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Fターム[5C038FF01]の内容

計測用電子管 (3,290) | 電子・イオン光学的装置 (382) | スリット (15)

Fターム[5C038FF01]に分類される特許

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【課題】試料イオン化装置(イオン源)からの試料導入の際、イオン化が不充分であった試料が導入部細孔以外の部位に滞留し、熱などのエネルギーにより、酸化物ないし炭化物などの生成物として堆積する。その堆積する生成物は質量分析装置の性能劣化の原因となる。
【解決手段】本発明は、試料供給源と、試料供給源から供給される試料をイオン化する試料イオン化部と、イオン化された試料イオンが導入される試料導入抑制室と、試料導入抑制室の下流になる差動排気室と、差動排気室の下流側になる分析部を有する質量分析装置において、試料導入抑制室、前記差動排気室の少なくとも一方の内部で放電を生成する放電生成手段を有する。そして、放電生成手段は、試料導入抑制室で対向するように設けた対向する試料導入部電極と第一細孔部用部材(電極)、ないし前記差動排気室で対向するように設けた第一細孔部用部材(電極)と第二細孔部用部材(電極)を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、イオン源から検出器の間にある構成ユニット、特に1ケ以上のオリフィスの軸ずれにより、検出器に到達するイオン数が低下し、質量分析装置の感度低下,分解能低下などの不具合が発生すること、オリフィスなどの部品交換により性能のバラツキが発生することなどの不具合を解決する手段を提供することを目的とする。
【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明では以下の構成を有する。イオン源と、イオンを検出する検出器と、前記イオン源と前記検出器との間に配置されたオリフィス及び質量分離器とを備えた質量分析装置において、前記イオン源と前記検出器の入射口とを結ぶ直線上に前記オリフィスの開口及び/又は前記質量分離器の入射口が配置されるように、前記オリフィス及び/又は前記質量分離器の軸の位置を調整する軸調整機構を備えることを特徴とする質量分析装置。 (もっと読む)


【課題】イオン化したガスクラスターを適切に偏向することが可能な荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は2枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、前記電極は、開口部又は間隙を有することを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】イオンビームの空間的分布による影響が最小限になるように、質量分析装置のダイナミックレンジを著しく高める。
【解決手段】質量分析装置の検出器のダイナミックレンジを拡大する手法において、高い強度のビームの場合、イオンビームを検出するための手段が、コレクタスリット1の後に、小さい穴のグリッドまたはアレイであってよい減衰器4に設けられ、数分の1のイオンビームのみがこの中を通ってイオン検出器6に到達する。穴のアレイを使用することにより、記録される信号が、ビーム内のイオンの分布に影響を受けないことを確実にする。ビームは、信号が低い強度である場合、検出器にまっすぐに進む。 (もっと読む)


【課題】大気圧イオン化室で生成されたイオンを後段に輸送する中間真空室内でのイオンの通過効率を向上させることで分析感度を改善する。
【解決手段】イオン化室1から第1中間真空室2へイオンを送る加熱パイプ6の出口孔6aの外側に、通路が円錐形状である整流ノズル20を設ける。整流ノズル20がない場合に出口孔6aから所定距離ML離れた位置に生じるマッハディスク31の直径よりも、整流ノズル20の開口径NDを小さく設定しておく。これにより、超音速自由噴流によるマッハディスクやバレルショックが抑制され、イオン光軸C付近に下流へ向かう強いイオン流が生じ、高周波電場によりイオンを収束させつつ輸送するイオンガイドにイオンが効率良く捕捉され、イオン通過効率が向上する。 (もっと読む)


【課題】イオンが選択的に順方向へ進むことを確実にし、質量分析計内へ効率的にイオンを渡すことができる真空インターフェースを提供すること。
【解決手段】本発明は、拡散ノズルから形成された質量分析計システム向けの真空インターフェースを説明する。この真空インターフェースは、質量分析器による分析のために、大気圧イオン化源から真空チャンバ内へイオンビームを移動するために使用することができる。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子とガスとの衝突がある場合でも、荷電粒子の透過効率をある程度維持する方法を提供する。
【解決手段】ある平面内で屈曲した屈曲部を有する光軸に沿い且つ光軸を90°間隔で取り囲むように光軸から等間隔の位置に配置され、お互いの平行関係を維持しながら、両端部の位置を揃えられた4本の電極棒と、該4本の電極棒を間に挟み光軸と直交するように配置され、光軸と交わる部分に第1の開口、光軸の屈曲部を屈曲させずに直進させた軌道の延長線と交わる位置に第2の開口を有する入口電極または出口電極とを備えた荷電粒子と中性粒子の合流または分離機構であって、該電極棒は、屈曲した光軸を含む前記平面に対して光軸より斜め45°の角度の位置に配置され、荷電粒子および/または中性粒子は、前記入口電極の開口より入射するとともに、前記出口電極の開口より出射するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】微量のPd、Rh及びRuを高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】微量Pd、Rh又はRuを測定対象元素として分析する方法であって、(1)ナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理する工程と、(2)該前処理を行った試料を高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程(2)において、サンプリングコーンとスキマーコーンの間隔を、Pdと干渉する40Ar65Cuの濃度、Rhと干渉する40Ar63Cu及び40Ar40Ar23Naの濃度、並びにRuと干渉する38Ar63Cu及び40Ar38Ar23Naの濃度のすべてが0.05ppb以下となる値に設定して分析することを特徴とする方法。 (もっと読む)


