【課題】 高スループットで試料の評価を行い、フリンジの電磁場の問題が生じず、軸上色収差又は球面収差を補正して処理速度を向上させた電子線装置を提供すること。
【手段】 複数の一次電子線によって試料Ｓを走査し、試料Ｓから放出される複数の二次電子線を写像投影光学系Ｃを介して検出する電子線装置において、写像投影光学系Ｃは軸上色収差補正レンズ２０を備える。軸上色収差補正レンズ２０は写像投影光学系Ｃのレンズ１９の像面に配置され、４極子電極と４極子磁極とを有するウィーン・フィルタであることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面の電位分布を均一にし、撮像した画像のコントラストを向上させる。
【解決手段】電子銃から放出された電子ビームを対象に照射し、対象から放出された電子を検出器を用いて検出し、前記対象の画像情報の収集、対象の欠陥の検査等を行う撮像装置において、前記対象に帯電した電荷を均一化若しくは低減化する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は低加速電圧領域で空間分解能の高い走査像を得ることの出来る走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】
対物レンズ８の電子ビーム通路に加速円筒９を配置し、一次電子ビームの後段加速電圧１０を印加する。また、試料１２に重畳電圧１３を印加して加速円筒９と試料１２の間に一次電子ビームに対する減速電界を形成する。試料１２から発生された二次電子や反射電子等の二次信号２３は、試料直前の電界（減速電界）で加速円筒９内に吸引され、加速円筒９より上方に配置された二次電子検出器により検出される。 （もっと読む）

【課題】電子線装置のスループット向上、精度向上等の改善を目的とする。
【解決手段】本発明に係る電子線装置においては、電子線を放出する単一の電子銃と、コンデンサレンズと、複数の孔を設けた開口板と、Ｅ×Ｂ分離器と、対物レンズを有し、前記電子銃からの電子線を検査されるべき試料面上に照射する第一次光学系と、前記試料から放出され、前記対物レンズで加速され、かつ前記Ｅ×Ｂ分離器で前記第一次光学系から分離された二次電子を、二次電子検出装置に入射させる第二次光学系とを備え、前記コンデンサレンズを２段として前記電子銃に隣接して配置し、前記２段のコンデンサレンズの後方に前記開口板を配置し、電子線を前記開口板に照射して複数の電子ビームを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる電子ビーム制御方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 動作曲線は、総合レンズ倍率Ｍおよび開き角αの相関関係を規定する曲線である。したがって、このような動作曲線に基づいて各レンズの励起強度ＮＩ_cl，ＮＩ_irisを操作すれば、従来のように試料に照射されるときのビーム電流値や電子ビームの輝度を直接的に求めなくても、最適な開き角を実現することができる。その結果、試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる。 （もっと読む）

本発明は電子放出源及びレンズを含む超小型電子カラムに係り、より詳しくは電子放出源及びレンズの整列及び組立てがより容易に行える構造の超小型電子カラムに関するものである。
本発明による、電子放出源、ソースレンズ及びデフレクターを含む電子カラムは、前記ソースレンズが二つ以上のレンズ層でなってフォーカシングの役目を兼ねることを特徴とする。また、前記ソースレンズのレンズ層の一つ以上がデフレクター型レンズ層でなって、デフレクターの役目を兼ねることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像信号をデジタル処理する走査電子顕微鏡において、観察倍率に応じて最深の焦点深度と最良の分解能を得る。
【解決手段】複数の収束レンズ及び絞りの穴径を変化させることにより光学系の開き角を変化させる手段をもち、１画素に相当する視野範囲、いわゆる画素サイズに応じて電子ビーム開き角αを変化させる。 （もっと読む）

【課題】 スループットを大きくして細かいパターンの評価をすること。
【手段】 複数の一次ビームを試料Ｗに照射し、該試料から放出される複数の二次電子線をビーム分離器２０で一次ビームから分離し、拡大光学系５で複数の二次電子線間の距離を拡大して検出器２８に入射させる電子線装置において、複数の一次ビームの軸上色収差を補正する補正レンズ１６を備え、ビーム分離器２０が補正レンズ１６と試料Ｗとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】 静電レンズと試料との間の放電を防止し、かつ高い電圧を印加可能で、さらに、対物レンズの軸上色収差の絶対値と軸上色収差補正レンズの軸上色収差の絶対値とが等しくなるように調整可能なパラメータを持つ対物レンズを提供する。
【解決手段】 電子線装置であって、電子線の焦点を合わせて試料に照射する対物レンズを備え、対物レンズは、試料側に向うほど半径が小さくなる、少なくとも１つの円錐形状の電極と、軸対称電極とを有し、軸対称電極は、前記円錐形状の電極より試料側に配置されたほぼ接地の電極であり、試料面での電界強度を小さくする位置に配置され、さらに、負の軸上色収差を生じる多極子レンズと、電圧制御装置とを備え、電圧制御装置が軸対称電極の電圧を調整して、もしくは軸対称電極の電圧と少なくとも１つの円錐形状の電極の電圧との双方を調整して、対物レンズの軸上色収差の絶対値を多極子レンズの軸上色収差の絶対値と等しくする。 （もっと読む）

