【課題】 マルチビーム型の半導体検査装置において、多様な特性を持つ試料に対して、高い欠陥検出感度と高い検査速度を両立させ得る荷電粒子線応用装置を提供する。
【解決手段】 試料上における一次ビームの配置を可変とし、さらに、試料の特性を元に、最適な検査仕様で高速に検査を行うためのビーム配置を抽出する。また、また、多数の光学パラメータおよび装置パラメータを最適化する。さらに、抽出された一次ビームの特性を測定し、調整する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電子ビームを走査することによって、試料の帯電量、或いは焦点調整量を測定するに際し、電子ビーム走査による帯電蓄積に基づく帯電量誤差、或いは焦点ずれを抑制可能な方法及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、永久磁石レンズを使用した超小型のSEMにおいては、磁気飽和により、加速電圧に応じてコンデンサレンズの段数を変更しなければならないが、比較的容易にこれを実現する方法を考案することにある。
【解決手段】図１で、加速電圧5kVでの電子レンズは、補助コンデンサレンズ３を外した構成になっている。加速電圧５ｋVでは、コンデンサレンズの磁気飽和がなくレンズ2段で構成可能である。
次に、加速電圧を１５ｋVにした場合、コンデンサレンズ2段ではもはや磁気飽和を起して十分な縮小率が得られないので、補助コンデンサレンズ３をコンデンサレンズ（１）４と陽極との間に挿入する。すると、コンデンサーレンズ（１）４、コンデンサーレンズ（２）５での縮小率の減少分をこの補助レンズが補うので、コンデンサレンズ全体としての縮小率減少はなくなる。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡の電子光学系毎の機差補正を複雑にすることなく行う。
【解決手段】
電子銃１１０から放出された電子線を集束するためのコンデンサレンズ１１１と、不要な領域を除去する絞り孔１５２と、サンプル１４１上に微小スポットとして照射する対物レンズ１１５と、サンプルから発生した信号を検出する検出器１３０と、信号増幅変換器２３０と、信号を記憶する記憶部２６１と、記憶された信号を表示する表示部２６２と、を備えた電子顕微鏡において、複数の絞り孔１５２が形成された絞り板１５０と、絞り板１５０を移動する対物絞り可動ユニット２５０と、を備え、複数の絞り孔１５１から１５３のうちいずれかを選択可能とした。 （もっと読む）

【課題】試料の種類や観察条件に依存せずに、安定に二次電子信号をしたり、所望のエネルギーの二次電子信号を検出することが出来る。
【解決手段】電子銃からの電子ビームを加速及び集束する加速集束レンズ系、加速及び集束された電子ビームを減速して試料３上に集束する減速集束レンズ系、電子ビームで試料３上を走査させるための走査コイル４、減速集束レンズ系で加速及び集束され、加速集束レンズ系で減速及び集束された二次電子ビームの進行方向を変える収集電極２４、二次電子子ビームをエネルギーに応じて進行方向を変える第１分散電極２５と第２分散電極２６、二次電子ビームを検出する二次電子ビーム検出器２９、及び、検出された二次電子ビームに基づいて試料３の二次電子ビーム像を表示する表示装置１２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ステージ移動等の処理と並行して短時間に磁気履歴の除去を可能とする技術を提供する。
【解決手段】 画像を取得する前に電磁コイルに印加する電流を目標値に対して常に一定の変化量に設定した磁気履歴の除去シーケンスを実行し、試料上に収束される一次電子線のスポット径が取得する画像の１画素で表示できる寸法よりも小さくなるときに画像等の情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】非点収差、軸外収差、及び、焦点ずれを同時かつ高速に補正することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置によると、対物レンズと試料の間に、荷電粒子線の軌道上に電場を生成する静電レンズが設けられている。静電レンズは、複数の電極に分割され、各電極には独立に電圧を印加することができる。この電圧を調整することにより、対物レンズの非点収差補正、軸外収差補正、及び、焦点ずれ補正のいずれかを行う。 （もっと読む）

