【課題】従来の冷却技術の欠点を解消する。
【解決手段】サンプル１の冷却に適した超急速冷凍装置１００は、基板チップ１０と、少なくとも一のサンプル担持体２０と、を備える。基板チップ１０は、サンプル１の冷却に適している。少なくとも一のサンプル担持体２０は、サンプル１の収容に適していると共に少なくとも一の加熱可能支持体２１を備える。少なくとも一のサンプル担持体２０は、基板チップ１０に少なくとも一の加熱可能支持体２１を通じて取り付けられている。好ましくは、少なくとも一のサンプル担持体２０は、懸架状態で基板チップ１０に取り付けられている。さらに、サンプル１を超急速冷凍する方法が記載される。少なくとも一のサンプル担持体２０を、基板チップ１０に対して温度勾配が形成される加熱状態と、基板チップ１０に対して熱平衡が形成される冷却状態との間で切り替え可能である。 （もっと読む）

【課題】電子線照射による温度上昇に起因したレジストパターンの変形、変質等を防止し、且つ高い精度でパターンの欠陥の検査を行うこと。
【解決手段】検査モジュールの真空容器に冷却モジュールの真空容器を気密に接続し、冷却用の真空容器内に基板の載置台が設けられた冷却モジュールにおいて、載置台の表面と基板との間に熱伝達用のガスを供給する手段と、前記載置台を冷却する冷却手段とを備え、基板搬送手段によって前記検査用の真空容器と冷却用の真空容器との間で基板を搬送するようにし、前記検査モジュールにて電子線の照射により加熱された基板を前記冷却モジュールの載置台に搬送し、この載置台で冷却された基板を、レジストパターンの検査の続きを行うために前記検査モジュール内に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、TEM鏡筒及び高分解能走査型光学顕微鏡(10)を用いて試料(1)を観察する装置に関する。
【解決手段】 TEM鏡筒で試料を観察するときの試料位置は、光学顕微鏡で試料を観察するときの位置と異なる。後者の場合、試料は、光学顕微鏡の方向を向くように傾けられる。好適には単色光で走査型光学顕微鏡を用いることによって、試料位置を向いている光学顕微鏡のレンズ素子(11)は、（磁気）粒子光学対物レンズ(7)の磁極面8Aと磁極面8Bの間に位置できるほど十分に小さくすることができる。このことは、光学顕微鏡で従来用いられてきた、大きな直径を示す対物レンズ系とは対照的である。さらに光学顕微鏡又は少なくとも試料に近接する部品(11)は、TEMモードでの画像化を行うときには、空間を解放するように引っ込めることができる。 （もっと読む）

