【課題】基板１上に順次積層された第一の絶縁材料層３ａと第二の絶縁材料層３ｂで構成された段差形成部材４の上面にゲート７を有し、第一の絶縁材料層３ａの側面部２０に先端がゲート７に対向するカソード８が設けられた電子放出素子の製造に際し、カソード８の断線を防止しつつ均一な電子放出特性の電子放出素子を製造できるようにし、もって安定した性能の電子線装置及び画像表示装置を歩留まりよく製造できるようにする。
【解決手段】第一の絶縁材料層３ａの側面部２０の上端から高さ方向中間部までの上段側面部２１の傾斜角θ１を８０度乃至９０度とすると共に、高さ方向中間部から下端までの下段側面部２２の傾斜角θ２が８０度より小さく、しかも上段側面部２１の高さＴ１を５乃至１５ｎｍとした側面部２０に対して、カソード８の構成材料を基板１の表面に対する垂直方向から供給してカソード８を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板上に配置され、該基板の表面から立ち上がる少なくとも一の側面部を有する絶縁部材と、該絶縁部材の上面に設けられたゲートと、前記側面部の前記ゲートの直下に形成された凹部と、該凹部の下縁から上方へ突起し、該下縁の長さ方向に複数の頂部が形成された突起部を有するカソードとを備えた電子放出素子について、電子放出特性の向上を計る。
【解決手段】１．０Ｐａよりも低い全圧下のスパッタリング法で形成した第一の導電材料層６ａでカソード６を形成し、１．０Ｐａ以上２．８Ｐａ以下の全圧下のパッタリング法で第二の導電性材料層を形成し、該第二の導電性材料層をエッチングして、突起部の頂部８の内側斜面に残留させた第二の導電材料層で副頂部９を形成して電子放出点を増やす。 （もっと読む）

【課題】素子毎で電子放出特性のばらつきが少ない電子放出素子、電子放出素子を用いた電子線装置、及び電子線装置を用いた画像表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ゲートと、上面にゲートを有し、ゲート直下の側面に凹部を有する絶縁部材と、突起部分を有し、突起部分の先端が凹部を介してゲートに向き合っているカソードと、を備える電子放出素子の製造方法であって、金属を含み不動態を形成可能な部材からなるゲート、を上面に有する絶縁部材を形成した後、ゲートの表面に不動態膜を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】電界放出装置に関し、特に大寸法の電界放出装置に関する。
【解決手段】本発明の電界放出装置は、絶縁基板と、電子放出ユニットと、行引出し電極と、列引出し電極とを含む。行引出し電極と列引出し電極とは、電気絶縁的に交叉して格子が形成される。各々の格子の中に、電子放出ユニットが設置されている。電子放出ユニットは、陽極電極と、陰極電極と、蛍光層と、陰極エミッタと、第一集束電極と、第二集束電極とを含む。陽極電極は、行引出し電極に接続され、陰極電極は、列引出し電極に接続されている。陰極エミッタは、陽極電極と陰極電極の間に設置され、一端は陰極電極に接続され、もう一端は陽極電極に対向している。蛍光層は、陽極電極の絶縁基板に隣接する表面の反対表面に形成されている。第一集束電極と第二集束電極は、それぞれ列引出し電極に接続され、行引出し電極及び陽極電極と絶縁的に設置され、陰極エミッタの両側に設置されている。 （もっと読む）

【課題】 カソードからゲートに対して電子が放出される電子放出素子において、ゲートが熱膨張した場合、カソードとの距離が縮まるため更にカソードからの電子放出量や電子それぞれの運動エネルギーが増加する。増加した電子放出量や電子の運動エネルギーによって、ゲートがさらに熱膨張するという正帰還が発生する場合があった。
【解決手段】 カソードからゲートに対して電子が放出される電子放出素子において、ゲートが熱膨張した際に、ゲートとカソードとの距離が離れる構造を備える電子放出素子である。 （もっと読む）

