプラズマによりスパッタされた金属ターゲット粒子により第１の合金膜を被処理体に成膜する第１の成膜工程と、処理容器内の圧力及び前記電力の少なくとも一つを異ならせてプラズマを発生させ、スパッタされた前記金属ターゲットの粒子により、添加金属の濃度が第１の合金膜の添加金属の濃度とは異なる第２の合金膜を第１の合金膜に積層する第２の成膜工程と、を含むようにスパッタ成膜を行い、主金属に対する添加金属の濃度が厚さ方向に異なる膜を成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】研磨工程などを削減するとともに素子分離領域の上に微細なゲートスペースパターンを有する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１００と、素子分離絶縁膜１０１と、第１および第２電極１０７ａ，１０７ｂと、ゲート絶縁膜パターン１０４と、側壁絶縁膜１０８とを備えている。素子分離絶縁膜１０１は半導体基板１００の上に設けられており、第１および第２電極１０７ａ，１０７ｂはゲート絶縁膜パターン１０４を挟むようにして素子分離絶縁膜１０１の上に設けられている。側壁絶縁膜１０８は、第１および第２電極１０７ａ，１０７ｂの側面のうちゲート絶縁膜パターン１０４に接している部分以外の部分に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性が良好で、しかも光透過性に優れかつ高度な平滑性や配向性を有する薄膜電極を、安価な製造装置を使用して簡単な工程で、低コストで製造する方法を提供する。
【解決手段】天然マイカのへき開面のような、へき開性を有する単結晶状態の（１００）配向面に導電性薄膜を形成した後に、該導電性薄膜を高分子接着剤層を介して基板に接合し、前記（１００）配向面を剥離することにより薄膜電極を製造する。導電性薄膜は、金属又は金属酸化物、特に貴金属又は貴金属酸化物により構成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板との密着性が高い酸化被膜を形成して、配線材料等の酸化を防止できると共に、導電率が高い配線、電極又は端子電極を備えた液晶表示装置及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明では、ＴＦＴ型液晶表示装置のＴＦＴ側基板の上に形成されたゲート配線あるいはゲート電極であって、配線あるいは電極は、二つの異なる絶縁層あるいは絶縁物に挟持された構造を有し、これらは銅を主成分とした第一の層と、当該第一の層の外周部を被覆する酸化物からなる第二の層からなり、さらに第二の層の組成式が、ＣｕＸＭｎＹＳｉＺＯ（０＜Ｘ＜Ｙ，０＜Ｚ＜Ｙ）であること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高周波用途の半導体装置に採用する厚い絶縁膜をＬＯＣＯＳ法で形成する場合に、バーズビーグ増による欠陥の増大や、高温で長時間の酸化時間に伴う欠陥の増大という問題があった。これ等の問題点を考慮すると、超高周波用途の半導体装置に現状で用いることができる酸化膜の膜厚を厚くするにも限界があった。
【解決手段】半導体層に複数のトレンチを設け熱酸化により一体化して、内部に空隙部を有する絶縁領域を形成する。トレンチの深さで絶縁領域の厚みを制御でき、従来のＬＯＣＯＳ法以上の厚い絶縁領域を結晶欠陥等を増大することなく形成できる。絶縁領域を例えば電極パッドの下方に設けることにより、浮遊容量を低減できる。また、絶縁領域内部の空隙部によって、更に浮遊容量を低減できる。 （もっと読む）

【課題】低いオン抵抗を実現可能な構造を有する、窒化物半導体を用いたエンハンスメント（ノーマリーオフ）型電界効果トランジスタ、とその製造方法の提供。
【解決手段】ＡｌＧａＮ電子供給層１０４上に、それと同じか、より大きなＡｌ組成のＡｌＧａＮからなり、ｎ型不純物が２×１０¹⁹ｃｍ^-3以上ドーピングされ、厚さが２〜１０ｎｍ範囲のコンタクト層１０５を設け、ソース電極１０６とドレイン電極１０７の間の一部でコンタクト層１０５をエッチング除去して形成する第１のリセス１１０と、第１のリセス内の一部で電子供給層１０４を薄くして形成する第２のリセス１１２とを有し、第２のリセス内をゲート絶縁膜１１３とＴ型ゲート電極１０８で隙間なく埋め込み、Ｔ型ゲート電極１０８の傘の下の絶縁膜１０９による段差を利用して自己整合的にＴ型ゲート電極１０８に隣接してコンタクト層１０５上にオーミック補助電極１１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】ｐ型またはｎ型に制御された低抵抗のＳｉＧｅからなる導電性パターンを基材上に選択的に５００℃以下の低温で形成することを可能にする。
【解決手段】ガラス又は酸化ケイ素からなる非晶質基材上にアルミニウム薄膜又はクロム薄膜をパターン状に形成し、フッ化ゲルマニウムとジシランを原料とした熱ＣＶＤ法によって、前記パターン状に形成されたアルミニウム薄膜又はクロム薄膜上にのみ選択的にＳｉＧｅを堆積する。得られた導電性パターンは、ＳｉＧｅ膜が、非晶質基材上にパターン状に形成されたアルミニウム薄膜又はクロム薄膜上にのみ選択的に形成され、非晶質基材上には形成されない。 （もっと読む）

