【課題】より安定して判定を行うことができる光検出装置、及び光検出装置を備える紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】光検出装置は、紙葉類に対して光を投光する第１の光源部（２２）と、紙葉類から光を受光して画像を取得する第１のセンサ部（２４）と、前記第１の光源部及び前記第１のセンサ部の両方、またはいずれかの補正要素を調整する第１の調整部（２３、２５）と、前記第１の調整部に補正要素を調整する毎に前記第１のセンサ部により前記紙葉類を読み取り、複数の画像を取得する画像取得部（１０、２４）と、前記画像取得部により取得した複数の画像と予め設定される参照データとに基づいて前記紙葉類の分類を判定する判定部（１０）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】低い電圧駆動においても容易に反射板の大きい偏向角を達成し得る安定した動作の光偏向素子を提供する。
【解決手段】光偏向素子３００は、支持基板３０１と、反射板３０２と、駆動制御部３０３ａ，３０３ｂと、連結部３０８ａ，３０８ｂと、永久磁石３２０ａ，３２０ｂとから構成されている。駆動制御部３０３ａと駆動制御部３０３ｂは、反射板３０２を間に挟んで配置されている。駆動制御部３０３ａ，３０３ｂは支持基板３０１に接続され、さらにそれぞれ連結部３０８ａ，３０８ｂによって反射板３０２に接続されている。反射板３０２の表面には、光ビームを反射するための反射面３０９が形成されている。永久磁石３２０ａ，３２０ｂは、駆動制御部３０３ａ，３０３ｂを含む空間に磁場を形成するためのものである。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーの配置効率を高めて、より一層小型化、低コスト化を図ることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、入射光を反射する反射面５５ａを有する可動板５５と、可動板を回動可能に支持しかつ可動板から互いに反対方向に延びるトーション梁５６，５７と、一端が固定端とされかつ他端が可動端とされて可動端にトーション梁の終端がそれぞれ連結されしかも曲げ振動により可動板を往復回転させるカンチレバー５１，５２と、このカンチレバーの固定端が接続されかつ内側に前記カンチレバーとトーション梁と可動板とが配設されて、カンチレバーとトーション梁と可動板とを支持する支持枠５０とを備え、カンチレバーの少なくとも一部がトーション梁の延びる方向を長手方向としてこの長手方向に対して略平行でかつトーション梁に隣接して配置された長手方向部とされている。 （もっと読む）

【課題】従来のミラー部のサイズに比べて装置全体のサイズを小さくできる、圧電駆動方式の光走査装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームを反射するミラー部２と、圧電素子を備えて圧電駆動部として機能する可動支持体３Ａ〜３Ｄと、可動支持体３Ａ〜３Ｄを囲む固定枠部４とを備え、ミラー部２と可動支持体３Ａ〜３Ｄの互いに近接する端部の内側角部とを連結するトーションバー５、６で可動支持体３Ａ〜３Ｄの内側にミラー部２を軸支し、トーションバー５、６と軸方向が直交するように固定枠部４と可動支持体３Ａ〜３Ｄの前記内側角部と対角位置にある各外側角部とを連結するトーションバー機能を有する連結部７Ａ〜７Ｄで固定枠部４の内側に可動支持体３Ａ〜３Ｄを軸支し、圧電素子に駆動信号を印加してミラー部２を揺動駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】周囲温度変化や経時変化によりピエゾ抵抗素子の抵抗値に変動が生じた場合であっても、ミラー部の揺動を停止することなく、ピエゾ抵抗素子による検出結果の校正を行うことができる光走査装置及び画像表示装置を提供すること。
【解決手段】所定電位間に直列接続された一対のピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ３（Ｒ２，Ｒ４）を有する検出部を有し、光走査素子４のミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの揺動を開始した後、一対のピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ３（Ｒ２，Ｒ４）間の接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧変動率に基づき、光走査素子４が共振により反射面１０ａと直交する方向への揺動が加わっている状態であると判定すると、当該状態において接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧変動率が所定範囲内になったときの接続点の電圧に基づき、接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧のオフセット値を判定する。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの共振周波数のばらつきを防止し、個別に共振周波数を高精度に調整することが可能な光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエイト量決定装置のカメラにより金属構造体２０を平面視で撮影して、画像から所定の画像処理により捩り梁１１の画像を切り出し、ウエイト量決定装置のＣＰＵが所定の画像処理プログラムを実行することにより梁幅を測定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵがＨＤＤのウエイト量テーブル記憶エリアに記憶されているウエイト量テーブルを参照して、測定した捩り梁の梁幅から塗布するウエイトの量を決定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵが、測定された梁幅に基づいて、ウエイト量テーブルを各々参照して、ディスプレイに一例として、「梁結合部：０．１mm^３」や「ミラー裏：０．０１mm^３ 」と表示する。その後、ウエイト４０が梁結合部６又はミラー５の裏面に塗布される。 （もっと読む）