質量分析計の圧力の高い領域と低い領域との間でイオンを輸送するためのイオン移送装置は、イオン移送導管60を含んでいる。導管60は、相対的に圧力の高いチャンバ40に向いて開いている吸込口と、相対的に圧力の低いチャンバに向いて開いている排出口70とを備えている。導管60はまた、イオン移送チャネル115を取り囲む、少なくとも1つの側壁も備えている。側壁は、イオン移送チャネル115内から、導管60の側壁の外側の、圧力の低い領域へガスが流れるよう、側壁の長手方向に形成した複数の開口部140を含んでいる。
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質量分析計の圧力の高い領域と低い領域との間にイオン移送導管60を設ける工程を含む、圧力の高い領域と低い領域との間で、ガスと同伴イオンとを輸送する方法である。イオン移送導管60は、イオン移送チャネルを構成する電極集合体300を含んでいる。電極集合体300は、第1の幅D1の第1組の環電極305と、第1環電極305と交互に並んだ、第2の幅D2(≧D1)の第2組の環電極とを備えている。大きさVおよび第1極性のDC電圧を第1環電極205に印加し、Vより小さい、または等しい大きさVであって、Vと反対極性のDC電圧を第2環電極310に印加する。イオン移送導管60の圧力を、イオン移送チャネル内でガスとイオンの粘性流が保たれるよう制御する。
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交互に並んだ、第1の複数の環電極(205)と第2の複数の環電極(210)とを備えた電極集合体(120)を含む、質量分析計の圧力の高い領域と低い領域との間でイオンを輸送するためのイオン移送装置である。第1複数環電極(205)は、長手方向において第2複数環電極(210)よりも狭いが、第1複数環電極は、そこに印加された、第1極性の相対的に高い電圧を持ち、一方、第2複数環電極(210)は、そこに印加された、第1組環電極(205)に印加されている電圧と反対の極性の、相対的に低い電圧を持っている。この方法では、イオン移送装置を通過するイオンは、イオンをチャネル壁の内側表面から遠ざけ、チャネル対称面または対称軸に向かって収束する、空間的に交互に並んだ非対称電界を受ける。
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【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、被測定ガス中の特定注目分子をオンサイトで連続的にかつ高感度で定量分析できるガス分析用可搬型Jet−REMPI装置を提供する。
【解決手段】ガス導入系およびイオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、イオン化室に、被測定ガスを飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極を有し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とするガス分析用可搬型Jet−REMPI装置。 (もっと読む)


【課題】個別粒子を生成し、その個別粒子を後続の分析(例えば質量分析)または操作のために標的位置に送達する方法及び機器を提供すること。
【解決手段】個別粒子を生成する粒子生成器は、前記個別粒子として検体及び溶媒を含む個別液滴を生成する液滴生成器である。浮揚装置は、前記個別粒子を電気力学的に浮揚させる。液滴の脱溶媒が生じ、液滴のクーロン分裂が起こって、より小さい液滴になる。電極アセンブリは、後続の分析または操作のために、前記浮揚装置から離間した標的位置に向けて、前記浮揚装置から前記個別粒子を送達する。 (もっと読む)


【課題】 高強度のゼロロス電子を効率よく遮蔽できて且つエネルギー分散スリット開口部の散乱電子やコンタミネーションによる影響を軽減するエネルギー選択スリットを提供する。
【解決手段】 スリット開口部33を挟んで、スリット部材31のスリット構成辺34とスリット部材32のスリット構成辺35が対面するように配置する。スリット部材32をスリット部材31よりも薄くし、スリット構成辺34の側壁下部をテーパー部36のように、上方から下方に向かって広くする。高強度のゼロロス電子側がスリット部材31で遮蔽されるようにエネルギー選択スリット30を配置する。 (もっと読む)


質量分析を行うための装置および方法は、イオンインターフェースを用いて、エレクトロスプレー源またはMALDI源などの大気圧イオン源からのイオンの流れが質量分析器を含む真空チャンバーに入る前に、該イオンの流れから望ましくない粒子を除去する機能を提供する。イオンインターフェースは、エントランスセルおよび粒子選別セルを含む。該エントランスセルは、イオン源がエレクトロスプレー源である場合に、荷電液滴を脱溶媒和するために加熱され得るボアを有する。該粒子選別セルは、エントランスセルのボアの下流で、かつ真空チャンバーに通じるアパーチャーの前に配置されたボアを有する。粒子選別セルは、イオンの流れからの望ましくない荷電粒子の分離を可能にする気体力学的および電界条件を作り出す。 (もっと読む)


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