【課題】固体撮像装置が有する光電変換部において、カラーフィルタ上に形成される平坦化層を厚くすることなく平坦性が維持され、カラーフィルタ素子の剥がれが防止される固体撮像装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】半導体基板上に２次元配列形成される光電変換素子上に酸化膜を形成する工程と、この酸化膜上に、前記複数の光電変換素子に対応する複数のフィルタ素子が市松状に配置され、かつ隣接する前記フィルタ素子の角部がブリッジにより相互に接続された緑色カラーフィルタを形成する工程と、この緑色カラーフィルタの前記市松状に配置されたフィルタ素子間に、前記光電変換素子に対応する複数の赤色カラーフィルタおよび青色カラーフィルタの各フィルタ素子を形成する工程と、これら各色のカラーフィルタ上に平坦化層を形成する工程と、この平坦化層上にマイクロレンズを形成する工程を含むこと特徴とする固体撮像装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】積層した光学素子間の接着にはがれが生じにくい光学素子ユニット及びこれを組み込んだ撮像装置を提供すること。
【解決手段】結像部２０において、これを構成する各レンズ２１ａ，２１ｂ，２１ｃが同一の線膨張係数を有する材料で形成されているので、レンズ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ相互に膨張量の差が発生せず、各レンズ２１ａ，２１ｂ，２１ｃに歪みが発生することを防止できる。これにより、レンズ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ間で接着のはがれが生じること、延いては結像部２０が破損することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】基台12上に複数の光電変換基板14を並べて大面積化する場合、静電チャックや真空チャックを利用する場合のような不具合がなく、製造性のよい放射線検出器11を提供する。
【解決手段】基台12の縁部より各光電変換基板14の縁部が突出する構造とする。基台12の縁部より突出する光電変換基板14の縁部を機械的なチャック機構で保持することにより、チャック機構が基台12と干渉することなく、光電変換基板14を基台12上に運搬して配置できる。 （もっと読む）

【課題】カラムＡＤ型のＣＭＯＳセンサにおいて高速水平データ転送動作を可能にする。
【解決手段】デジタルデータを相補データＱ，ｘＱで転送して後段の差動増幅部４１８で再生する。ラッチ部４１９でその出力をラッチする。相補の信号線１８，１８ｘと差動増幅部４１８との間に第２振幅レベル変更部４１７，４１８ｘを介在させ、信号線側の振幅は小さくし、かつ差動増幅部４１８の入力側は振幅を大きくする。バスラインである水平信号線１８，１８ｘ上の寄生容量に起因する問題を改善できる。大振幅の情報での転送よりも小振幅の情報での転送の方が、低消費電力であり、また高速転送動作が可能になるからである。 （もっと読む）

【課題】占積率の高い放射センサ素子を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの給電線構造が基板とセンサ構造との間の第２の平面に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＳトランジスタにシリサイド層を設けた領域の構成によらずに、シリサイド層を設けない領域においてのＭＯＳトランジスタの配置間隔を縮小でき、これによって微細化を達成することが可能な固体撮像装置および半導体装置を提供する。
【解決手段】電変換素子とともにＭＯＳトランジスタが配列された撮像領域１ａと、ＭＯＳトランジスタが設けられた周辺領域１ｂと、撮像領域１ａのみを覆うブロック膜１３と、ブロック膜１３から露出させた周辺領域１ｂのＭＯＳトランジスタＴｒｂのみにおけるソース／ドレイン１１ｂとゲート電極５ｂ表面に設けられたシリサイド層１５とを備えた固体撮像装置１００において、周辺領域１ｂのみに、ゲート電極５ｂとソース／ドレイン１１ｂ表面のシリサイド層１５とを分離する絶縁性のサイドウォール９が設けられている。サイドウォール９は、撮像領域１ａのみを覆うブロック膜１３とは異なるプロセスで成膜された膜を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】集光した光によるアタックを回避するための技術を提供する。
【解決手段】それぞれ照射された光を検出可能な複数の光検出器（２）を含む。上記複数の光検出器は上記半導体集積回路装置において分散配置され、上記各光検出器は、半導体基板上のウエル境界への光照射に起因する漏れ電流をトリガとして導通するサイリスタ構造の光検出素子（２３）を含んで成る。かかる構成の光検出器は小さな領域に形成することができ、半導体チップにおいて多くの光検出素子を均一に配置することができるので、集光した光によるアタックを回避することができる。 （もっと読む）