【課題】 電子放出特性に優れる電子放出素子を提供する。
【解決手段】 カソードと該カソードから電界放出された電子が照射されるゲートとを備える電子放出素子であって、前記ゲートは、前記カソードから電界放出された電子が照射される部分に、モリブデンと酸素とを含む層を少なくとも有しており、前記層が、透過電子顕微鏡を用いた電子エネルギー損失分光法によるスペクトル測定において、３９７ｅＶ〜４０１ｅＶの範囲と４１４ｅＶ〜４１８ｅＶの範囲と５３４ｅＶ〜５３８ｅＶの範囲と５４０ｅＶ〜５４７ｅＶの範囲のそれぞれにピークを有する。 （もっと読む）

【課題】段差形成部材２の上面に設けられたゲート５と、段差形成部材２の側面２０におけるゲート５の直下に形成された凹部７と、段差形成部材２の側面２０に設けられ、上端に凹部７の下縁から上縁に向かって突起した突起部６ａを有するカソード６とを備えた電子放出素子について、電子放出効率を向上させると同時に、素子に流れる電流のバラツキを抑制する電流制限用の抵抗層を素子の構成部材の一部として組み込む。
【解決手段】段差形成部材２の側面２０は、凹部７の下縁から高さ方向中間部３０までの上段２１の傾斜角θ１より、高さ方向中間部３０から下端までの下段２２の傾斜角θ２が大きくなっており、しかもカソード６の上段２１の部分である上段カソード部分６ｂよりもカソード６の下段２２の部分である下段カソード部分６ｃの電気的抵抗値が大きい電子放出素子とする。 （もっと読む）

【課題】 安定した電子放出特性と低い仕事関数とを両立した電子放出素子を提供する。
【解決手段】 ランタンの酸化物とモリブデンの酸化物とが混合されたカソードを備えることを特徴とする電界放出型電子放出素子。 （もっと読む）

【課題】電子放出電流の増大と、ビーム径の集束とを同時に実現する電子放出素子を提供する。
【解決手段】第１の絶縁層２の第１の側面２１に第１の低電位側電極４を、第２の側面２２に第１の高電位側電極５を配置し、第１の絶縁層２上に第２の絶縁層３を介して第２の低電位側電極６を配置し、さらに、低電位側電極６の上に第３の絶縁層７を介して第２の高電位側電極８を配置し、第１の低電位側電極４と第２の高電位側電極８との間隙９と、第１の高電位側電極５と第２の低電位側電極６との間隙１０とからそれぞれ電子放出を行う。 （もっと読む）

【課題】 電子放出特性に優れる電子放出素子および画像表示装置を提供する。
【解決手段】 モリブデンを含む電子放出膜を備える電子放出素子であって、前記電子放出膜の表面をＸ線光電子分光法により測定して得られるスペクトルにおいて、２２９±０．５ｅＶの範囲に第１のピークが存在し、且つ、２２８．１±０．３ｅＶの範囲にサブピークが存在することを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精細に配列されるとともに、静電容量を低減しえる電子放出素子、それを用いた電子線装置及び画像表示装置の提供。
【解決手段】 基板の表面に設けられ、基板の表面に対して起立する側面と上面とを有する絶縁部材と、絶縁部材の上面に設けられたゲートと、ゲートと対向して絶縁部材の側面に設けられたカソードとを有し、絶縁部材のカソードが設けられた側面には、側面のカソードのゲートに対向する部分が位置する箇所と基板の表面から起立する箇所とを結ぶ直線より突出する部分を有する電子放出素子及びこれを用いた電子線装置、画像表示装置。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でアノードへの電子の到達効率の高い電子放出素子を提供する。
【解決手段】 基板１上に積層された絶縁部材３とゲート５を備え、絶縁部材３の側面にカソード６を配置し、カソード６は絶縁部材３の角部３２に沿って設けられた複数の突出部１６を有し、ゲート５がカソード側に向かって伸びる複数の突出部１５を有する。 （もっと読む）

