【課題】電解エッチングにより、拡散律速に依存せず比較的高速に犠牲層をエッチングできて、キャビティを良好に形成できる容量型電気機械変換装置の作製方法及び容量型電気機械変換装置を提供すること。
【解決手段】基板５上に犠牲層を形成し、犠牲層の上に振動膜３を形成し、外部から犠牲層に通じる複数のエッチング液導入用エッチング孔を形成する。キャビティ１０に面する表面が露出した電極８を電解エッチング用の一方の電極として、外部に設けた他方の電極との間で通電し、犠牲層を電解エッチングすることで犠牲層を除去してキャビティを形成する。複数のエッチング孔は、エッチング工程で、隣接するエッチング孔を中心とする犠牲層のエッチングの前線が振動膜の存在する領域で交わることが無い位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】低コストで、超音波プローブ内における取り回しが容易な、振動子全てからの信号の引き出しを提供する。
【解決手段】超音波プローブ１は、配列された複数の圧電体と、複数の圧電体の放射面側に設けられた第一の電極１１と、複数の圧電体の背面側にそれぞれ設けられた複数の第二の電極１５と、複数の端子１９をそれぞれ有する重ねられた複数のフレキシブル印刷配線基板と、第二の電極１５と端子１９とをそれぞれ接続する接続部１７とを具備し、フレキシブル印刷配線基板の少なくとも一つは、下層のフレキシブル印刷配線基板３９の端子１９が第二の電極１５に対して露出するように切り欠かれ、または配置される。 （もっと読む）

【課題】電極上に超音波探触子の他の部材を加圧接着しても、振動子に割れ等の損傷を抑制する超音波探触子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子１は、振動子本体部１０と、前記振動子本体部の一面に設けられる第１電極１２と、前記振動子本体部のもう一方の面に設けられる第２電極１４と、前記振動子本体部の一面及びもう一方の面の側辺部のうち少なくともいずれか一方の側辺部に形成される無電極部２２ａ，２２ｂと、を有する振動子を含み、前記無電極部には、前記第１電極及び前記第２電極と同じ厚みであって、前記第１電極及び前記第２電極と電気的に非導通のスペーサ２４ａ，２４ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】生体接触部分の上昇の抑制。
【解決手段】ケース１０は、操作者により把持される。圧電振動子２１は、ケース１０内に配置され、電極を有し、超音波を送受信する。背面材２４は、圧電振動子２１の下面側に配置され、圧電振動子２１からの超音波を減衰させる。放熱部材４０は、背面材２４の側面に接合され、ケース１０の下部側に延設され、背面材２４の熱が流入される。フレキシブルプリントサーキット３０は、電極に接続された配線を有し、圧電振動子２１に対して電気信号を送受信する。ケーブル５０は、ケース１０の下部において保持され、フレキシブルプリントサーキット３０に接続されている。ケーブル１０は、放熱部材４０の熱を放出するために放熱部材４０に接続された複数のシールド線５３を有する。 （もっと読む）

【課題】２次元アレイの超音波トランスデューサおよび当該超音波トランスデューサを有する超音波プローブにおいて、超音波放射面の面積や、圧電素子の配列形状にかかわらず、容易に圧電素子から信号路（接続リード）を引き出し、当該引き出された信号路と電子回路とを接続することを目的とする。
【解決手段】圧電素子の背面電極から引き出される接続リードを設けた配線基板が、背面電極と導通される第１接続部を有する面と、当該面に交わるとともに接続リードを有する面と、電子回路と導通される第２接続部を有する面とを備え、また第１接続部それぞれから引き出された接続リードを介し、電子回路と接続される第２接続部を側面および背面の少なくともいずれか一方の面にまとめる。 （もっと読む）