【課題】接着剤層の厚みのばらつきを防止して、光走査装置の性能を向上することができる光走査装置及び光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属構造体２０の反りと、圧電素子３０の反り向きが同じ方向に反った状態で導電性接着剤２３により接着され、金線１０により配線が行われる。この状態で、金属構造体２０の凹面側の面２１が光学反射面となっている。金属構造体２０の反りと圧電素子３０の反りの向きを合わせて接着するので、導電性接着剤２３の層の厚みを均一にすることができるので、光走査装置の性能を向上することができる。また、金属構造体２０の凹面側の面２１を光学反射面とすることにより、凸面側の面２２を光学反射面とする場合に比較して反射光を収束することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動効率を向上させつつ、放電による電極間の短絡を防止することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３９は、接着層５０を備え、接着層５０は、振動板１４の両面のうち片側の面１４ａと第１の電極４３の面４３ｂとの間の領域に設けられ、片側の面１４ａと反対側の面４３ｂとを接着する導電性接着層５１と、第１の電極４３の側面４３ｅ全面と圧電体４１の側面４１ｅとを覆うように設けられ、片側の面１４ａと圧電体４１の側面４１ｅとを接着する絶縁性接着層５２と、を有し、片側の面１４ａからの絶縁性接着層５２の高さＢｉｚは、片側の面１４ａと反対側の面４３ｂとの間の導電性接着層５２の厚みＢｃｚと第１の電極４３の厚みＰｅ１ｚとを足した長さ以上に設ける。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数を容易に調整でき、かつ迷光の発生しないミラー部を有する光スキャナを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光スキャナ１は、ミラー部の周縁部から外方向に延出して設けられるトリミング部の、前記ミラー部の反射面が設けられている側の表面の光反射率が、エッチングによって前記ミラー部と比較して低くなるように構成されることにより、前記トリミング部が振動周波数調整のための加工を行う際に除去されない場合でも、ミラー部と比べて入射した光束を反射しにくいため、トリミング部に由来する迷光を最小限に抑えることが可能となり、高精度での走査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】光スキャナを一度製造した後に光スキャナの構造または剛性を変更するなどの手間をかけずに所望の共振周波数を得ることが可能な光スキャナを提供する。
【解決手段】駆動信号生成部４０から駆動部４に駆動信号が供給される（Ｓ１）。駆動部４に駆動信号が供給されると、電流供給部５０から磁界発生部５に電流が供給される（Ｓ２）。電流が供給されると、共振周波数決定部７４により共振周波数が決定される（Ｓ３）。共振周波数が決定されると、判断部７６により決定された共振周波数が所望の共振周波数と等しいか否かが判断される（Ｓ４）。決定された共振周波数が所望の共振周波数でないと判断されると（Ｓ４：Ｎｏ）、磁界発生部５に供給される電流の絶対値が所定の微小幅分、増大される（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で圧電駆動型ミラーにおけるミラーの変位を検出することが可能な駆動制御回路、変位検出方法及び光走査装置を提供することを目的としている。
【解決手段】圧電素子を有しており前記圧電素子の変位により駆動対象物を駆動させる複数の駆動源を駆動させる駆動制御回路であって、第一及び第二の駆動源を駆動させる駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、前記第一及び第二の駆動源に対する前記駆動信号の供給又は遮断を切り替える切替手段と、前記切替手段を制御する制御手段と、前記第一の駆動源に対する前記駆動信号が遮断され前記第二の駆動源に前記駆動信号が供給されている場合に、前記第一の駆動源の前記圧電素子から出力される電圧を検出する出力検出手段と、前記出力検出手段により検出された前記電圧に基づき、前記第二の駆動源の変位を算出する変位算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、ミラーの角度検出センサとしての圧電センサがミラーの側辺に固定されていたために、ミラーに分散する応力が比較的大きくてミラーの変形を招き、他方、圧電センサに分散する応力は比較的小さく、従って、圧電センサの変位量は小さく、圧電センサの圧電起電力は小さかった。
【解決手段】ミラー２は円形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラー２を揺動可能に支持する。トーションバー３に作用する圧電アクチュエータ５、６を設け、トーションバー４に作用する圧電アクチュエータ７、８を設ける。半環状の圧電センサ９、１０はミラー２の外周側にスリットを介してトーションバー３、４のミラー２側付け根に連結される。 （もっと読む）