【課題】検出方式が改善された荷電粒子装置を提供すること。
【解決手段】この装置は、１次荷電粒子ビームを提供する荷電粒子源（１）と、電位を提供する第１のユニット（５）と、電位を提供する第２のユニット（７）と、第１ユニット（５）と第２ユニット（７）の間に位置決めされた中央ユニット（６）とを備える。この中央ユニットは、１次荷電粒子を第１の低エネルギーに減速し、この１次荷電粒子を第２の高エネルギーに加速するために第１および第２のユニットの電位と異なる電位を提供することができる。第１ユニット（５）および／または第２ユニット（７）は、試料（４）のところで放出される２次電子を検出する検出器である。 （もっと読む）

【課題】 空間電荷効果に起因する解像度の低下を防止すること
【手段】 矩形状の一次ビームを試料Ｗに照射し、試料Ｗから放出される二次電子を電子光学系５で検出面に拡大投影して検出する電子線装置は、電子光学系５に、二次電子を中空状のビームに変形するためのリング状開口１８１〜１８４を有する開口板１８を備える。これらリング状開口の幅は球面収差を無視し得るほど小さい。また、電子光学系５は、二次電子の軸上色収差を補正するための補正レンズ２２を備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差補正レンズにより発生される軸外収差を良好に補正する。
【解決手段】電子線の照射により試料１０から放出された２次電子は、ビーム分離器７で偏向され、収差補正静電偏向器１１により垂直方向に偏向され、補助レンズ１２の主面に拡大像を形成する。補助レンズ１２から発散した２次電子ビームは、軸上色収差補正レンズ１４〜１７を通り、拡大レンズ１９用の補助レンズ１８の主面に結像する。補助レンズ１２の主面に形成された拡大像は、光軸から離れた位置にも像が形成されるため、補助レンズ１２から発散された２次電子ビームをそのまま軸上色収差補正レンズ１４〜１７に入射すると、大きな軸外収差が生じる。それを解消するために、補助レンズ１２により、開口２４の像が軸上色収差補正レンズ１４〜１７の光軸方向のほぼ中央１８に形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 電子光学系１６と試料室１７の圧力比を所定値に保つ差動排気を行い、所定値以上のプローブ電流を満たし、低真空中で生ものや湿気を帯びた試料を観察する低真空ＳＥＭにおいて、十分な偏向領域Ｗを確保するとともに、ＳＥＭの分解能を向上する。
【解決手段】 低真空ＳＥＭは、電子光学系１６における電子ビーム２の対物絞り７と、試料室１７との圧力比Ｘを所定値に保つ差動排気用のオリフィスとを兼用した三段対物絞り１１を持つ。ここで、電子光学系１６における電子ビーム２の偏向支点１２を、三段対物絞り１１の中段１１２に設定する。これにより、試料台１４上の偏向領域Ｗを大きく確保するとともに、所望電流量を得て、低真空ＳＥＭの分解能を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】フレーム数／ｓｅｃの小さいエリアセンサを用いても高速の画像取得を可能にする。
【解決手段】評価領域を複数の副視野に分割し、１次電子線を副視野に順次照射し、副視野毎に試料面の情報を含んだ２次電子を検出手段により検出することにより、評価領域の情報を得る電子線装置において、検出手段２６は、エリアセンサＣＣＤ１〜ＣＣＤ１４と、エリアセンサの検出面に一端が結合されたオプティカルファイバ束２５と、オプティカルファイバ束の他端に塗布され、副視野の２次電子線が結像されるシンチレータが形成されたＦＯＰとからなる単位検出器２４−１を複数備える。電磁偏向器により、電子線を照射する副視野が移る毎に、該副視野からの２次電子線を偏向して、単位検出器のＦＯＰ面上を移動させる。各単位検出器から、他の単位検出器の露光中に画像情報を取り出すことができるので、高速画像取得ができる。 （もっと読む）