【課題】超音波トランスデューサー間に電極から引き出される電極線の本数を少なくできる超音波センサーを提供すること。
【解決手段】センサー基板上に、超音波トランスデューサー３０がセンサー基板に対して互いに直交する二方向に沿って配置された超音波センサーであって、センサー基板は、当該センサー基板を厚み方向に沿って見た平面視において、互いに直交するＸ軸Ｌ１及びＹ軸Ｌ２により分割される領域Ａｒ１〜Ａｒ４を備える。そして、各領域Ａｒ１〜Ａｒ４内において、各超音波トランスデューサー３０の下部電極から引き出される各下部電極線３３４は、Ｘ軸Ｌ１及びＹ軸Ｌ２の互いに交差する基板中心点Ｏから離れる方向に延びている。 （もっと読む）

【課題】医療用超音波診断装置において、超音波トランスデューサに多層圧電体を用いて高調波を送受波するにあたって、高調波成分を増加させると同時に基本波成分を減衰させる。
【解決手段】３層圧電体を用いて３次高調波を送受波するにあたって、その３層を分極方向を揃えて積層するのではなく、一部の向きを逆方向にする。具体的には、両端の電極を端子に接続して各圧電体を直列接続する。そして、圧電体１の残留分極の向き（＋Ｐ）を基準として、圧電体２および圧電体３を逆方向（−Ｐ）とすると、端子間の電場は、λ／４共振ではその感度が打ち消され、３λ／４共振においては強調される。こうして、フィルタやアンプを用いることなく、基本波を抑え、３次高調波を抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】不要物質の浸透による感度低下や故障を防止し、かつ製造工程の短縮化、管理項目の低減により、安価な超音波探触子を提供する。
【解決手段】超音波を送受信する方向に、順に音響レンズ、１〜１０層の音響整合層、圧電振動子、バッキング材が接着され積層された超音波探触子において、該音響レンズと接する該音響整合層の表面と該バッキング材を含む該超音波探触子全体に連続して補強層を施し、かつ、該補強層が、ポリウレア樹脂であることを特徴とする超音波探触子。 （もっと読む）

【課題】多層圧電体を用いて高調波を送受波するにあたって、高調波成分を増加させると同時に基本波成分を減衰させる。
【解決手段】３層圧電体を用いて３次高調波を送受波するにあたって、その３層を分極方向を揃えて積層するのではなく、一部の向きを反方向にするとともに、電極引回しを工夫する。具体的には、互いに隣り合う圧電体の離反側の面の電極同士を連絡して２つの端子にそれぞれ接続する。そして、圧電体１の残留分極の向き（＋Ｐ）を基準として、圧電体２を同方行（＋Ｐ）、圧電体３を逆方平行（−Ｐ）とすると、端子間の電気変位は、λ／４共振ではその感度が打ち消され、３λ／４共振においては強調される。こうして、フィルタやアンプを用いることなく、基本波を抑え、３次高調波を抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】医療用超音波診断装置において、超音波トランスデューサに多層圧電体を用いて高調波を送受波するにあたって、高調波成分を増加させると同時に基本波成分を減衰させる。
【解決手段】３層圧電体を用いて３次高調波を送受波するにあたって、その３層を分極方向を揃えて積層するのではなく、一部の向きを逆方向にするとともに、電極引回しを工夫する。具体的には、互いに隣り合う圧電体の離反側の面の電極同士を連絡して２つの端子にそれぞれ並列接続する。そして、圧電体１の残留分極の向き（＋Ｐ）を基準として、圧電体２を同方向（＋Ｐ）、圧電体３を逆方向（−Ｐ）とすると、端子間の電気変位は、λ／４共振ではその感度が打ち消され、３λ／４共振においては強調される。こうして、フィルタやアンプを用いることなく、基本波を抑え、３次調波を抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】超音波を良好に受発信できる超音波センサーを提供すること。
【解決手段】開口部２１１を有するセンサーアレイ基板２と、センサーアレイ基板２上に設けられて、開口部２１１を閉塞する支持膜３と、支持膜３の厚み方向から見る平面視において、開口部２１１の内側領域に設けられ、支持膜３上に形成される圧電体と、平面視において、少なくとも開口部２１１が形成される領域において、支持膜３との間で、外部空間から密閉される第１空間Ｓ１を形成するとともに、開口部２１１に対向して、手指に接触可能な接触部５２２を備える第１樹脂部５２と、第１空間Ｓ１に連通し、外部空間から密閉される第２空間Ｓ２を形成する第２樹脂部５３と、第１空間Ｓ１及び第２空間Ｓ２に充填される超音波伝達媒体６と、を備える。第２樹脂部５３の少なくとも一部には、支持膜３の膜厚方向の剛性よりも小さい剛性の可撓部５３２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子によって構成された超音波発生器およびその超音波発生器を使用している超音波センサにおいて、圧電素子の電極に高電圧を印加しても圧電素子が脱分極することがない超音波発生器および超音波センサを提供する。
【解決手段】積層あるいは単板の圧電素子１にて構成され、圧電素子１は正電極８から負電極９の方向へ分極されていて、圧電素子１の正電極８に交流電圧を印加することで駆動する超音波発生器において、圧電素子１の正電極８に印加する交流電圧に直流バイアス電圧を加えて印加する。 （もっと読む）