小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。
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【課題】従来技術の問題に対する解決をもたらす。
【解決手段】本発明は粒子−光学装置のための熱スイッチに関する。例えば、低温ＴＥＭ（透視型電子顕微鏡）において、試料ホルダ７の末端２０に配置される試料３４が、例えば、液体窒素の温度に維持され得る。例えば、顕微鏡を低温から室温に全体的に加熱することなしに、簡単な方法において室温で試料を検査し得る必要がある。熱スイッチ４０を使用することによって、これは可能になる。このために、熱スイッチは、装置内の冷源２２と試料ホルダ７の末端２０との間の熱経路変更し、それによって、１つの位置、位置４６ａにおいて、末端２０から冷源２２への接続が行われ、他の位置、位置４６ｂにおいて、室温に維持される装置の一部４４に接続が行われる。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】 排気されるヘリウムガスを用いて、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の熱のシールド効果をさらに向上させる試料冷却装置を実現する。
【解決手段】 試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０を内包する様に、液体窒素温度の第１の熱シールド３０との間に、第２の熱シールド６２を配設し、試料保持冷却部４０で気化されたヘリウムガスを貯蔵するヘリウムガスタンク７０と第２の熱シールド６２を熱的に接続することとしているので、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の外部との熱シールドを、より完全なものとし、ひいては液体ヘリウムの消費量を削減し、ランニングコストを低減することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】 １系統のキャピラリで２種類の寒剤に適応する電子顕微鏡用クライオステージを実現する。
【解決手段】 電子顕微鏡用クライオステージは、試料保持部（３０５）と、試料保持部を取り巻く寒剤溜（３０３）と、寒剤溜より高い位置に設けられ、２種類の寒剤のいずれかを収容する寒剤タンク（２２０）と、２種類の寒剤のうち粘性の高い方に適合した内径および長さを有し、寒剤タンクと寒剤溜を接続するキャピラリ（４００）と、キャピラリの寒剤タンク側の端部に設けられ開度が調節可能な弁（６００）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】加熱により劣化・損傷が生じ易い樹脂等の有機材料からなる試料を電子線照射型分析／観察装置を用いて分析、観察等を行なう際に、この試料に照射電子線による加熱に起因する劣化・損傷等を減少させ、しかも、試料の位置や方向等の自由度を低下させることなく、分析や観察を行うことができる試料冷却装置及びそれを備えた電子線照射型分析／観察装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料ステージ１は、ステージ２と、このステージ２の表面２ａに設けられたペルチェ素子３と、ステージ２の表面２ａにペルチェ素子３を挟んで設けられた一対の固定アーム４、４とにより構成され、ペルチェ素子３の試料５の側をこの試料５を冷却する冷却面とすると共に、ステージ２の側を発熱面とし、この発熱面から発生する熱をステージ２を介して逃がす。 （もっと読む）

【課題】 本発明は上記状況に鑑み、試料を迅速に冷却することができ、熱ドリフトを軽減して加工精度を向上させることが可能な集束荷電粒子ビームを用いた加工装置の提供。
【解決手段】 集束荷電粒子ビームにより観察・加工される試料を微小化し、微小試料のみを局所的に冷却する。あるいは、熱ドリフトを緩和可能な構造を有する試料載置部を使用する。 （もっと読む）

【課題】 試料を極低温に冷却した状態で前記試料を高傾斜角度に調節できるようにすること。
【解決手段】 荷電粒子線の光軸と同軸のステージ装着孔１９ｂと、上部外周部に設けられた液体ヘリウム充填ポッド１９ａとを有する冷却筒１９と、ステージ装着孔１９ｂの下部に回転可能に支持されたステージ回転軸５３と、ステージ回転軸５３の回転に伴って回転する試料ホルダＨが着脱可能に装着されるホルダ装着部材ＨＳとを備えた試料ステージＳＴと、ステージ回転軸５３に連結されるホルダ傾斜軸３５と、ホルダ傾斜軸３５をその軸回りに回転させるステージ傾斜用回転部材ＫＳと、ステージ回転軸５３が通過する位置に形成された回転軸通過溝２６ａが形成された前記低温シールド２６と、回転軸通過溝２６ａの外側を被覆する可動シールド２７とを備えたトップエントリ式試料ステージ傾斜装置Ｔ。 （もっと読む）

【課題】
描画動作に応じた発熱量変化があっても、試料室の中に磁場変化を生じることなく、試料、ステージ構造部材、試料室構造部材の温度変化を低減すること。
【解決手段】
ステージの台座部分の設定温度、試料室の天井部の設定温度、ロードロック室内部の設定温度、との関係条件を、あらかじめ定められた計算式にて決める。また、ステージの台座部分の温度を、描画状態と停止状態にて変化させる。また、ステージの温度を検出し、検出温度および検出時刻以降の描画動作条件に基づいて計算し、ステージの台座部分の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 液体窒素中の試料ホルダの有無を、試料にダメージを与えないように検出すること。
【解決手段】 冷媒が収容された冷媒収容部（４１ａ）を有するホルダ冷却容器（４１）と、前記冷媒中に配置されたホルダ下端支持面（４６ａ）と、前記冷媒の液面の上方に延びる遮光部（４６ｆ）とを有し、前記ホルダ下端支持面（４６ａ）に試料ホルダ（Ｈ）が支持されていない状態では第１回動位置に回動し、前記ホルダ下端支持面（４６ａ）に試料ホルダ（Ｈ）が支持された状態では第２回動位置に回動する回動部材（４６）と、前記第１回動位置または第２回動位置のいずれか一方の位置に回動したときに、試料ホルダ検出部材（４７）により前記遮光部（４６ｆ）の位置が検出される前記回動部材（４６）とを有する試料ホルダ冷却部材（ＳＫ）。 （もっと読む）

