【課題】近年、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置はユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難である。このため初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習手段を設ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とＸ方向非点補正器とＹ方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とＸ方向非点補正条件とＹ方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子銃あるいは試料から放出あるいは反射されたスピン偏極した電子線を任意の方向に回転させるスピン偏極装置に関し、簡略な構造にして照射系全体をコンパクトにすることを目的とする。
【構成】電子銃から放出、あるいは試料から放出または反射されたスピン偏極した電子線をフォーカスさせる第１のコンデンサレンズと、第１のコンデンサレンズで電子線がフォーカスされた点がレンズ中心であって、かつ電場および磁場を発生可能な多極子を有するスピン回転器と、スピン回転器を構成する多極子に、指定された角度だけ電子線のスピンを回転させかつ電子線を直進させるウィーン条件を満たす電圧および電流を印加するウィーン条件発生手段と、スピン回転器でスピンの回転された電子線をフォーカスする第２のコンデンサレンズとを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で簡単に組み上がる荷電粒子線装置に用いる収差補正器や偏向器用の多極子を実現する。
【解決手段】軟磁性金属若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成される複数の極子７を、荷電粒子が通過しうる貫通孔を有する絶縁性の円筒形ハウジング９の内側に設けた光軸０方向に平行な溝１０に嵌め込んで固定して多極子を形成する。これにより１０マイクロメートル以内、角度数秒以内の高精度で、短時間で再現性のよい多極子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 静電型の荷電粒子線レンズは、開口形状の対称性に対する非点収差が敏感であり低収差とするための課題であった。
【解決手段】 荷電粒子線レンズは光軸方向を法線とする第１の面と、該第１の面とは反対側の第２の面とを有する平板を含み、前記第１の面から前記第２の面に貫通する貫通孔を有する電極を有し、前記貫通孔の前記法線に垂直な面での開口面を開口断面とし、前記開口断面の回帰分析により得られた円の直径を代表直径とするとき、前記第１の面側である第１の領域における前記開口断面の代表直径と、前記第２の面側である第２の領域における前記開口断面の代表直径と、が前記第１の面と前記第２の面とで挟まれた前記電極の内部の領域である第３の領域における前記開口断面の代表直径よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】 静電型の荷電粒子線レンズは、開口形状の対称性に対する非点収差が敏感であり、製造工程で破損しやすい。
【解決手段】 静電型の荷電粒子線レンズであって、前記荷電粒子線レンズは光軸方向を法線とする第１の面と、該第１の面とは反対側の第２の面とを有する平板を含み、かつ、前記第１の面から前記第２の面に貫通する貫通孔を有する電極を有し、前記貫通孔の前記法線に垂直な面での開口面を開口断面とし、前記開口断面の回帰分析により得られた円の直径を代表直径とするとき、前記第１の面側である第１の領域における前記開口断面の代表直径と、
前記第２の面側である第２の領域における前記開口断面の代表直径と、が各々、前記第１の面と前記第２の面とで挟まれた前記電極の内部の領域である第３の領域における前記開口断面の代表直径よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、
収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビ
ーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッテ
ィングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡に関し、複数の近接した電子ビームを使って同時並列に画像を得るが、その際に、それぞれの電子ビーム走査によって発生する２次電子を分離して検出することを目的とする。
【構成】試料を搭載して平面内で試料を移動可能な移動機構と、複数の１次電子ビームをそれぞれ細く絞って移動機構に搭載した試料上にそれぞれ独立に照射する複数の微小対物レンズと、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれ１次電子ビームを移動機構に搭載した試料上で走査するように偏向するそれぞれの偏向器と、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれの試料から放出された２次電子が微小対物レンズの磁場で軸上に収束されて１次電子ビームの試料上への照射方向と逆の軸上の方向に設けた、それぞれ独立に２次電子を検出・増倍するそれぞれの検出器とを備える。 （もっと読む）

