【課題】記録時の書き込み能力を維持しつつ、垂直磁気記録録層の垂直配向性を向上させることができ、また、垂直配向性の向上と磁性結晶粒子の粒径の均一化及び微細化を両立させることができ、情報の高密度記録再生が可能な磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体１０は、非磁性基板１上に、少なくとも軟磁性裏打ち層２、配向制御層３、磁気記録層４および保護層５を具備し、このうち配向制御層３は、シード層６および中間層７によって構成されている。シード層６は、Ｃｕを主成分とし、面心立方構造を有するＣｕ−Ｔｉ合金を主材料とする。そして、このＣｕ−Ｔｉ合金は、非磁性基板１の表面に対して略垂直方向に（１１１）結晶面配向するとともに擬似六方晶構造を有している。 （もっと読む）

【課題】飽和磁化Msを低く抑えながら高Kuを提供することが可能な磁性薄膜とその成膜方法、ならびにこの磁性薄膜を適用した各種デバイスを提供する。
【解決手段】本発明の磁性薄膜は、L1₁型の原子の規則構造を有するCo-M-Pt合金（前記Mは単一若しくは複数のCo,Pt以外の金属元素を示す。）を含むものとし、例えば、前記Co-M-Pt合金は、Co-Ni-Pt合金であり、組成は、Coが１０〜３５（ａｔ％）、Niが２０〜５５（ａｔ％）、残部はPtとする。また、前記磁性薄膜は、垂直磁気記録媒体、トンネル磁気抵抗素子（ＴＭＲ）、磁気抵抗ランダムアクセスメモリ（ＭＲＡＭ）、ＭＥＭＳデバイス等において使用される磁性膜に適用する。 （もっと読む）

【課題】更なる高記録密度化が可能な磁気記録媒体と、そのような磁気記録媒体を搭載した情報記憶装置とを得る。
【解決手段】ガラス製のディスク基板２０１と、軟磁性材料であるＣｏ合金で形成された非晶質の軟磁性層２０２と、Ｎｉ合金製の下地層２０３と、Ｒｕ製の中間層２０４と、非磁性材料のＣｏＣｒからなる複数の非磁性粒子の相互間をＣｒ_２Ｏ_３が隔ててグラニュラ構造を成した非磁性グラニュラ層２０５と、非磁性グラニュラ層２０５上に形成された、磁性材料のＣｏＣｒＰｔからなる複数の磁性粒子の相互間を非磁性材料のＴｉＯ_２が隔ててグラニュラ構造を成した記録層２０６と、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＣＬ）で形成された保護膜２０７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
磁性金属とセラミックと貴金属の粉末を均一に混合し、ターゲットの製造工程における貴金属粉末の損失を低減できる、貴金属を含む金属系セラミック複合体ターゲットを製造する方法を提供する。
【解決手段】
貴金属を含む金属系セラミック複合体ターゲットを製造する方法が提供される。この方法は、最初に湿式粉末混合工程により、セラミック粉末を磁性金属粉末の表面に均一に付ける工程と、セラミック−金属複合体粉末を得るためにこれを乾燥する工程と、次いで乾式粉末混合工程により、貴金属粉末をセラミックと金属の粉末と均一に混合する工程と、最後に、成形及び圧縮工程を使用してセラミック−金属複合体粉末を成形体ターゲットにする工程とを含む。本発明の製造方法は、磁性金属とセラミックと貴金属の粉末を均一に混合し、ターゲットの製造工程における貴金属粉末の損失を低減することができ、これにより、ターゲットの品質を改良し、その製造コストを削減する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高記録密度を実現しながら、腐食耐性の強い垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体は、少なくとも、非磁性基板、軟磁性裏打ち層（ＳＵＬ）、下地層、中間層、磁気記録層、保護層及び潤滑層をこの順に備え、ＳＵＬは、磁性層に最も近い層であるＳＵＬ（Ａ）と、ＳＵＬ（Ａ）を除く層である２層以上のＳＵＬ（Ｂ）と、隣接する２層のＳＵＬ（Ｂ）間の１または複数の非磁性金属スペーサー層から構成され、ＳＵＬ（Ｂ）は、ＡＦＣをしており、ＳＵＬ（Ａ）は、（ａ）Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉから選ばれる材料と、（ｂ）Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉから選ばれる材料と、（ｃ）Ｗ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｎｂから選ばれる材料によって構成され、ＳＵＬ（Ｂ）は、各層が、それぞれ、表記（ａ）の材料と、（ｃ）の材料によって構成される。 （もっと読む）

【課題】書込みエラーの発生を抑えて情報を高い精度で簡単に記録することができる設計上の自由度が高いパターンドメディアの磁気ディスクと、そのような磁気ディスクを製造することができる磁気ディスク製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク基板と、ディスク基板上に、同心円状に並んで２次元的に並ぶ、外周側ほど周回方向の長さが長い、各々が個別に磁化を保持する複数のドットとを備えた磁気ディスク１００において、各ドットを、ディスク基板に交わる方向を磁化容易軸とする結晶磁気異方性を有する磁性材料で形成するとともに、結晶磁気異方性を弱めるイオン注入を施すものであり、内周側から外周側にかけての同心円状の４つの領域１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄへのイオン注入量を、内周側の領域から外周側の領域にかけて４段階に亘って減少させる。 （もっと読む）

