【課題】 従来の振動膜は、圧縮応力を有するメンブレンをキャビティ側に用いていたため、振動膜が大きく撓んでいた。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置は、第一の電極と、前記第一の電極上に形成されたシリコン酸化膜と、前記シリコン酸化膜と間隙を隔てて形成されたシリコン窒化膜と、前記シリコン窒化膜上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、からなる振動膜と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換装置の振動膜の特性のばらつきを低減する。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置は、基板と、前記基板上に形成された第一の電極と、前記第一の電極と間隙を隔てて形成されたメンブレンと、前記メンブレン上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、を有する振動膜と、を備える電気機械変換装置であって、前記第一の電極は、表面粗さの二乗平均平方根値が６ｎｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換装置の振動膜の機械特性ばらつきを低減する。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置の作製方法は、第一の電極上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に第一のメンブレンを形成する工程と、前記第一のメンブレンに第二の電極を形成する工程と、前記第一のメンブレンにエッチングホールを形成し、前記エッチングホールを介して前記犠牲層を除去する工程と、前記第二の電極上に第二のメンブレンを形成する工程と、前記エッチングホールを封止する工程と、を有し、前記第二のメンブレンを形成する工程と、前記エッチングホールを形成する工程とは、同一工程であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】必要に応じて可聴音の品質を高くすることができ、かつ消費電力が高くなることを抑制する。
【解決手段】周波数設定部１２０は、パラメトリックスピーカ１４０から出力される音声に要求される音声品質を示す情報を取得する。そして周波数設定部１２０は、取得した音声品質を示す情報に基づいて、変調信号の周波数を、複数のパラメトリックスピーカ１４０相互間で異ならせるか否かを判断する。そして周波数設定部１２０は、判断結果に基づいて複数のパラメトリックスピーカ１４０それぞれにおける変調信号の周波数を設定する。変調部１３０は、周波数設定部１２０が設定した周波数の変調信号を生成する。この変調信号は、各パラメトリックスピーカ１４０に入力される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を利用した発振装置において、出力を大きくする。
【解決手段】この発振装置は、多面体、及び圧電素子（２０，２２，２４）を有している。多面体は、少なくとも２面が振動板（１０，１２，１４）になっている。そして圧電素子は、各振動板に設けられている。このようにすると、発振板の面積が大きくなるため、発振装置の出力を大きくすることができる。多面体としては、例えば直方体を用いることができる。この場合、同一の頂点を構成する３面に、振動板１０，１２，１４を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を発振源として使用している発振装置において、大型化することを抑制しつつ、出力を大きくする
【解決手段】第１振動子１０は平面視で第２振動子２０と重なっており、かつ開口２６を有している。第２圧電素子２４に入力される駆動信号を基準にしたときの第１圧電素子１４に入力される駆動信号の位相差をθ、第１振動子１０と第２振動子２０の距離をＬ、駆動信号と同一周波数の音波の空気中における波長をλとした場合、以下の式（１）が満たされる。ただし、ｎは正数または０である。
Ｌ＝（ｎ＋θ／（２π））×λ・・・（１） （もっと読む）

【課題】圧電素子を発振源とした発振装置において、大型化を抑制でき、かつ音圧を高くする。
【解決手段】この発振装置は、振動部材１０、圧電素子２０、支持枠４０、第１磁性層２２、及び磁性膜（第２磁性層）３０を備えている。圧電素子２０は、振動部材１０上に設けられている。支持枠４０は振動部材１０の縁を保持している。第１磁性層２２は、圧電素子２０のうち振動部材１０とは逆側の面に設けられており、着磁されている。磁性膜３０は着磁されており、磁性層２２に対向する位置に、磁性層２２と反発しあう向きに配置されている。 （もっと読む）