【課題】 試料に負電圧を印加するリターディング法により試料表面の観察を行う際に、試料を傾斜させても高分解能像を得ることを可能にする走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 内側磁極５ａと外側磁極５ｂの間に絶縁部材５ｄが配置され、内側磁極５ａと外側磁極５ｂが電気的に絶縁される構造となっている。試料６は試料台７に電気的導通を持たせて取り付けられ、試料台７は試料ステージ８と電気的に絶縁されて試料ステージ８に載置される。試料台７と外側磁極５ｂに電源９により負電位が印加されると、試料台７及び試料６と外側磁極５ｂは同電位となり、試料を傾斜させても、電子線の光軸に対して電界の対称性が保たれる。そのため、簡単な構造で且つ複雑な制御を行うことなく、低加速電圧の観察条件においても高分解能の像観察が可能となる。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差を小さくして、２次電子の透過率を大きくし、高スループットで試料の評価を行う。
【解決手段】電子銃１-1から放出された電子ビームが１次電子光学系を介して試料７-1上に照射され、それにより試料から放出された電子が２次電子光学系を介して検出器１２-1において検出される。軸上色収差補正用の多極子レンズからなるウィーンフィルタ８-1が、２次電子光学系の拡大レンズ１０-1と１次電子ビーム及び２次電子ビームを分離するビーム分離器５-1との間に配置され、磁気ギャップが試料側に設けられた電磁レンズからなる対物レンズ１４-1で生じた軸上色収差を、ウィーンフィルタで補正する。 （もっと読む）

【課題】 絶縁体、半導体等の非導電性物質の試料であってもチャージを軽減し、高分解能の像を取得することができる方法及び装置を実現する。
【解決手段】 試料が絶縁物や半導体の場合、チャージの影響を軽減することが高い分解能の像を取得するために必要となる。可変電源１１から試料７にバイアス電圧を印加する。このバイアス電圧の値は、電子銃２の加速電圧が３ｋＶである場合、２ｋＶ、あるいは２．５ｋＶに設定される。また、試料を傾斜したときに、電子ビームが曲がらない試料電圧値と電子銃の加速電圧値の組合せが存在することが判明した。この組合せの範囲をＰＣ１３に記憶させ、試料電圧値と電子銃の加速電圧値とを組合せの範囲内に設定すれば、試料の傾斜を行うことができ、３つの試料のチャージを取り除く方式を同時に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高加速電圧で収差補正機能を備えた荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線源と該荷電粒子線源から荷電粒子を引き出すための引き出し電極と荷電粒子線の収束手段を含む荷電粒子線銃と、該粒子線銃から放出された荷電粒子線を加速する加速手段と前記粒子線銃と加速手段の間に収差補正手段を設けて、引き出し電位あるいは、それとほぼ同等の加速初期段階のビームに、試料面上での粒子線プローブの収差をキャンセルするだけの収差を与えることにより上記課題を、解決する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。
【解決手段】大ビーム電流を用いて低倍画像を撮像し、小ビーム電流を用いて高倍画像を撮像し、ビーム電流の変化によって発生する撮像画像の輝度変化、焦点ずれ、アライメントずれ、視野ずれを補正する制御量を予め全体制御系１１８内のメモリに保存しておき、ビーム電流を切り替える都度これを補正することにより、電流を切り替えた後の調整作業なしで画像を撮像することを可能にする。また、電子ビームの照射経路中に絞り８０１を設けることにより、電流切り替え時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】 複数の二次電子若しくは反射電子検出器を持つ電子顕微鏡において、複数の検出器のコントラスト／明るさの制御をひとつの制御操作で行えるようにする。
【解決手段】 作動距離などの観察条件の変化に伴って変わる各検出器間の信号量比率を用いて、コントラスト／明るさ制御を行うために必要なコントラスト可変量係数を検出器ごとに設定する。例えば作動距離とコントラスト可変量係数との関係を求めておき、観察条件メモリ21から読み出した作動距離に対して、係数算出部23により上方検出器６と下方検出器７に対して個別にコントラスト可変量係数算出し、コントラスト／明るさ操作部によるひとつの制御動作に対して、各々の検出器に対するコントラストの変化量を、検出器制御部14,15を介して個別に与える。 （もっと読む）