【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の無収差中間像（９）が１番目の４極子要素（１）の４極子場（１’）に形成され、当該４極子場（１’）は、軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の非点中間像（１２、１３）が３番目の多極子要素（３）および４番目の多極子要素（４）の両４極子場（３’、４’）の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、２番目の４極子要素（２）の４極子場（２’）の設定により、両軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の中間像（１２、１３）が位置するのと同じ面（ｘ、ｙ）の両軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）がそれぞれ最大を示す。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線の状態が変化しても、容易に光軸の調整を可能とする荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法を提供する。
【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、前記光学素子の条件を変化させた際に得られる２つの画像のパターンの重心を検出する手段と、前記２つのパターンの重心のずれを検出する手段と、前記２つのパターンの重心のずれに基づいて、前記アライメント偏向器の偏向量を算出する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、一体化されたエネルギーフィルタを備える荷電粒子フィルタに関する。
【解決手段】 使用されている大抵のフィルタは、曲率の大きな光軸を有するので、作製の困難な形状の部品を用いるが、本発明による荷電粒子源は、まっすぐな光軸を取り囲む電極を使用する。驚くべきことに、本願発明者は、電極の一部（114、116、120、122）が120°/60°/120°/60°で構成されているとすると、エネルギー選択スリット108にて相当なエネルギー分散を示す、光軸104からかなり離れた荷電粒子ビーム106aを、補正不可能なコマ収差又は非点収差を導入することなく、偏向させることが十分可能であることを発見した。前記電極は、セラミックスの接着又は真鍮により、互いに取り付けられて良い。かなり同心円のボアの列が、たとえば電界放電によって形成されて良い。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置の非点収差補正方法及び該補正方法を用いた荷電粒子ビーム装置に関し、非点収差補正を確実に行なうことを特徴としている。
【解決手段】荷電粒子ビーム２を試料室１４内に配置された試料４に照射し、該試料４から照射により発生した２次的電子を検出してその画像を表示手段１０に表示するようにした荷電粒子ビーム装置において、前記試料４から発生した２次的電子を検出する電子検出手段７と、該電子検出手段７の出力を受けて画像の信号特性を評価し、その評価値が最大になるような非点収差補正値を算出する非点収差評価演算手段９と、該非点収差評価演算手段９の出力を受けて、この出力を平滑化する緩和フィルタ１２と、該緩和フィルタ１２の出力を受けて非点収差補正コイル６を駆動する非点収差補正コイル駆動手段１１と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡装置の所望の結像解像度を維持しながら、一度に形成される一次電子ビームスポットの数や、密度を高める。
【解決手段】荷電粒子源と、ビーム経路中に配置された多孔プレートとを備えた粒子光学装置である。前記多孔プレートは、所定の第１のアレイパターン状に形成された複数の開孔を有し、下流側で前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子小ビームが形成され、前記複数の小ビームにより、第２のアレイパターン状に配置された複数のビームスポットが前記粒子光学装置の像平面に形成される。前記粒子光学装置は、前記荷電粒子ビーム及び／又は前記複数の小ビームを操作するための粒子光学素子をさらに備える。前記第１のアレイパターンは、第１の方向に第１のパターン規則性を有し、前記第２のアレイパターンは、前記第１の方向に電子光学的に対応する第２の方向に第２のパターン規則性を有し、前記第１のパターン規則性よりも高い。 （もっと読む）

【課題】リフォーカス用の静電レンズの電極の配置誤差に起因する収差及び照射位置ずれを補正可能な電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子ビームを放射する電子銃と、電子ビームを試料面上へ結像させる投影レンズと、投影レンズの上方に設置され、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に対して光軸の回りに回転させて配置した静電多重極電極からなる寄生収差補正用レンズと、電子ビームの断面の面積に応じた電圧を、リフォーカスレンズを構成する電極及び寄生収差補正用レンズを構成する静電多重極電極に印加する制御手段とを備える。