【課題】 像分解能を維持して装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】 電子銃１、電子銃からの電子ビームを試料４上に集束させる集束レンズ２、電子ビームで試料４上を走査させる走査用偏向レンズ５、試料上の走査により試料４から発生した二次電子ビームを検出する検出器６、検出器で検出された二次電子ビームに基づいて、試料４に関する像若しくはスペクトルを表示する表示装置１２を備えており、試料４の直上に、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４と４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０から成る静電型１２極子を配置させ、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４により電子ビームの試料４上のフォーカス調整を行わせ、４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０で収差補正を行わせる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを照射する走査電子顕微鏡を用いて試料を検査する試料検査装置を提供する。
【解決手段】走査電子顕微鏡から照射される電子ビームによって試料に発生する電荷を捕集する電荷捕集部を備えることによって、試料検査へのコストを低減し、かつ、高品質の映像を提供する。 （もっと読む）

【課題】特定の検出器でしか撮像できない異物、またはパターンが複数存在し、それらが独立に含まれる場合、一つの検出器の画像では正確な自動フォーカス調整を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射して試料から発生する二次信号を検出する複数の検出器と、該検出器で得られた信号を合成する演算手段とを備え、検出器のうちの少なくとも２つは電子線に対して軸対称に配置されており、該検出器それぞれの信号または合成した信号に基づいて電子線の焦点を調整する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位変化を抑制しつつ、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件の変動の補償値を検出する方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、荷電粒子線を試料に向けて照射している状態において、当該荷電粒子線が試料へ到達しない状態（以下ミラー状態と称することもある）となるように、試料に電圧を印加し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低エネルギーの反射電子も検出することができ、反射電子と２次電子を別々に、かつ同時に検出することができる走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】電子源１と、該電子源１から発生した１次電子ビーム２を観察試料５上に集束する対物レンズ４と、前記電子源１と対物レンズ４との間に配置された少なくとも１つの集束レンズ３と、前記１次電子ビーム２をＸＹ方向に２次元走査しながら観察試料表面に照射するための走査偏向器とを有する走査形電子顕微鏡において、前記集束レンズ３は、対物レンズ４との間に１次電子ビームが１回クロスオーバを有するように動作し、かつクロスオーバ位置ないしクロスオーバ位置より観察試料５側に、第１の荷電粒子検出器１１を備え、かつ前記クロスオーバ位置より電子源側に第２の荷電粒子検出器１２を備えて成される。 （もっと読む）

【課題】
ヘリウムあるいは水素のＧＦＩＳにおいて、その先端に微細な突出部を持つイオンエミッタが重要部品ではあるが、その作製歩留まりの高い作製方法や構造は未だ確立されていない。また、この突起は不測の小さな放電などで破壊されることがあり、エミッタ構造においては簡便な手法で修復ができる観点からのニーズもある。
【解決手段】
ＧＦＩＳ用イオンエミッタにおいて、第１金属の針状基体と該針先端を第２金属で覆う構成とし、かつ、該第２金属はその蒸発電界強度がガスの電界電離イメージングの最適電界強度より高い金属を選択した。 （もっと読む）

【課題】
一次電子線の収差を増やさずに二次信号を効率よく検出することにより高分解能でかつ高コントラストな観察像を取得し、観察像により欠陥を検出することにより検査速度を高速・高感度にする荷電粒子ビーム装置を得る。
【解決手段】
試料の所望領域を一次荷電粒子ビームで走査し、一次荷電粒子ビームの照射により領域から二次的に発生する二次荷電粒子を二次電子変換電極33に衝突させた後、二次電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第１のE×B偏向器31により発生する二次電子を検出器34に取り込む。同時に、第１のE×B偏向器31に固定した第２のE×B偏向器32により第１のE×B偏向器31で一次荷電粒子ビームに発生する偏向色収差を抑制し、高分解能かつ、シェーディングのない高コントラストな観察像を取得する。 （もっと読む）

