【課題】振動の変位に対する変位電流の直線応答性を良くすることにより、感度のさらなる向上を図った超音波探触子、アレイ探触子および超音波探触子の製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子１００は、基板１０１と、基板１０１上に設けられた下部電極１０２と、下部電極１０２の周囲に設けられたスペーサ１０６と、スペーサ１０６の上面に張られた膜状の上部電極１０７と、上部電極１０７の表面に設けられた保護膜１０８とを備えてなるダイヤフラム構造を有し、下部電極１０２は、振動する上部電極１０７が最も凹んだ形状を取る瞬間に描く曲線に沿った形状を有する。 （もっと読む）

【課題】 メンブレン振動の効率を向上させて、超音波送信効率を向上させた超音波振動子を提供する。
【解決手段】 第１の電極が形成される基板と、該基板から離間した位置に設けられて第２の電極が形成されるメンブレンとから成る超音波振動子セルを複数備え、該第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより、該メンブレンが振動して超音波を発生させる、マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子であって、前記各超音波振動子セルの振動が該超音波振動子セルに隣接する超音波振動子セルに伝達することを抑制する振動伝達抑制手段を備えることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ｃＭＵＴとｐＭＵＴとを組み合わせた超音波振動子を提供する。
【解決手段】 マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子は、超音波を送信させるための制御信号が入力される第１の電極と、前記第１の電極が形成されている基板と、前記第１の電極と所定の空間を隔てて対向している接地電極である第２の電極と、前記第２の電極が積層され、前記第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより振動して前記超音波を発生させるメンブレンと、前記メンブレンと接している圧電膜と、前記圧電膜と導通している第３の電極とを備えることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】静電型超音波トランスデューサにおいて、出力音圧をさらに増加させる。
【解決手段】複数の貫通孔が形成された第１の固定電極と、前記第１の固定電極と対をなす複数の貫通孔が形成された第２の固定電極と、前記一対の固定電極に挟持され導電層を有し、該導電層に直流バイアス電圧が印加される振動膜とを有し、前記一対の固定電極間には交流信号が印加される固定電極構造の複数が、各固定電極構造の対応する貫通穴の位置が一致するように並列に積層されると共に、外部への音波放射面を形成する固定電極構造の振動膜の振動部に対して、他の固定電極構造の振動膜の振動部が加振作用を及ぼすように構成されたことを特徴とする静電型超音波トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】温度による送信（受信）効率の低下を防ぐことができる超音波センサを提供する。
【解決手段】駆動信号を振動に変換するとともに、振動を受信信号に変換する送受信用振動子２０ｃと、送受信用振動子２０ｃを所定周波数で振動させるべく、前記周波数に対応する駆動信号を生成する駆動信号生成部４２と、送受信用振動子２０ｃから出力された信号のうち、前記周波数を含む所定の周波数域を選択的に出力するフィルタ部４４とを備え、送受信用振動子２０ｃにより生じる振動を、ケース１０の底面部１１を介して超音波として外部に出力するとともに、送受信用振動子２０ｃが底面部１１を介して超音波の反射波を受信する構成の超音波センサ１００であって、底面部１１の周囲温度を検出する感温素子４１を含み、駆動信号生成部４２は感温素子４１の出力信号に応じた駆動信号を生成し、フィルタ部４４は感温素子４１の出力信号に応じて周波数域を変化させる。 （もっと読む）

【課題】最小数の熱センサで、全振動子中の最大温度を短時間で精度良く、検出することができる超音波探触子及びこれを用いた超音波診断装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子１は、１次元又は２次元に配列され、一方の端面が超音波発生面を形成する複数の振動子２と、これらの振動子の背面側に一体的に装着されて超音波を減衰させるバッキング３と、このバッキングよりも熱伝導率の大きい材料により短冊形に形成され、その一方の側端部が１次元に配列された振動子のそれぞれに接触し、他方の側端部がバッキングの背面側に露呈するか、又は、突出するようにバッキングに貫装された熱伝導層４と、この熱伝導層の他方の側端部に装着された熱センサ５とを備える。超音波診断装置は超音波探触子と超音波診断装置本体８とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な回路構成で立ち上がりおよび立ち下りにダレの少ないワイヤレス信号を送波可能で周波数変調されたワイヤレス信号の送波も可能なデータ伝送装置を提供する。
【解決手段】出力周波数が可変である発振回路２１を有し発振回路２１の出力を増幅して送信信号として出力する送信回路部２と、送信回路部２からの送信信号により駆動されて超音波を送信する超音波発生素子３と、発振回路２１の出力周波数を制御することにより超音波発生素子３から周波数変調（例えば、ＦＳＫ変調）された超音波からなるワイヤレス信号を送信させる送信制御部４を備える。超音波発生素子３としては、空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生するものを用いている。 （もっと読む）

