【課題】スキャン歪や荷電粒子線のランディング角度のばらつきに起因する測長値器差を低減し、荷電粒子線の絶対的な傾斜角度を高精度に測定する。
【解決手段】試料面上に形成されたピラミッドパターン９０のＳＥＭ画像の撮像する際に、スキャン方向及び／又は試料５の搭載向きを、正および逆向きに変えた像を取得し、それぞれの結果を画像間で平均化することにより荷電粒子線の傾斜角度を高精度に測定する。これによりスキャン歪の影響や荷電粒子線のランディング角度のばらつきに起因する測長値器差を低減する。 （もっと読む）

【課題】
したがって、本発明の目的は、像への影響を低減する試料ホルダー先端部を提供することにある。
【解決手段】
【００７０】
本発明の試料ホルダー先端部は、試料と、前記試料を搭載する先端部とを有する試料ホルダー先端部であって、前記先端部の回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする。本発明の試料ホルダー先端部の製造方法は、試料を切りだす工程と、試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ、前記切りだした試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大気圧空間と減圧空間とを分離するための薄膜周辺部の構成最適化することによって、試料６を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第一の筐体７を排気する真空排気ポンプ４と、第一の筐体７内で、照射により得られる荷電粒子線を検出する検出器３と、少なくとも第一の筐体７若しくは第二の筐体８のいずれかの一部か、若しくは別体として構成され、第一の筐体７内と第二の筐体８内との間の少なくとも一部を隔てる薄膜１３と、薄膜１３に設けられ、荷電粒子照射部側の開口面積が試料６側の開口面積よりも大きい開口部１０ａと、開口部１０ａの試料６側を覆い、一次荷電粒子線及び荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜１３と、を備える荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を３６０度自在に回転させることができる透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供する。また、試料表面への霜の付着を抑制する試料冷却ホルダーを提供する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒槽と、冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒とを有する。また、この試料冷却ホルダーは、熱伝導棒を内部に収容するパイプ部を備え、熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料ホルダーが有する固有振動を少しでも緩和するゴニオステージを提供することにある。
【解決手段】
本発明のゴニオステージは、試料ホルダーの固有振動を低減するための制振手段を有することを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記制振手段が、コレット機構によるものであることを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記コレット機構が、前記試料ホルダーの軸重心位置で前記試料ホルダーをクランプすることを特徴とする。また、本発明の電子顕微鏡は、本発明のゴニオステージを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の自由度を備える試料ステージにおける試料の交換を簡単な手順で迅速に行う。
【解決手段】試料設置装置は、試料室１７内に配置され、電子ビームの照射対象となる試料が載置される試料ステージ４０と、試料室１７に取り付けられ試料室の壁面に形成されたポート２１から試料ステージ４０に向け外部から試料を移送する試料移送装置８０と、を備えている。試料ステージ４０及び試料移送装置８０は、一体となってＹ方向への移動及び傾斜駆動される共に、試料ステージ４０は、Ｘ方向、Ｚ方向への移動及び水平回転駆動され、試料の設置、交換に際して、位置合わせを簡単にした。 （もっと読む）

【課題】
ホルダー本体の略長手方向の軸周りに回転可能な機構を有する試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台とからなる試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの内部において、顕微鏡の試料駆動装置とは無関係に、前記試料固定台を前記試料ホルダー本体の略長手方向の軸周りに360度回転可能とする回転機構を有することを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、さらに、前記ホルダー本体の略長手方向に直交する軸周りに回転可能な軸傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つのコラムを用いて、試料の加工や解析、検査をする際の焦点調整を容易化する。
【解決手段】第１粒子ビームコラム２と第２粒子ビームカラム３とを有する粒子ビーム装置１に於いて、試料キャリア２４は、第１ビーム軸２１との間に第２角度Ｗ２を、また、第２ビーム軸２２との間に第３角度Ｗ３を成す回転軸２５を有し、それぞれのカラムに対応した第１位置と第２位置の間で回転可能である。第１ビーム軸２１と第２ビーム軸２２は一致点２３で公差し、試料表面が第１位置にあるとき、一致点２３と第１粒子ビームコラム２との距離は、試料表面と第１粒子ビームコラム２との距離より大きく、又、試料表面が第２位置にあるとき、一致点２３と第２粒子ビームコラム３との距離は、試料表面と第２粒子ビームコラム３との距離よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】簡単で直感的な操作で試料を所望の姿勢及び位置に移動する。
【解決手段】走査電子顕微鏡１０の多軸ステージ４０を水平回転、傾斜、水平移動させるに際して、二次電子検出器２０の信号から得られるＳＥＭ像から指定用画像を作成して画像表示装置６１に表示しつつ、マウス６２で指定用画像を回転、傾斜、水平移動させる操作を行う。座標生成手段５２は現在の多軸ステージ４０の座標を操作後の指定用画像に基づいて変換し、多軸ステージ駆動制御手段５３は変換後の座標により多軸ステージ４０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダの排気方法及び装置に関し、大気暴露を確実に防止したままで鏡筒に試料を挿入することができる試料ホルダの排気方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を顕微鏡の鏡筒に挿入する試料ホルダシステムにおいて、真空排気シーケンスを制御するための排気制御手段を設け、該排気制御手段により前記気密室の気圧が一定の状態で、ゴニオメータ内を真空引きしてその内部が所定の低真空状態になるまで排気し、その内部が所定の低真空状態になったら、前記排気制御手段により前記気密室の仕切り弁を開いて気密室を前記低真空状態にし、その後、前記排気制御手段により前記ゴニオメータ及び気密室を高真空状態にし、その後、試料をゴニオメータの先端部まで移送して鏡筒に試料ホルダを挿入するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ユーザーの負担を軽減し、標識を用いることによって生じていた、強いコントラストのアーティファクトや試料の汚染，適用試料の制約を排除した多軸再構成手法を実現可能とする画像再構成システムを提供する。
【解決手段】試料を異なる試料傾斜軸で傾斜させて撮影した複数の傾斜画像を得、回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、回転された観察対象物を異なる角度ステップで傾斜して撮像し、それぞれの傾斜画像群からそれぞれ作成した２つの再構成画像の位置ずれを補正した２つの再構成画像を作成し、該２つの再構成画像を重ね合わせてひとつの再構成画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】断面試料作製時に、ボイド、異種物質由来の凹凸の発生を抑え、観察／分析に好適な試料断面を作製する。
【解決手段】イオンビーム２の光軸（Ｚ軸）に対し試料３をチルト振動させて、試料３の加工面３ａが傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に向いた面状態と、その面状態から加工面３ａの試料台側部分が加工面３ａのマスク側部分よりも傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に突出したチルト面状態との間での、試料３の加工面３ａの傾斜及び傾斜回復を繰り返すことにより、加工面３ａにイオンビーム２が低角度照射し、ボイド６１、異種物質６２由来の凹凸６３を抑える。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーを提供すること。
【解決手段】本発明は単一の試片または複雑な内部構造を分析するために３方向以上から高い精度の観察が行えるホルダーに係り、試片を支持するクラドルが回転できるだけではなく、前後および左右に移動できるようにして試片の方向を自由に変更して試片を一層正確に３次元的に分析できるようにした透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーに関する。 （もっと読む）