【課題】積層型の電子放出素子を備えた電子線装置において、ゲートの変形を防止して、電子放出特性の変動を低減し、素子の破壊を防止する。
【解決手段】ゲート５の膜厚ｈと、絶縁部材３の外表面から凹部７の内側面までの距離Ｌとの関係を適切に保つことにより、電子放出素子を動作させたときに生じるクーロン力によるゲート５の変形を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 安定して動作する電子放出素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 導電性部材である構造体３と、構造体３の上に設けられた硼化ランタン層５と、を少なくとも備える電子放出素子１０であって、構造体３と硼化ランタン層５との間に、酸化物層４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電子放出効率が高く、占有面積を増加を抑制しながら十分な抵抗値を有する抵抗層を備えた信頼性の高い電子放出素子を提供する。
【解決手段】 カソード電極と、該カソード電極に電気的に接続された電子放出体と、該カソード電極と該電子放出体との間に設けられた抵抗層と、を少なくとも有する電子放出素子であって、前記抵抗層は前記電子放出体と同じ材料で構成されており、前記抵抗層の膜密度が前記電子放出体の膜密度よりも低い。 （もっと読む）

【課題】絶縁部材９に形成された凹部７を挟んでゲート５とカソード６ａが設けられ、電子がゲート５に衝突、散乱した後に取り出される電子放出素子を用いた電子線装置において、安定した電子放出特性が得やすく、しかも過剰な発熱を生じた場合にも、過熱による素子劣化や素子破壊を防止できるようにする。
【解決手段】絶縁部材９の外表面と、絶縁部材９に形成された凹部７の内表面とに跨って位置する突起３０を有するカソード６ａとすると共に、ゲート５を、少なくとも２つの導電層５ａ，５ｂの積層体で構成し、突起３０と対向する部分に位置する導電層５ｂの熱膨張率を他の導電層５ａの熱膨張率よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】積層型の電子放出素子を備えた電子線装置において、電子放出効率の向上を図る。
【解決手段】表面に凹部７を有する絶縁部材３と、絶縁部材３の側面と凹部７の内表面に跨って位置するカソード６と、該カソード６と対向するゲート５と該ゲート５上に形成された突出部８を備え、凹部７内に位置するカソード６の低電位面が凹部７の入り口から奥に向かってゲート５側に傾斜している構成とする。 （もっと読む）

【課題】電界電子放出素子において、一定でかつ安定化した電子放出性能を保障できる電極形状を提供する。
【解決手段】カソード電極２の電極幅方向中央の電極主部分２１表面を直線状平坦面となし、その電極主部分２１表面に連続する電極エッジ部分２２を楕円円弧や一定半径の円弧等の曲面状とした。 （もっと読む）

【課題】電子放出素子及びこれを備えた発光装置を提供する。
【解決手段】基板；基板上で第１方向に延長して互いに離隔して位置する複数の第１電極を備える第１配線部；第１方向の逆方向に延長して第１電極の間に位置する複数の第２電極を備える第２配線部；第１電極の側面に形成される第１電子放出部と、第２電極の側面に形成される第２電子放出部；を備え、前記第１配線部及び第２配線部のうち少なくとも一つの配線部は個別的に駆動される電子放出素子及びこれを備えた発光装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、発光装置作用時、蛍光層上に非発光領域が現れないようにして輝度均一度を高めながら、拡散板による光損失を最小化できる発光装置、およびこの発光装置を光源として用いる表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の発光装置は、対向配置される第１基板および第２基板と、電子放出素子を備え、第１基板の一面に位置される電子放出ユニットと、第２基板の一面に位置される発光ユニットを含む。電子放出素子は互いに距離をおいて位置される第１電極と、第１電極の間で第１電極と平行に位置される第２電極と、第２電極に向かった第１電極の側面に位置される第１電子放出部を含む。第１電極と第２電極は第１基板の水平方向および垂直方向のうち、いずれか一方向に対して傾いて位置される。 （もっと読む）