【課題】光を照射して検査を行う必要のあるデバイスを平面的に配置して一度に検査することができる受光手段を備える半導体装置、該半導体装置の検査方法及び半導体装置検査装置の提供。
【解決手段】半導体装置１１０の表面に、受光手段１１１ａと、受光手段１１１ａに電気的に接続され受光手段１１１ａの動作を検査する検査情報処理手段１１１ｃと、検査情報処理手段１１１ｃに電気的に接続されている複数の検査用電極パッド１１３とを備えており、検査用電極パッド１１３は、半導体装置１１０上の対向する一組の辺の外縁部であり、かつ上記一組の辺のそれぞれに一組ずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 受光時の吸収率を向上させること。
【解決手段】 隣接した少なくとも２つの受光面を有し、２つの受光面は、一方の受光面への入射光の一部を、他方の受光面へと反射するように所定の角度を有して配置される。なお、所定の角度は、０度より大きく、１２０度未満の角度であっても良い。また、隣接した２つの受光面は、同色の光を受光しても良いし、異なる色の光を受光しても良い。 （もっと読む）

【課題】複数の光電変換層を有する光電変換素子において、光電変換効率を高効率化し、大きな光電流を取り出せるようにする。
【解決手段】光電変換素子は、光入射側からＺ方向へ順に、所定の第１波長帯域λＢ１に光吸収領域を備える第１光電変換層１０１と、第１波長帯域λＢ１と一部重複する第２波長帯域λＢ２に光吸収領域を備える第２光電変換層１０２とが積層されてなる。第１、第２光電変換層１０１、１０２は共役系高分子で構成され、分子軸を揃える配向処理が互いに異なる方向に施されている。すなわち、第１光電変換層１０１には、Ｘ方向（基板面内（Ｚ方向と直交する平面内）方向における所定の第１方向）に配向処理が与えられている。一方、第２光電変換層１０２には、Ｙ方向（第２方向）に配向処理が与えられている。 （もっと読む）

【課題】センサ特性が良好で、しかも低コストで製造し得る赤外線センサを提供する。
【解決手段】支持体（シリコン基板１１および絶縁層１２）の上に熱電対２が配設されると共に熱電対２における温接点２ｈの下方に空隙Ｓが形成されたサーモパイル型のイメージセンサ１（赤外線センサ）であって、支持体上における空隙Ｓの非形成領域Ａ２に絶縁層１４が形成されると共に絶縁層１４および空隙Ｓの上にダイヤフラム層１５が形成されてダイヤフラム層１５の上に熱電対２が形成され、かつ、支持体における空隙Ｓを構成する部位（絶縁層１２）、絶縁層１４およびダイヤフラム層１５がエッチング用の気体または液体に対して耐性を有する耐エッチング材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】 画素信号の転送の開始に伴って発生する電圧リップルを容易に抑えることができる撮像装置、駆動方法及びプログラムを実現する。
【解決手段】 ＣＣＤ駆動回路３が使用する平均消費電流を急激に変動させないように、水平転送パルスの出力密度を徐々に大きくして出力することにより、電圧リップルの発生を抑える。
また、ＣＣＤ駆動回路３に電圧を供給する電荷回路の出力端子とＧＮＤとの間にコンデンサ３２を設けるようにしたので、ＣＣＤ駆動回路３に供給される電圧を安定させることができ、電圧リップルの発生を抑えることができる。 （もっと読む）

本発明は、第１の基板（１１０）内に形成された第１の感知素子（１０５）と、第２の基板（８１６）内に形成された少なくとも１つの光学素子とを備えるセンサ（８００）であって、第１及び第２の基板は、第２の基板が第１の感知素子の上にキャップを形成するように互いに関して構成され、少なくとも１つの光学素子は、キャップ上に入射した放射線を第１の感知素子に誘導するように構成されるセンサ（８００）を提供する。このセンサは、第１の感知素子の出力を参照するために使用できる出力を有する基準感知素子（１０５）も備える。
（もっと読む）