【課題】媒体保管業務を効率良く、的確に運用する。
【解決手段】画像読取装置１は、書架情報記憶部１１、媒体分類情報付与部１２、媒体識別情報付与部１３、媒体量入力部１４、及び保管場所割当部１５を有している。予め書架情報記憶部１１に、書架における媒体の保管形体と容量と使用量を表す書架情報とを記憶しておく。そして、媒体をスキャンして画像データを作成すると共に、分類情報を入力し、媒体量を入力し、媒体の分類情報と媒体量から媒体を保管する書架の保管場所を決定し、媒体の識別情報である媒体識別情報を生成し、媒体識別情報と保管場所を関連付けた関連情報をインデックス帳票に出力する。更に、媒体識別情報と保管場所を関連付けた関連情報を前記画像データに付与し、インデックス帳票と媒体をセットで前記保管場所に保管する。 （もっと読む）

【課題】光学振れ角を大きくすることが可能で且つ不要な光が出射されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成され可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されており、第１のカバー基板２が、入射光および、回折格子５の法線に対して入射光とは反対側にある負の次数の回折光のうち規定次数の回折光以外を遮光するカバー基板を構成している。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、且つ、低コストで、不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に透光性樹脂により形成された成形部６を有し、当該成形部６の表面が、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側の平面とは非平行な非平行面６１となっている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ光の走査角度の広角化を図れるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。外側フレーム部１０に形成された固定電極１２と可動部２０に形成された可動電極２２とで、可動部２０を駆動する駆動手段を構成している。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側に、第１のカバー基板２を通して入射し１つのミラー面２１で反射した光を当該ミラー面２１側へ反射する複数の固定ミラー６が並設されている。 （もっと読む）

【課題】ラスタ走査において、横縞ノイズの発生や外乱振動の共振応答による垂直走査の不安定さを解消した２次元光スキャナ駆動装置を提供する。
【解決手段】負帰還制御手段１は、２軸を中心として回動させる回動機構１５に、駆動回路８により生成された駆動信号を与えることにより、当該２軸のそれぞれを中心として被駆動体を周期的に回動させ、光束の２次元的走査を行わせる走査駆動手段５と、当該回動機構１５の速度を検出して速度検出信号（Ｕｙ＋ａｘ）を生成する検出手段３と、当該速度検出信号（Ｕｙ＋ａｘ）から非共振速度信号（Ｕｙ）を抽出する抽出手段６とが設けられ、当該走査駆動手段５への速度負帰還信号（ＶＤ−Ｕｙ）を生成する負帰還信号生成手段４がさらに設けられる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数のばらつきの発生を抑制しつつ、折れ難いカンチレバーと、捩り回転時にカンチレバーが折れ難く、ミラーの振れ角が大きい。
【解決手段】カンチレバーの端部の厚み方向に曲線をつけ、カンチレバーの固定端部が最も厚い厚さ分布をもたせる。これにより、引っ張り応力の集中が緩和される。カンチレバーと捩り梁を同一のＳｉ基板に形成し、捩り梁の板厚をＳｉ基板と同じ厚さとし、カンチレバーはそれよりも薄く形成する。 （もっと読む）