【課題】ガラスなどの酸化ケイ素系基板上へ無電解めっき法を用いて導電性パターンを形成するのに好適な新規疎水性ポリマー、それを用いた、基材上に密着性に優れた導電膜を有する積層体、その形成方法、該導電膜を配線として有するプリント配線基板、薄層トランジスタ及びこれらを備えた装置を提供する。
【解決手段】ラジカル重合可能な不飽和性部位と、無電解めっきの触媒を吸着する部位とを有する疎水性ポリマーであって、該ラジカル重合可能な不飽和性部位と該無電解めっきの触媒を吸着する部位の構成比が、６０：４０〜３０：７０である疎水性ポリマー。このポリマーを重合開始層に結合させてグラフトポリマー層を形成し、そこに無電解めっき触媒を付与し、無電解めっきを行うことで、表面に導電性膜が形成された積層体を得る。 （もっと読む）

【課題】高いトランジスタ性能が得られると共に、製造が容易な有機トランジスタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の有機トランジスタ１０によれば、ソース電極上面１８ａおよびドレイン電極上面２０ａが、有機単分子膜２４で被覆されているので、有機単分子膜２４で被覆されてない場合に比較して、ソース電極１８上およびドレイン電極２０上においても、結晶粒２２ａが大きく成長する。よって、有機半導体層２２を電流が効率良く流れ、高いトランジスタ性能が得られる。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの光を照射してもゲート絶縁膜の絶縁性が低下することのない積層構造体、積層構造体を用いた電子素子、これらの製造方法、電子素子アレイ及び表示装置の提供。
【解決手段】少なくとも基板上に、エネルギーを付与することにより臨界表面張力が変化する材料を含有する濡れ性変化層と、該濡れ性変化層によってパターン形成された電極層とを有する積層構造体において、該エネルギーを付与することにより臨界表面張力が変化する材料が主鎖と多分岐構造を含む側鎖とを有する高分子であることを特徴とする積層構造体。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｓｉ基板と接続される配線パターンを備えた半導体装置の製造方法に関し、Ｓｉ基板上におけるＳｉノジュールの発生を十分に抑制すると共に、半導体装置の製造コストを低減することを課題とする。
【解決手段】開口部１６Ａ、１６Ｂを有した絶縁膜１２が形成されたＳｉ基板１１を、所定の温度Ｔ_ｘに加熱された温水に浸漬させて、開口部１６Ａ、１６Ｂに露出されたＳｉ基板１１上に所定の厚さＭ１、Ｍ２を有する酸化膜１３Ａ、１３Ｂを形成し、その後、開口部１６Ａ、１６Ｂを充填すると共に、絶縁膜１２の上面１２Ａに亘るように配線パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】低抵抗なオーミック特性および高い密着性を実現できる窒化物半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】窒化物半導体装置は、半導体素子が形成されるｎ型ＧａＮ基板１と、当該ＧａＮ基板１の裏面に形成された金属電極であるｎ電極１０とを備える。ＧａＮ基板１とｎ電極１０との間には、表面変性層２０および反応層３１が設けられる。表面変性層２０はキャリア供給層として機能するものであり、ＧａＮ基板１の裏面をＳｉ含有プラズマと反応させ変性させることにより形成される。反応層３１は、表面変性層２０上に堆積されたデポ物を洗浄により部分的に除去しデポ層とした後に、第１金属層１１に含まれるＴｉとデポ層とが熱処理により部分的に反応し形成される。 （もっと読む）