【課題】
試料へのダメージが少なく加工効率に優れたイオンミリング装置、更には平面加工および断面加工にも柔軟に対応できる処理能力の高い装置を提供する。
【解決手段】
個別に制御可能な複数のイオン銃3を一つ試料室5に設け、このイオン銃3に対応して複数の試料1を試料ステージ8に設置する。複数のイオン銃3および試料ステージ8は制御装置９によって個別に制御可能であり、複数のイオン銃3を同時に作動させ、試料ステージ8をスイング又は傾斜・回転するすることで、複数の試料を同時に平面加工もしくは断面加工する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡法（ＴＥＭ）研究に適した材料試料（ＴＥＭ「薄片」）、特にＨＲＴＥＭ薄片（ＨＲ＝高分解能）、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置。
【解決手段】ＴＥＭ薄片を製造するプロセスは、厚さを有する板状基板を支持体に取り付けるステップ（Ｓ１）と、第１ストリップ状凹部を基板の第１面に、支持体に対して第１角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ３）と、第２ストリップ状凹部を基板の第２面に、支持体に対して第２角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ５）であって、第１ストリップ状凹部第２ストリップ状凹部が、薄肉の重なり領域を形成するようにする。薄片は、厚肉のリム領域及び薄肉の中央領域を有し、第１ストリップ状凹部を薄片の第１の平坦面に、第２ストリップ状凹部を薄片の第２平坦面に有し、第１凹部及び第２凹部は、相互に鋭角又は直角を形成する。 （もっと読む）

【課題】イオンミリング装置において、高い熱伝導性と耐久性とを兼ね揃えた冷却装置を実現する。
【解決手段】
真空外の冷却源と真空内の試料および試料台とを接続する熱伝達手段として、樹脂チューブの内部に、イオン液体を充填した金属製の編み線が設置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室２１を構成する胴部２４の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部２７と、胴部２４を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部２７は、胴部２４の開口端を閉塞する閉塞板２８と、閉塞板２８を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板２８の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム２９上で閉塞板２８を回転自在に支承する蓋回転軸１４２と、閉塞板２８が開放位置にあるとき、閉塞板２８の回転軸が胴部２４の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板２８の姿勢を保持すると共に、閉塞板２８が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸１４２を保持する保持機構１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】試料台を任意の方向に大きな角度でも容易にユーセントリックに傾斜させる。
【解決手段】電子顕微鏡１００は、その試料ステージ１として、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に自在に移動可能な基体ステージ１０、基体ステージ１０上に回転自在に配設される回転ステージ２０、回転ステージ２０上にＸ，Ｙ方向に自在に移動可能に配設される球体駆動ステージ３０、試料台４２がその表面上方にその表面に平行に取付けられた試料傾斜駆動球体４０などを備える。制御装置７０は、試料台４２を傾斜させる方向角と傾斜角と試料傾斜駆動球体４０の半径とに基づき、球体駆動ステージ３０のＸ，Ｙ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ球体駆動ステージ３０を移動させ、さらに、試料台４２の傾斜に伴い試料８０の観察対象領域が移動するＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ、その移動方向とは反対方向に、基体ステージ１０を移動させる。 （もっと読む）