【課題】露光条件の影響を回避しつつ、また、フレームレートと商用電源周波数とが同期に近くなるような場合でも、光源フリッカを抑制できるようにする。
【解決手段】画像を所定の走査方向に分割して複数のフリッカ検波枠を設定し、フリッカ検波枠ごとにＭビットの輝度データを検波する。輝度データ検波部で検波されたＭビットの輝度データのうち、下位ビット側の輝度データを参照してフリッカ成分の周波数を特定する。また、輝度データ検波部で検波されたＭビットの輝度データのうち、下位ビット側の輝度データを参照してフリッカ成分の周波数を特定する。たとえば、フリッカ成分の振れ幅が大き過ぎるときにはより上位ビット側からのデータを参照し、フリッカ成分の振れ幅が小さ過ぎるときにはより下位ビット側からのデータを参照する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて消費電力を抑えつつ、像ぶれを検出することができる撮像装置及びこのような撮像装置を備えてぶれ補正を行うことができるカメラを提供すること。
【解決手段】撮像素子１の受光面上に、有効画素領域と複数の検出画素領域とを形成しておく。有効画素領域からの出力からアナログ信号処理部５及びＡ／Ｄ変換器７において被写体像信号が生成され、被写体像信号が画像処理部９において画像処理される。また、検出画素領域からの出力からアナログ信号処理部６ａ〜６ｄ及びＡ／Ｄ変換器８ａ〜８ｄにおいて被写体像信号が生成され、生成された被写体像信号に基づいて動き検出部１０において動きベクトルが求められ、制御部１１において、ぶれ補正を行うためのぶれ補正信号が生成される。 （もっと読む）

【課題】小型化、低背化、および低価格化に対応しつつ、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバーおよび撮像装置を得ること。
【解決手段】ガラスカバー３に回折格子５１が一体で形成され１つの部品を構成しており、固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０全体として部品数を少なくできる。したがって、固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０の小型化、低背化、および低価格化を可能にできる。また、可視光領域の各波長に対して１次回折光の回折効率Ｉ₁を略一定に保つことができ、０次回折光の回折効率Ｉ₀を少なくすることができる。したがって、凸部６、凹部７は、各波長において入射光強度に対し一定の回折光強度を取り出せる光学ローパスフィルタとして機能し、可視光領域で被写体の色調を忠実に再現できる固体撮像素子カバー４１および撮像装置２０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の中央領域および周囲領域における感度のむらを低減させること。
【解決手段】複数の光電変換部１２が形成された撮像素子１と、撮像素子と離間して配置されたレンズアレイ２とを備えている。レンズアレイ２は、複数のマイクロレンズ２ａが形成された第１の面（上面）と撮像素子に対向する第２の面（下面）とを有しており、撮像素子の複数の光電変換部１２が形成された面側（上方）に配置されている。 （もっと読む）

カメラシステムは、２つの基板を有する光学的積層体を有する。光学的積層体は画像形成システムを構成し、各基板は互いに対して平行でかつ画像形成システムの光軸に対して垂直な２つの表面を有し、光学的積層体は２つの基板の対向する表面上に固定領域を有し、２つの基板はウエハレベルで固定領域において一体に固定され、２つの基板のうちの少なくとも１つの表面は画像システムの屈折性表面を有する。さらにカメラシステムは、活性領域を有する検出器基板と、少なくとも検出器基板の活性領域を保護するカバー構造体とを備える。光学的構造体はカバー構造体の上側表面に固定される。
（もっと読む）

【課題】赤外線検出素子を大きくすること無く感度の低下を防止できる赤外線センサおよび該赤外線センサの製造方法を提供することにある。
【解決手段】
赤外線センサ１００は、赤外線検出素子２を格子状に配置した素子基板１と、赤外線を集光する複数の赤外線集光部１５を有する封止基板４と、赤外線検出素子２を真空封止する空間１２を素子基板１と封止基板４との間に形成するために挿入された支柱基板３とからなり、赤外線検出素子２を、赤外線を熱に変換する受光部５０と、受光部５０の温度上昇を検出するサーモパイルを備えつつ、受光部５０を離間して支持する梁５１とから構成した。更に、赤外線集光部１５を、封止基板４のＶ字溝１１の凹部側面に形成された４面のマイクロミラー５で形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来に使われる光電変換半導体素子をそのまま使用しながら感知されるイメージの分解能を向上させて、原価の上昇や性能の低下なしに分解能が向上するイメージセンサを提供する。
【解決手段】本発明は、分解能が向上するイメージセンサ及びこれを用いたイメージ感知方法に関し、より詳しくは、イメージを感知するための光電変換半導体素子の分解能を変化させないながらイメージの分解能を向上させる効果を有する分解能が向上するイメージセンサ及びこれを用いたイメージ感知方法に関する。本発明の分解能が向上するイメージセンサは、光電変換を通じてイメージを感知するもので、平面上で移動可能なスキャナ部と、その上に固定されて装着され、全面に配列された多数の画素を有する光電変換半導体素子と、その上に前記画素に対応して配列されたカラーフィルタアレイを含む。 （もっと読む）