【課題】ＨＲイメージを得られる設定に十分なレベルに、ＳＴＥＭを常に、好ましくは自動的に調節する方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、結晶サンプルを用いて、ＳＴＥＭのＣｓ補正器を調節する方法に関する。この方法は、スルーフォーカス法によるシリーズを記録し、求めが画像をフーリエ空間に変換し、回折画像のような一組の画像を形成するステップを有する。フーリエ画像の対称性を決定することにより、補正器をチューニングして対称性を良くできる。中心からのスポットの最大距離を決定することにより、伝達限界を決定できる。これらのステップを繰り返し実行することにより、補正器を最適性能までチューニングできる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、収差の測定と補正は自動化されていたが、複数の収差を一度に補正することに関して、どのような補正を行うべきかの判断は自動化されていなかった。
【解決手段】荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系と前記収差補正器の各構成要素を制御する制御手段とを備えた荷電粒子線装置において、最適な調整手順を学習により獲得する自動収差補正装置を備える。自動収差補正装置は、収差補正を複数同時に実施可能な、最適な調整手順を強化学習により獲得する。 （もっと読む）

【課題】 残留収差を発生させることなく、色収差と球面収差を補正することができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８が接続系２９を介して直列に接続されている（タンデム式）。つまり、色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８は独立して構成されており、色収差と球面収差は別々に補正される。 （もっと読む）

【課題】本発明では、（ａ）走査（透過）電子顕微鏡において、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とすること、（ｂ）走査（透過）電子顕微鏡において、試料中の原子の３次元構造と材料の特定を可能とすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とするために、球面収差係数が小さい電子レンズシステムを有し、照射角の変更が可能な絞り、電子線プローブのプローブサイズおよび照射角度を変更することが可能な照射電子レンズ系、二次電子検出器、透過電子検出器、前方散乱電子線検出器、フォーカス可変装置、画像のコントラストを識別する画像演算装置、画像鮮鋭度を演算する画像演算装置、画像の３次元構築を行う演算装置、二次電子信号と試料前方散乱電子信号を混合するミキサー、を有する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度で簡単に組み上がる荷電粒子線装置に用いる収差補正器や偏向器用の多極子を実現する。
【解決手段】軟磁性金属若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成される複数の極子７を、荷電粒子が通過しうる貫通孔を有する絶縁性の円筒形ハウジング９の内側に設けた光軸０方向に平行な溝１０に嵌め込んで固定して多極子を形成する。これにより１０マイクロメートル以内、角度数秒以内の高精度で、短時間で再現性のよい多極子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡に適し、電気エネルギー供給における変動に感度を有しない補正器を提供する。
【解決手段】本発明は、６つの多極子（１、２、３，４、５、６）を有する、電子顕微鏡における色収差および開口収差を補正するための補正器（９）に関し、該６つの多極子（１、２、３，４、５、６）は、４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）および８極子場の生成のために、光学経路（７）に順に、対称平面（８）に関して対称に配置されており、全６つの多極子（１、２、３，４、５、６）の４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）は順に、互いに対して９０°回転されており、軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の鏡面対象の交換対称性を形成する。 （もっと読む）

【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の無収差中間像（９）が１番目の４極子要素（１）の４極子場（１’）に形成され、当該４極子場（１’）は、軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の非点中間像（１２、１３）が３番目の多極子要素（３）および４番目の多極子要素（４）の両４極子場（３’、４’）の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、２番目の４極子要素（２）の４極子場（２’）の設定により、両軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の中間像（１２、１３）が位置するのと同じ面（ｘ、ｙ）の両軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）がそれぞれ最大を示す。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー幅の小さい電子ビームを造り、球面収差補正電子顕微鏡の分解能を更に向上させる。
【解決手段】 電子銃２と観察用試料１１との間に電子線用プリズム３と分散角増幅用レンズ６とアパーチャ８とを設け、該プリズムによって電子線軌道のエネルギー分散を発生させ、分散角増幅用レンズによって分散角を増幅し、その後ろに設けたアパーチャを通り抜ける電子線のみを使って観察用試料の顕微鏡像を作成する。 （もっと読む）

【課題】設計が容易で、且つ、六回非点収差も補正可能な荷電粒子線装置の球面収差補正装置及び球面収差補正方法を提供する。
【解決手段】相互に生じる三回非点収差が相殺される第１の一対の三回対称場を発生する第1の一対の多極子と、相互に生じる三回非点収差が相殺される第２の一対の三回対称場を発生する第２の一対の多極子とを配置する。第１の一対の多極子と第２の一対の多極子は、それぞれ、光軸を中心軸として相互に３０°回転した六回非点収差を発生する。 （もっと読む）