寄生収差補正用レンズを構成する多重極電極は、リフォーカスレンズを構成する電極に対し、隣接する２つの当該電極間の角度の１／２だけ光軸の周りに回転させた位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線装置において、左右の視差画像を上方向からだけでなく、斜め方向から取得する取得手段を提供することにある。また、立体観察方法を切り替えることのできる視差画像表示手段及び操作画面を提供することにある。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束する対物レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、前記検出器の信号粒子を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、前記一次荷電粒子線の試料への照射角を偏向する偏向器と、当該偏向器に電流を流す独立した第一及び第二の電源を備え、前記一次荷電粒子線の走査の一ライン単位又は一フレーム単位で、当該２つの電源から印加する電圧を切り替えるスイッチを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
複合型電磁界レンズにおいて投影レンズの収差を抑制する荷電粒子線描画装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線を投影する投影系を有し、投影された荷電粒子線で基板にパターンを描画する荷電粒子線描画装置であって、投影系は、磁場を発生する対称型磁気ダブレットレンズと、対称型磁気ダブレットレンズが発生する磁場の中に電場を発生する静電レンズとを備え、静電レンズは、物体面側に配置された第１円筒電極と、像面側に配置された第３円筒電極と、第１円筒電極と第３円筒電極との間に配置された第２円筒電極と、を含み、第１円筒電極および第３円筒電極には、基板の電位と同一の電位を与え、第２円筒電極には、対称型磁気ダブレットレンズの瞳面に入射する荷電粒子線を加速する電位を与え、第２円筒電極は、対称型磁気ダブレットレンズの光軸の方向に分割された２つの円筒電極を含む、ことを特徴とする荷電粒子線描画装置。 （もっと読む）

【課題】電子放出顕微分光装置の電子光学カラムの非点収差を補正するための方法を提供すること。
【解決手段】本方法は、・撮像されるべき対象とする構造を含む試料の表面上に参照構造（１００ｂ）を形成するステップと、・二次電子を用いておよび内殻準位光電子を用いて顕微分光装置によって参照構造を撮像するステップと、・二次電子を用いるおよび内殻準位光電子を用いる参照構造の撮像中に現れる非点収差欠陥を除去するステップとを含み、参照構造の材料は、内殻準位光電子撮像中に、参照構造の材料の平均強度Ｉａと試料の材料の平均強度Ｉｂとの間のコントラストＣが、


であるように選択される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線に対して球面収差と色収差を同時補正する収差補正装置を提供する。
【解決手段】光軸１１に沿って厚みを有し、三回対称の静電場又は静磁場とそれに重畳する二回又は三回対称の静電磁場とを発生する多極子１２、１３を二段設け、該二段の多極子のそれぞれにおいて、所定の加速電圧の電子線１７に対する磁気的偏向力及び電気的偏向力をおおむね相殺するように静電磁場を設定して色収差を補正し、かつ、同多極子１２、１３が生じる三回対称の静電場又は静磁場で球面収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により球面収差と六回非点収差を補正する荷電粒子線装置用の収差補正装置を提供する。
【解決手段】各極３１ａ〜３１ｌに励磁コイル３２ａ〜３２ｌを設置した二段の十二極子１２、１３を設ける。各極３１ａ〜３１ｌを順次１乃至１２番目の極、並びにｎ＝０、１、２として、（４ｎ＋１）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋２）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。（４ｎ＋３）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋４）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。これにより、光軸１１の周りに回転可能な三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生する。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッティングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。
【解決手段】光路（９）に連続的に配置された４つの多極子要素を備え、第１の多極子要素（１）および第４の多極子要素（４）は４極子フィールド（５，６）を作るために使用され、第２の（２）および第３の多極子要素（３）は８極子磁場フィールド（７，８）および４極子フィールドを作るために使用され、前記全４つの多極子要素の４極子フィールドは連続的に互いに９０°回転しており、
第２（２）および第３の多極子要素（３）は、１２極子フィールド（２５，２６）を使用して、１２極子要素として設計され、追加の１２極子要素（１３）が、第２の（２）と第３の多極子要素（３）との間に挿入され、かつ、追加の１２極子要素（１３）には、８極子フィールド（１４）が１２極子フィールド（１５）によって重畳される。 （もっと読む）