【課題】磁性粒子間の磁気的な分離を十分に行うことができ、しかも垂直磁気記録媒体を容易に製造することができる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上に、磁性粒子１５ａとこの磁性粒子１５ａを取り囲むＭｏＣｕＯ１５ｂとからなるグラニュラー膜１５を形成する。このグラニュラー膜１５をアルカリ溶液または水を用いてウエットエッチングすることによりＭｏＣｕＯ１５ｂを除去し、空隙とする。こうしてＭｏＣｕＯ１５ｂを除去した膜を磁気記録層として用いる。 （もっと読む）

【課題】 真空成膜装置に含まれる基体を保持するキャリアを工夫することで、磁気記録媒体の成膜工程において基体の温度をそれぞれの成膜工程に適した温度に近づけることが可能となるため、磁気記録媒体の品質の向上を図ることができる。
【解決手段】 本発明による磁気記録媒体としての垂直磁気記録媒体１００の製造方法は、真空成膜装置としてのＤＣマグネトロンスパッタリング装置２００を用いて、ディスク基体１１０上に少なくとも磁気記録層１２２を成膜する成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、成膜工程では、キャリア２０８に取り付けられたグリッパ２１６をディスク基体に接触させてディスク基体を保持し、グリッパは複数の金属からなる積層構造であって、グリッパの表層２１６ａを構成する金属はグリッパの下層２１６ｂを構成する金属より熱伝導率が高いことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに良好な浮上性を与え、かつ保護膜との密着性に優れた非磁性層を備えた磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された軟磁性層と、前記軟磁性層上に互いに分離して設けられた凸状の強磁性層からなる複数の磁性パターンと、前記複数の磁性パターン間に形成された、窒素濃度が基板側よりも表面側で高い非磁性層とを具備した磁気記録媒体を搭載したことを特徴とする磁気記録装置。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に、反応性スパッタを用いてグラニュラ構造の磁性層を形成するに際して、スパッタチャンバ内の酸素ラジカル濃度分布の均一性を高め、磁性膜中に取り込まれる酸素濃度を面方向において一様とし、磁気特性、記録再生特性が安定した磁性層を形成することができる磁性層の形成方法と装置を提供する。
【解決手段】反応容器１０１内に、被成膜基板２００を、その面方向が縦方向となるように配置し、スパッタ電極と該スパッタ電極の表面にターゲットが配設されてなる一対の電極ユニットを、各々、ターゲットを被成膜基板２００側にして、被成膜基板２００の両面と対向するように配置し、アルゴンおよび酸素を含む混合ガスを、一対の電極ユニットの各非成膜基板２００側の表面付近に、外周部から中央部に向かって流れるように供給するとともに、排ガスを、前記反応容器１０１の両端部から排気し、反応性スパッタリングによって磁性層を形成する。 （もっと読む）

【課題】グラニュラ記録層のノイズを低減し、磁気クラスタサイズの増加を抑えながらも十分なオーバーライト特性が得られ、高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１０上に少なくとも軟磁性層１１、非磁性中間層１３、垂直記録層及び保護層１７が順次形成された垂直磁気記録媒体において、垂直記録層を三層以上で構成し、基板に近い側から第一の記録層１４、第二の記録層１５、第三の記録層１６とした場合、第一の記録層及び第二の記録層はＣｏとＰｔを含有する強磁性結晶粒子を酸化物の粒界が取り巻くグラニュラ構造を有し、第三の記録層はＣｏを主成分として酸化物を含有しない非グラニュラ構造とする。第一の記録層の粒界はＳｉ、Ｃｒ及び酸素を含有し、かつＴｉ、Ｔａ及びＮｂより選ばれた少なくとも１種の元素を含有する。第二の記録層の粒界はＣｒ及び酸素を含有するか、あるいはＣｒ及び酸素を含有し、かつＳｉ、Ｗ、Ｖより選ばれた１種の元素を含有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、媒体保護層の成膜時に加熱しても、保磁力Ｈｃと信頼性の両方を、より高いレベルで両立させることが可能な垂直磁気記録媒体の製造方法および垂直磁気記録媒体を提供することを目的としている。
【解決手段】ディスク基体１１０上に少なくとも、柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層である磁気記録層１２２ｂと、水素化カーボンを主成分とする媒体保護層１２６とを、この順に備える垂直磁気記録媒体１００の製造方法において、磁気記録層１２２ｂを、粒界部が複数の種類の酸化物を含有するように成膜する磁気記録層成膜工程（ステップＳ３１０）と、磁気記録層１２２ｂが成膜されたディスク基体１１０を１６０〜２００℃に加熱した状態で媒体保護層１２６を成膜する媒体保護層成膜工程（ステップＳ３３０）とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】結晶配向を劣化させず、かつ結晶粒の密度を下げずに、下地層及び磁性層の結晶粒を微細化した垂直磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】ディスク基体１１上に軟磁性層１３、配向制御層１４、下地層１５及び主記録層１７を備える垂直磁気記録媒体１０であって、前記配向制御層１４は、ＮｉＷ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、ＮｉＭｏ、ＮｉＴａ、ＮｉＶ、ＮｉＮｂ、ＮｉＺｒ、ＮｉＨｆ、ＮｉＣｕから選択される少なくとも一つに酸化物を添加してなる合金を主材料とし、配向制御層１４上に成長する下地層１５、主記録層１７の結晶粒を微細化する。 （もっと読む）