【課題】超音波斜角探触子において、検出可能な内部欠陥の向きの角度範囲を拡げるとともに、被検査体を広範囲にわたって検査可能とし、しかもこれをコンパクトな構成でかつ探傷システムを複雑化することなく実現する。
【解決手段】振動子１４を、複数の帯状セグメントに分割された構成とする。その際、これら複数の帯状セグメントを、被検査体２の探傷面２ａに対する傾斜角度が異なる２種類の帯状セグメント１４ｓ１、１４ｓ２を１本ずつ交互に配置することにより構成する。これにより、探傷屈折角が異なる２種類の超音波を放射して、被検査体２の内部欠陥６に対して２つの異なる探傷屈折角θ１、θ２で到達させる。これにより内部欠陥６からの明瞭なエコーを得やすくして、内部欠陥６の検出を容易化する。また、振動子１４の大きさを、従来の単一の方向を向いた振動子と略同じ大きさに維持し、これにより検査不能領域を小さくする。 （もっと読む）

【課題】単一の超音波探触子を用いて、被検材の表面から底面までの全探傷範囲を高感度で探傷することができる超音波探傷方法及び装置を得る。
【解決手段】複数の振動子を有するアレイ型超音波探触子１０により超音波を送受信する振動子面積を複数Ｎ段階に変更可能とし、送信回路、３０、受信回路４０等により超音波の送受信周期毎に１段階ずつ順次Ｎ段階に振動子面積を変更して被検材に超音波を送受信して所定探傷範囲の受信信号を取得し、複数Ｎの超音波送受信周期において取得した各送受信周期毎の受信信号をそれぞれＡ／Ｄ変換器５０により量子化して複数Ｎの時系列データとして＃１メモリ５１Ａ、＃２メモリ５２Ａに記憶し、探傷結果評価手段６０が、この記憶した複数Ｎの時系列データを各時系列位置毎に比較し、そのうちの最大振幅値を有するデータを当時系列位置における受信結果データとして抽出する。 （もっと読む）

【課題】メンブレン型の超音波センサを、メンブレン側を受音部材に向けた状態で、受音部材に取りつけてなる取付構造を提供する。
【解決手段】半導体基板１１の裏面側に凹部１３を形成することによって表面側にメンブレン１２を構成し、超音波の印加によるメンブレン１２の振動に基づいて検出を行う超音波センサ１０を、受音部材２０に取り付けてなる取付構造であって、超音波センサ１０は半導体基板１１の表面側にて受音部材２０に対向し、半導体基板１１の表面と受音部材２０との間に半導体基板１１の表面を被覆するキャップ部材３０を介在させ、キャップ部材３０は、その一面側をメンブレン１２とは隙間３１を空けて対向しつつ、メンブレン１２の外周部に接合され、キャップ部材３０の他面側が受音部材２０に接合されている。 （もっと読む）

【課題】 内部に媒体が封入され、駆動板の上に固定配置された圧電／電歪素子を駆動することで音を発生するスピーカにおいて、音の再現性の低下、及び音圧の低下を抑制し得るものを提供すること。
【解決手段】 このスピーカ本体は、駆動板部１３２と、駆動板部１３２の上に固定配置された圧電／電歪素子１４１と、外部に音波を放射するための振動板１４２と、駆動板部１３２と振動板１４２とを支持する固定部１３３を備える。駆動板部１３２と、振動板１４２と、固定部１３３とで区画形成されたキャビティ１３５内に駆動板部１３２の振動を振動板１４２に伝達するための媒体が封入される。駆動板部１３２と固定部１３３とはセラミックスから構成されていて、駆動板部１３２と圧電／電歪素子１４１とが焼成により一体化されている。 （もっと読む）