【課題】温度勾配や局所加圧による変位等の状態変化や組織変化が試料に生じている様子を観察する。
【解決手段】プローブ１と、プローブ１を移動させてその先端を試料２の顕微鏡視野内の部位又はその周辺あるいはこれらの裏面に接触させる駆動機構３を備えている。駆動機構３は、プローブ１を支持し且つ温度変化によって変形する支持部材４と、支持部材４を冷却又は加熱して変形させプローブ１を試料２に接触させる熱源５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 冷却した試料の交換操作時に、極低温に冷却された試料ステージ支持部の破損を防止できる試料交換機構の提供を目的とする。
【解決手段】 オペレータが試料交換の時に操作する搬送用グリップ12と試料搬送機構８と一体で動くブロック13の間を、ばね15と一方向のみに移動可能なスライダで連結する。試料ホルダ４が試料ステージ２に接触後、ばねが伸び始め、試料ホルダ４と試料ステージ２の接触面は、ばね15による密着圧力が働く。適切なばね定数を持つばね15を選択し、断熱材の最大許容付加圧力の範囲内でストッパ10がストッパ受け部11に当接するように設定すれば、断熱材３の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 試料の断面構造を観察・解析する場合、試料の温度を調整した状態で断面を加工する。
【解決手段】 試料室内で試料の断面を評価する装置であって、該試料を載置する試料ステージと、該試料の温度を調整するための温度調整手段と、該試料の断面加工、及び観察を行うため該試料に対してイオンビームを照射するイオンビーム発生手段と、前記イオンビームの試料観察の照射に応じて前記試料から放出される放出信号を検出する検出手段とを備えている。前記温度調整手段により前記試料を予め設定された温度に調整した状態で、前記イオンビーム発生手段によるイオンビームの照射、及び前記検出手段による放出信号の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の加工時の変形・変質を十分に抑制できる試料保持用プローブ及び試料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の試料保持用プローブは、試料を保持する試料保持部を有するプローブ本体と、該プローブ本体を冷却する冷却部とを備える。 （もっと読む）

イオン衝突を利用した顕微鏡検査または表面研究用の試料のミリング処理装置を開示する。この装置は高低両エネルギー・イオン源を使用することによって試料表面をそれぞれ粗及び微修正することができる。イオン源から発生する衝突ビーム内の試料位置を正確に制御することによって、ビームに対して試料を傾倒及び回転させることができる。この位置制御によって、プログラム制御下に且つ定常な真空条件下に、試料を異なるイオン源の間で移動させることができる。また、装置への試料の導入及び装置からの試料取出しの際に真空度を低下させず、しかも試料を周囲温度に戻すことを可能にするロード・ロック機構を設ける。ミリング処理のすべての動作段階において試料を観察及び撮像することができる。
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【課題】電子顕微鏡に試料冷却ホルダーを一度取り付けれるだけで電子顕微鏡の試料台の位置決めを可能にする試料冷却ホルダーを提供する。
【解決手段】寒剤容器１から熱交換器５に寒剤１aを供給する第１の冷却配管４a及び熱交換器5で熱交換された寒剤１aを回収する第２の冷却配管４bにそれぞれ設けたベローズ６の作用によって、試料台８が設けられている熱交換器５及び熱交換器５を支持する支持材１２を、ピボット１５が取り付けられたガード１３の内面に常に押し付ける。これにより、電子顕微鏡に試料冷却ホルダーを一度取り付けれるだけで電子顕微鏡の試料台の位置決めが可能になる。 （もっと読む）