【課題】電子線装置における電子ビームの集束条件の設定の際に電子ビームを試料に照射する機会や時間を低減することを目的とする。
【解決手段】走査電子顕微鏡１の電子ビームＢの集束状態を検出するために電子ビーム照射面１３ａを使用する。電子ビーム照射面１３ａは、電子ビームＢの光軸方向である高さ方向の位置がその面内位置により異なり、また電子ビームＢを照射されることにより反射電子及び二次電子のうちの少なくとも一方を発生する。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査電子顕微鏡など電子線応用装置において二次電子および反射電子の検出において検出器の小形化、エネルギーフィルタ機構の装備、二次電子/反射電子選別機構の装備などを実現し小形で高効率/高機能の検出器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記目的は、電子入射面を低密度薄膜で隔離した小形のガス増幅形検出器を高真空に保持された電子線通路または試料室中の適切な位置に配置し、当該検出器をレンズ磁場中に配置することで検出器内を進む電子の移動距離を大きくしガス増幅率を増大させることで実現される。さらに、ガス増幅形検出器の電子入射面にエネルギーフィルタ電極を設けることで二次電子のエネルギー選別を可能とする。 （もっと読む）

【課題】
回路パターンを有する半導体装置等の検査において、陰影コントラストの強調された像を取得することを可能にし、浅い凹凸の微細な異物等を高感度に検出することを可能にする荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】
高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ１０３を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極１０６と左・右検出器１１０、１１１を設け、その電子ビームを試料１０４に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。 （もっと読む）

【課題】電磁レンズの非点収差を定量的且つ高精度に測定できる電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法、及び非点収差補正機能を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ₃等の単結晶試料に電子線を入射し、それにより出現するロンチグラムを撮像部により取得して画像データとする。その後、ロンチグラムの中心位置を決定した後、ロンチグラムを２回フーリエ変換して画像のスケールのキャリブレーションを行う。次いで、ロンチグラムを１回フーリエ変換して１回フーリエ変換像を得る。その後、制御部により１回フーリエ変換像における輝点と結晶軸方向とのずれ量を検出し、非点収差係数を算出する。そして、その結果に基づいて非点収差補正用偏向コイルを制御し、電磁レンズの非点収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】 基板内部に生じる局所的帯電の定量的で詳細な大きさを把握でき、チャージングを低減することができる荷電粒子ビーム検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 荷電粒子ビーム検査方法及び装置において、荷電粒子ビーム光学鏡筒の下面と試料との間に、導電性を有し、かつ、荷電粒子光学系の光路に沿って開口を有し、かつ、試料の表面上のＥＢ照射点から見て、鏡筒の下部の一部を覆う板を設ける。複数枚のスキャン画像の各々、あるいは複数枚のスキャン画像を積算した積算画像と、設計データとの比較照合を行い、倍率を求め、当該倍率の変動または変動の傾向から、荷電粒子ビームが照射されている局所領域における倍率との相関量を求め、その値に応じてランディングエネルギーを変化させる。 （もっと読む）

【課題】表示された倍率と、実倍率とに、矛盾が生じないよう調整する静電潜像測定方法、静電潜像測定装置、画像形成装置、潜像担持体、静電潜像測定プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】荷電粒子銃１１、アパーチャ１２、１２Ａ、コンデンサレンズ１３、ビームブランカ１４、ビーム偏向手段１５、対物レンズ１６、荷電粒子ビーム駆動部３１、排気手段３３、コンピュータ４０、第１の光源である半導体レーザ１７、コリメートレンズ１８、アパーチャ１９、「結像レンズ」を構成するレンズ２１、２２、２３、半導体レーザ駆動部３２、荷電粒子捕獲器２４、荷電粒子検出部２５、信号処理部２６、試料載置台２８、試料ＳＰ、除電用の発光素子２９（第２の光源、ＬＥＤ）、ＬＥＤ駆動部３５、試料台駆動部３４を主な構成とし、対物レンズ１６の屈折力、若しくは印加電圧に合わせて倍率を表す表示を変える。 （もっと読む）