【課題】音孔から所望の距離において可聴音の音圧が最大となるようにすることが可能な音声出力装置を提供する。
【解決手段】音声出力装置１００は、圧電振動子１０と、圧電振動子１０から出力される超音波を放射する音孔２０と、を有するパラメトリックスピーカを有する。音声出力装置１００は、更に、目標距離の入力操作を受け付ける操作部（例えば、操作部兼表示部４０）と、操作部に入力された距離に応じて音孔２０の開口面積を調節する開口面積調節部（例えば、音孔シャッター部材３１ａ、３１ｂ、アクチュエータ、及び制御部により構成される）を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を用いた発振装置において、その音圧レベルの向上を図る。
【解決手段】発振装置１００は、弾性部材２０と、弾性部材２０の一面に拘束されている圧電振動子１０と、弾性部材２０の一面とは反対の他面に拘束されている圧電振動子１２と、弾性部材２０を支持する支持部材３０と、を備えている。弾性部材２０の一面と圧電振動子１０との間、および弾性部材２０の他面と圧電振動子１２との間には、空洞が形成されている。 （もっと読む）

【課題】送信時に十分なパワーを発生でき、且つ、受信時に十分な感度を得られる超音波振動子を構成する。また、ＤＣバイアスを必要としない超音波振動子を構成する。
【解決手段】超音波振動子は複数のセル１４を有する。各セル１４において、キャビティ２０の上方には振動膜２２が設けられ、それはシグナル電極層２４及びグランド電極層２６を備えている。振動膜２２の本体は圧電材料を含み、そこでの圧電効果により生じた電圧が２つの電極層２４，２６により検知される。キャビティ２０の上方には振動膜２２と共に運動するマグネット３０が設けられ、その下方には電磁石チップ３６が設けられている。電磁石チップ３６が交番磁界を生じさせ、これによりマグネット３０に吸着力及び反発力が周期的に生じる。その結果、振動膜２２が超音波振動する。 （もっと読む）

【課題】圧電性能のばらつきが小さい、コンポジット材を積層した圧電部を備えた超音波探触子及び超音波診断装置を低コストで提供できる。
【解決手段】被検体に超音波を送信し前記超音波が被検体において反射して生成された反射超音波を受信して電気信号に変換する圧電部を有する超音波探触子。
圧電部は、圧電体と非圧電体とが交互に並列に配列されてなる複数の圧電層が積層されたものであり、
複数の圧電層のうち少なくとも１つの圧電層は、複数の圧電層のうち他の１つの圧電層と、圧電体と非圧電体の配列の方向が異なる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いており、出力を向上させた発振装置を提供する。
【解決手段】この発振装置は、第１圧電素子１１０、第１圧電フィルム１２０、第２圧電フィルム１３０、及び枠体１４０を備えている。第１圧電フィルム１２０は、平面形状が第１圧電素子１１０よりも大きく、第１圧電素子１１０の第１面に接している。第２圧電フィルム１３０は、平面形状が第１圧電素子１１０よりも大きく、第１圧電素子１１０の第１面とは逆側の面に接している。枠体１４０は、第１圧電フィルム１２０及び第２圧電フィルム１３０を保持している。 （もっと読む）

【課題】圧電型の電気音響変換器を有する電子機器が小型であっても、後気室の空気容量を十分に確保することができる電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器１００は、筐体１１０内に固定された回路基板２２０及び電気音響変換器２１０を有し、電気音響変換器２１０は、シート状の振動部材２１２と、振動部材２１２に取り付けられた圧電振動子２１１と、振動部材２１２を支持した支持部材２１３を有する。振動部材２１２と回路基板２２０との間に主後気室２４０が形成され、回路基板２２０と、回路基板２２０を基準として主後気室２４０とは反対側の筐体内面１１０ｂと、が離間している。回路基板２２０には、主後気室２４０に面する通気孔２２１が形成され、通気孔２２１を介して、主後気室２４０と、回路基板２２０と筐体内面１１０ｂとの間の空間である副後気室２５０と、が連通している。 （もっと読む）