透過型電子顕微鏡は、電子ビームを生成する電子ビーム源(20)を有する。前記電子ビームを収束させるようにビーム光学系が供されている。収差補正装置(90)は、少なくとも球面収差について前記電子ビームを補正する。前記電子ビームのビーム路中に試料(40)を保持する試料ホルダが供される。検出器(80)は、前記試料を透過する前記電子ビームを検出するのに用いられる。当該透過型電子顕微鏡は、前記電子ビームのゼロ次ビームが検出されない暗視野モードで動作する。当該透過型電子顕微鏡はまた、インコヒーレントな照射モードで動作することもできる。
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【課題】５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供する。
【解決手段】電子光学系と、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、情報処理装置とを備え、前記情報処理装置は、前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の補正条件を判定する。 （もっと読む）

【課題】 電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、電子の加速電圧を変化させることなく、一枚の高分解能電子顕微鏡像を取得するだけで簡便に且つ精度良く色収差係数を測定する。
【解決手段】 球面収差補正された電磁レンズを通過した収束電子線を結晶構造及び格子定数が既知の単結晶試料に入射して、分解能が０．３ｎｍ以下の高分解能走査透過電子顕微鏡像を取得する際に連続的に前記電磁レンズの焦点ずれ量を変化させた顕微鏡像を実測により取得し、前記顕微鏡像を走査方向に平均化した強度プロファイルから回帰曲線を求め、前記顕微鏡像と同じ条件で理論計算で求めた理論顕微鏡像の計算結果から得られる色収差係数と前記回帰曲線のパラメータを比較することによって、前記電磁レンズの色収差係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線に対して球面収差と色収差を同時補正する収差補正装置を提供する。
【解決手段】光軸１１に沿って厚みを有し、三回対称の静電場又は静磁場とそれに重畳する二回又は三回対称の静電磁場とを発生する多極子１２、１３を二段設け、該二段の多極子のそれぞれにおいて、所定の加速電圧の電子線１７に対する磁気的偏向力及び電気的偏向力をおおむね相殺するように静電磁場を設定して色収差を補正し、かつ、同多極子１２、１３が生じる三回対称の静電場又は静磁場で球面収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】電子線装置において、基板上に粒子を堆積した標準試料を用いて収差補正を行う際に、高精度な観察及び分析を可能とし、より精度の高い収差補正を容易且つ正確に行う。
【解決手段】ＳＴＥＭ装置の収差補正に際して、Ｓｉからなる単結晶基板１０１上にＡｕパーティクル１０２が堆積されてなる標準基板を用い、電子線回折像及び菊池パターンに基づいて、標準基板の傾斜を調節する。この状態で電子線を合焦し、Ａｕパーティクル１０２の形状を算出して、Ａｕパーティクル１０２の円形近似との差異を解析し、この解析結果を踏まえて収差補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により球面収差と六回非点収差を補正する荷電粒子線装置用の収差補正装置を提供する。
【解決手段】各極３１ａ〜３１ｌに励磁コイル３２ａ〜３２ｌを設置した二段の十二極子１２、１３を設ける。各極３１ａ〜３１ｌを順次１乃至１２番目の極、並びにｎ＝０、１、２として、（４ｎ＋１）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋２）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。（４ｎ＋３）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋４）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。これにより、光軸１１の周りに回転可能な三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生する。 （もっと読む）

【課題】収差補正器の機械的構造が予め決っていたとしてもコマフリー面転写部の設計の自由度を保証し、補正器外部との柔軟な調整マージンを有する収差補正器を提供する。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明による収差補正器は、試料面（対物レンズ物面）から発する電子線軌道を、多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８）に平行入射させ、対物レンズコマフリー面又は５次収差最小面（対物レンズの中心）から発する電子線軌道を、４ｆシステムの多極子レンズ中心面に結像させるようにしている。これにより、４ｆシステムで球面収補正を行うよう２つの多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８、ＨＥＸ２＿１９）間で反対称な転写を行い、コマ収差又は５次収差の発生を抑制するためのコマフリー又は５次収差最小面の転写を行っている。 （もっと読む）

【課題】長焦点用収差補正機能と短焦点用収差補正機能の両方の機能を実現できる収差補正の構成を提供する。
【解決手段】２つの多極子レンズの間に２つの回転対称レンズを配置するという従来の収差補正装置の構成を有しつつ、対物レンズと多極子レンズの間には従来２つの回転対称レンズを配置していたものを３つの回転対称レンズを配置する。対物レンズの焦点距離が長い状態で使用する場合は対物レンズと多極子レンズの間に配置した３つの回転対称レンズのうち、２つを使用することで収差を補正する。また、高分解能観察など、対物レンズの焦点距離が短い状態で使用する場合には対物レンズと多極子レンズの間の３つの回転対称レンズのうち、長焦点の場合とは異なる組み合わせの２つの回転対称レンズを使用することで収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】当該発明は、像の質を改善するための補正器（３３０）及びコントラストを改善するための位相板（３４０）を備えたＴＥＭに関係する。
【解決手段】改善されたＴＥＭは、対物系のレンズ及び位相板の間に完全に置かれた補正系を具備すると共に、位相板における回折平面の拡大された像を形成するために補正器のレンズを使用する。 （もっと読む）