【課題】 表面に導電部が露出することの無い電気的安全性を確保した静電型超音波トランスデューサを提供する。
【解決手段】 複数の貫通穴１４が形成された第１の固定電極１０Ａと、前記第１の固定電極と対をなす複数の貫通穴１４が形成された第２の固定電極１０Ｂと、前記一対の固定電極に挟持され導電層１２１を有し、該導電層に直流バイアス電源１６により直流バイアス電圧が印加される振動膜１２と、前記一対の固定電極と前記振動膜を保持する保持部材とを有し、前記一対の固定電極間には信号源１６により交流信号が印加される静電型超音波トランスデューサであって、前記第１、第２の固定電極の母材を非導電体１０とし、前記振動膜と対向する対向電極部２１となる前記非導電体表面には導電膜２０が形成され、かつ前記対向電極部の段部１７が絶縁体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で静電力を向上させることにより音圧の向上を図った静電型超音波トランスデューサを提供する。
【解決手段】 複数の貫通穴１４が形成された第１の固定電極１０Ａと、前記第１の固定電極と対をなす複数の貫通穴１４が形成された第２の固定電極１０Ｂと、前記一対の固定電極に挟持され絶縁性フィルム１２１の両面に導電層１２０を有し、該導電層に直流バイアス電源１６により直流バイアス電圧が印加される振動膜１２と、前記一対の固定電極と前記振動膜を保持する保持部材とを有し、前記一対の固定電極間には信号源１８により交流信号が印加される静電型超音波トランスデューサであって、前記第１、第２の固定電極における各々の振動膜側に絶縁皮膜層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高感度な超音波探触子を得ることのできる技術を提供する。
【解決手段】基板１に固定された下部電極３と、空洞４を挟み基板１に対向して設けられたダイアフラム５と、ダイアフラム５に設けられた上部電極６とを含む超音波振動子Ｍ１を同一の基板１に複数個配列して超音波探触子を構成し、空洞４の半径の７０％より外側のダイアフラム５に、その中心をダイアフラム５の中心と同じにする同心円の凸形状のコルゲート領域５ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】超音波音源、スピーカー音源、アクチュエータ等に有用で、とくに超音波センサ音源として有用な、耐電力特性が高くかつ最大発生音圧を大きくすることが可能な、新しい超音波音源さらにその超音波音源を用いた超音波センサを提供する。
【解決手段】熱伝導性の基板（２）と、基板（２）上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる単層の断熱層（３）と、断熱層（３）上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される金属膜からなる発熱体薄膜（４）と、を備えた超音波音源（１）において、断熱層（３）のナノ結晶シリコン層の厚みを、発信する超音波の周波数で規定される熱拡散長以上でかつ熱拡散長に５μｍ加えた厚み以下とする。 （もっと読む）

【課題】超音波送受波器の圧電体と金属部材の接着において、その接着面の表面処理は従来ケミカルエッチング、サンドブラスト等が行われていが、接着面の表面にコンタミ・ブラストのビーズ等が残り、接着において接着強度にばらつきを生じ、超音波の送信，受信特性が安定しないという問題があった。
【解決手段】圧電体を接着する金属部材面にレーザーを照射することにより接着面の表面にコンタミ・ブラストのビーズ等を残すことなく均一的に荒らすことで、接着強度を安定させ、超音波の送信，受信特性を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】価格、融通性、信号隔離、有用な周波数範囲、較正、保守性及び既存設備との適合性に関係する因子において改善された超音波システムを提供する。
【解決手段】複数のロッドから成る剛性のバンドルで、過酷な環境において使用可能であり、広いバンド帯域において作動できる実質上非分散性のバッファを形成する。広範囲の圧力、温度及び流量にわたって気体の流れを測定するに適した好ましい一形態において、本発明のバンドルは、１インチ直径のチューブ内に密に充填された約１０００本のステンレス鋼溶接ロッドから作製される。第１のバンドルと整列する第２のバッファバンドルがフランジの他端に圧力結合されうる。気体から離れた第１のバンドル中に送信された超音波パルスはほとんど損失なく、また歪みなく気体に送信され、同時にトランスジューサは第２バンドルにより熱的に隔離されそしてほぼ周囲温度を維持している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも検出感度を向上する。
【解決手段】本実施形態と従来例とは、ダイヤフラム部３の表面において圧電膜６並びに上部電極７の各層に複数の空所８が設けられている点が異なる。これら複数の空所８は、上部電極７と圧電膜６を貫通して下部電極５の表面まで達し且つ互いに平行な複数の直線状の溝からなる。ダイヤフラム部３の表面における圧電膜６に複数の空所８を設けているため、圧電膜６に発生する残留応力のうちで空所８の長手方向と交差する方向の成分が空所８によって緩和することができる。その結果、残留応力の影響を低減してダイヤフラム部３が撓み易くなるから検出感度が向上できる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも検出感度を向上する。
【解決手段】下部電極部３、圧電膜部４、上部電極部５、酸化膜６においてダイヤフラム部１の撓みに対して残留応力の影響を与えるのはダイヤフラム部１表面に存在する部分であって枠部２表面に存在する部分が与える影響は少ないと考えられる。従って、ダイヤフラム部１の表面における上部電極部５並びに圧電膜部４をダイヤフラム部１よりも狭い範囲に設ければ、上部電極部５並びに圧電膜部４がダイヤフラム部１と同じ若しくは広い範囲に設けられている従来例に比較して、上部電極部５並びに圧電膜部４の残留応力がダイヤフラム部１に与える影響が小さくなってダイヤフラム部１が撓み易くなり、その結果、従来よりも検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 土木構造物等に使用でき、感度の高い超音波探触子を提供すること。
【解決手段】 超音波探触子１は、電極５と電極７の間に送信電圧Ｖｓをかけると、圧電振動子３が振動する。圧電振動子３の振動は、アルミニウムの前面板９を通して、被検体である媒体中に超音波Ｆ_０として発信される。反射法で検査を行う場合、超音波Ｆ_０は被検体の境界面で反射し、反射波が超音波探触子１で受信され、圧電振動子３に受信電圧Ｖｒが発生する。 （もっと読む）