【課題】 垂直磁気記録媒体において磁気記録層の磁性粒子の分離孤立化をさらに促進することにより、電磁変換特性（特にＳＮＲ）を高めることを目的としている。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体において、基板上に少なくとも、柱状に連続して成長した非磁性粒子の間に１または複数の酸化物を含む粒界部を形成したグラニュラー構造を有する非磁性グラニュラー層１２０と、非磁性グラニュラー層１２０と連続して形成され、柱状に連続して成長した磁性粒子の間に１または複数の酸化物を含む粒界部を形成したグラニュラー構造を有する磁気記録層１２２と、をこの順に備え、かつ、非磁性グラニュラー層１２０の粒界部に含まれる少なくとも１つの酸化物と、磁気記録層１２２の粒界部に含まれる少なくとも１つの酸化物とが、同じ組成の酸化物であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上方磁気記録層の結晶粒子の間隔を工夫することで、オーバーライト特性を向上させた連続層を備える垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００は、ディスク基体１１０上に少なくとも上方磁気記録層１２２ｂ、連続層１２４をこの順に備える垂直磁気記録媒体であり、上方磁気記録層１２２ｂは柱状に成長した磁性を有する結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、上方磁気記録層１２２ｂの粒界部は、複数の種類の酸化物を含有し、連続層１２４は、ディスク基体１１０主表面の面内方向に磁気的に連続した薄膜からなる。 （もっと読む）

【課題】均等に成長したグラニュラ磁性粒子を有する磁気記録層を備え、低ノイズ、高ＳＮＲである垂直磁気記録媒体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記磁気記録層の成膜時に、１３．５６ＭＨｚ以下の特定の周波数の高周波を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高記録密度の磁気記録媒体を製造すること課題とする。
【解決手段】記録補助層５に、非磁性部９を所定のパターンで形成したため、記録補助層５の磁性部８とその直下の磁気記録層３を記録単位とする磁気記録媒体を実現できる。さらに、記録補助層５と磁気記録層３の間にガード層４を設けたので、記録補助層５の非磁性部９をイオン注入により形成する際に、注入されたイオンが磁気記録層３に拡散するのを防ぎ、高記録密度の磁気記録媒体を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の製造方法において、媒体ノイズを低減可能な磁気記録媒体を製造することを目的とする。
【解決手段】非磁性基板の上方に設けられた中間層上に記録層であるグラニュラ磁性層を形成する磁気記録媒体の製造方法において、Ｃｏ合金からなる複数の磁性粒子及び前記複数の磁性粒子を磁気的に分離する酸化物からなる前記グラニュラ磁性層をターゲットを用いたスパッタリングにより形成し、前記ターゲットは、Ｃｏ合金と、第１の酸化物を形成するＴｉ酸化物及びＳｉ酸化物と、第２の酸化物を形成するＣｏ酸化物を含み、前記ターゲットの前記第１の酸化物の総量はモル分率で約１２mol.%以下であるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１磁気記録層の結晶粒子の間隔を工夫することで、連続層としての機能をも備えさせた連続層を備える垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００は、第１磁気記録層１２２ａおよび第２磁気記録層１２２ｂは柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性物質からなる粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、第１磁気記録層１２２ａにおいて結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定められる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】記録磁性部間の凹部を充填するように成膜された非磁性材料に対して研磨処理を施す研磨工程において非破壊で研磨の程度をモニタリングすることが可能な磁気記録媒体製造方法、磁気記録媒体、および研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体製造方法は、複数の記録磁性部２１ａおよび記録磁性部間２１ａの凹部を有する磁性膜２１上に、非磁性材料を、凹部を充填しつつ成膜する工程と、成膜された非磁性材料に対して研磨処理を施すための工程とを含み、研磨工程中に、被研磨面からの光の強度を検出する工程を含む。本発明の磁気記録媒体Ｘ１は、例えば、複数の記録磁性部２１ａと、複数の記録磁性部２１ａ間に介在し且つルミネセンス材料を含む非磁性部２２とを備える。本発明の研磨装置は、研磨対象物を保持するための手段と、研磨処理を行うための手段と、被研磨面からの光の強度を検出するための手段とを備える。 （もっと読む）