【課題】基板に形成されたビアホールに、良好な埋設特性でメッキ法により導電材料を埋設して電子部品を製造する。
【解決手段】基板に形成された複数の貫通穴を塞ぐように設置される導電層を複数の領域に分割し、当該複数の領域の導電層に流れる電流を個別に制御して前記貫通穴に電解メッキ法により導電材料を埋設するメッキ工程と、前記導電材料に接続される導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、を有することを特徴とする電子部品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高価なスラリーを消費するＣＭＰを用いることなく、不所望な電極材及びバリアメタル層の部分を除去することによって、低コストで半導体装置における電極を形成する。
【解決手段】異なる工程において、ウェットエッチングを用いて、外側電極材層及び外側バリアメタル層２１ｂをそれぞれ個別に残らず除去する。従って、電極２５を形成するために、外側電極材層及び外側バリアメタル層を同時に除去する工程が存在しない。そのため、ＣＭＰを用いる必要がなく、ウェットエッチングのみを用いて、外側電極材層及び外側バリアメタル層を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】下地層と導電層との密着性を向上させた金属配線形成方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｓ上に形成されたマンガン層２５上に、金属微粒子を分散させた配線形成用インクＸ２を塗布する第２液滴吐出工程と、配線形成用インクＸ２を加熱して前記金属微粒子を粒成長させて銀層２６を形成する第２焼成工程とを有し、前記第２焼成工程で、焼成温度に達した後の基板Ｓ表面の温度低下が５℃以下である。 （もっと読む）

【課題】導電層の平坦性を向上させる金属配線形成方法及び焼成炉を提供すること。
【解決手段】基板Ｓ上に形成されたマンガン層２５上に、金属微粒子を分散させた配線形成用インクＸ２を塗布する第２液滴吐出工程と、配線形成用インクＸ２を加熱して前記金属微粒子を粒成長させ、銀層２６を形成する第２焼成工程とを有し、前記第２焼成工程で、基板Ｓの上下に間隔をあけて基板Ｓのうち少なくとも配線形成用インクＸ２が塗布された領域に対して赤外線を均一に照射する一対の金属板１８を配置した状態で、基板Ｓを焼成温度まで昇温する。 （もっと読む）

【課題】下地層と導電層との密着性を向上させた金属配線形成方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｓ上に形成されたマンガン層２５上に、金属微粒子を分散させた配線形成用インクＸ２を塗布する第２液滴吐出工程と、配線形成用インクＸ２を加熱して前記金属微粒子を粒成長させて銀層２６を形成する第２焼成工程とを有し、前記第２焼成工程で、焼成温度までの平均昇温速度が、２０℃／分以上２００℃／分以下である。 （もっと読む）

【課題】チャネル領域の裏面側に応力膜を形成することでチャネル領域に歪みを導入し易くして、ＭＯＳＦＥＴのオン電流を向上するとともに、短チャネル効果の抑制を可能とする。
【解決手段】チャネル層１２上にゲート絶縁膜１４を介してゲート電極１５を備えた半導体装置１であって、前記チャネル層１２の下部に前記チャネル層１２を歪ませる応力を有する応力膜１３が形成されているものであり、応力膜１３は、ＰＭＯＳＦＥＴの場合には膜中に引張応力が内在する引張応力膜で形成され、ＮＭＯＳＦＥＴの場合には膜中に圧縮応力が内在する圧縮応力膜で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高出力、高耐圧、高速、高周波化などを達成し得る新規なGaN系ヘテロ接合トランジスタを提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題は、GaN又はInGaNからなるチャネル層(4)と、AlNからなる障壁層(5)と含むヘテロ界面を構成する層と、トランジスタ素子表面に形成された絶縁膜(9)、及び前記絶縁膜上に形成されたオーミック電極を有する電界効果トランジスタ(1)、特に絶縁膜としてSiN絶縁膜を用いた電界効果トランジスタや、そのような電界効果トランジスタの製造方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】下地層に対する導電層の密着性を向上させる。
【解決手段】基板Ｐ上に下地層形成材料を含む第１液状体を塗布する工程と、塗布した第１液状体を加熱処理して下地層Ｆ１を形成する工程と、下地層Ｆ１上に金属微粒子を含む第２液状体を塗布する工程と、塗布した第２液状体を加熱処理して導電層Ｆ２を形成する工程とを有する。下地層Ｆ１が未硬化状態となる条件で第１液状体を加熱処理した後に、第２液状体を塗布する。 （もっと読む）