【課題】高効率な発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、圧電素子１２０の両方の主面を個々に拘束する一対の弾性部材１３０が主面と直交する方向に拡開して支持フレーム１１０に接合されている。弾性部材１３０からなる非拘束部１３２が傾斜状に支持フレーム１１０に接合するため、圧電素子１２０の振動のストロークを増やすことができ、発振の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】分割振動の発生を抑制して高効率で大音量の再生が可能な圧電型の発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、分割振動の節目となる圧電素子１２３と弾性部材１２２の接合面を圧電素子１２３で覆うことで、強度を強化し、分割振動姿態を抑制させることができる。このため、音波の干渉を抑制でき、音圧レベルを増加させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】小型薄型でも充分な音圧レベルを実現することができる発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、圧電素子１２３より比重が高い軸心部材１３０が平面形状で圧電素子１２３と弾性部材１２２と振動フィルム１２１との中心を貫通している。このため、この軸心部材１３０がウエイトの役割を果たし、圧電素子１２３と弾性部材１２２と振動フィルム１２１からなる圧電振動子１２０の慣性効果を増大させるので、その振動振幅を増加させることができる。従って、小型薄型の圧電型の電気音響変換器１００に高い音圧レベルを確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 頭部表面の複雑な形状の曲面に沿って密着適用でき、広い周波数範囲にわたる超音波振動を患者に照射できる医療用超音波振動子を提供する。
【解決手段】 医療用超音波振動子１０は、ＰＶＤＦフィルム積層体１１の第１表面に正電極１１ａ、第２表面に負電極１１ｂを形成した第１の振動子２０（振動子系Ａ）とＰＶＤＦフィルム積層体２１の第１表面に正電極２１ａ、第２表面に負電極２１ｂを形成した第２の振動子３０（振動子系Ｂ）とを間隔Ｌを隔てて配置、第１及び第２の振動子との対抗面間に、ＰＦｅの微小気泡（バブル）４１ａを含むリポソーム等の粘性を有する液体４１が封入されて構成される。振動子系Ａ及び又は振動子系Ｂを駆動により微小気泡４１ａの崩壊で発生する超音波γと、振動子系Ａの超音波α及び振動子系Ｂの超音波βが合成された広い周波数範囲にわたる複数の超音波δを患者に照射できる。 （もっと読む）

【課題】分割振動の発生を抑制することができる圧電型の発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、弾性部材１２２の一面の中心部に高剛性な第一の圧電素子１２３が配置されているとともに外周部に低剛性な環状の第二の圧電素子１２４が配置されている。その動作原理は、第一の圧電素子１２３と第二の圧電素子１２４を同時に駆動することで振動を発生させる。分割振動モードにおいては、弾性部材１２２と外周部と中心部で互いに異なる位相で変形するため、第二の圧電素子１２４に対して剛性の高い第一の圧電素子１２３が位置することで中心部の振動を抑制でき、分割振動の姿態を変形することが可能であり、音圧レベルを増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】分割振動の発生を抑制することができる圧電型の発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、圧電素子１２３の周縁部が補強部材１３０で補強されている。分割振動モードにおいては、弾性部材１２２の周縁部と中心部とが互いに異なる位相で変形する。このため、分割振動の節目となる圧電素子１２３の周縁部が補強されているので、その剛性を局所的に強化することができる。従って、分割振動の姿態を変形することが可能であり、音圧レベルを増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】占有面積が小さいながらも大音量の出力が可能な発振装置を提供する。
【解決手段】電気音響変換器１００は、圧電素子１１０を拘束する弾性部材１２０が発条部分１３０で基板ＢＰに連結されている。このため、圧電素子１１０と弾性部材１２０とが基板ＢＰに対して弾発的に振動することができ、その振動を共振により増強することができる。従って、高効率に大音量の出力が可能であり、例えば、アレイ状に配列した場合でもキャンセリングやエネルギーロスを解消することができる。 （もっと読む）