【課題】振動特性に優れ、広帯域高感度の積層型超音波トランスデューサ用圧電基板積層体の製造方法の提供。
【解決手段】第１圧電基板には、上面に第１溝，下面に第２溝を設けて、電極層を第１電極，第２電極に分離して形成する。第２圧電基板には、上面に第３溝，エッジに研磨部を設けて、第３電極，第４電極に分離して形成する。前記第１圧電基板の前記第２溝と前記第２圧電基板の前記第３溝とが向かい合うように前記第１圧電基板と前記第２圧電基板とを積層し、前記第１電極と前記第４電極とを第１電極ノード４２に形成し、前記第２電極と前記第３電極とを第２電極ノード４４に形成する。前記第２溝は、前記第１溝よりも広く、前記第３溝の広さと同じに形成する。 （もっと読む）

【課題】超音波の減衰が少ない音響レンズ、該音響レンズを製造する製造方法、及び、該音響レンズを有する超音波探触子、及び、該超音波探触子を有する超音波診断装置を提供する。
【解決手段】添加物の音波の伝播速度は母材と異なり、母材に占める添加物の体積割合が、超音波を所定の距離に収束させるように、超音波の入射する面に入射する超音波の位置に応じて連続的に変化した状態であることを特徴とする音響レンズ。 （もっと読む）

【課題】高い周波数の超音波を低損失で収束させることができる音響レンズ、該音響レンズを有する超音波探触子、および該超音波探触子を有する超音波診断装置を提供する。
【解決手段】超音波を第２のレンズ面の入射する位置に応じて異なる媒質の中を進行させるレンズ体と、全面が同じ媒質からなる第１のレンズ面の媒質と、第２のレンズ面で接合するレンズ体の複数の媒質との間で、超音波の伝播速度と音響インピーダンスがそれぞれ単調に変化するように構成された第１音響整合体と、全面が同じ媒質の媒質からなる第４のレンズ面の媒質と、第３のレンズ面で接合するレンズ体の複数の媒質との間で、超音波の伝播速度と音響インピーダンスがそれぞれ単調に変化するように構成された第２音響整合体と、を有することを特徴とする音響レンズ。 （もっと読む）

【課題】振動膜及び基板の間に介在する介在部材、該振動膜及び該基板の間の固定部分、該振動膜及び該基板の全体にて応力発生が抑制できると共に、犠牲層を形成する工程及び孔をあける工程を省くことができ、ガスエッチングに起因する振動膜の損傷のおそれがなく、高い再現性及び信頼性、かつ簡略化された工程にて製造することが可能な超音波振動子ユニット及び超音波プローブを提供する。
【解決手段】基板の一面側に設けられた基板側電極と、該基板側電極と一面が対向するように配置された振動膜と、該振動膜の他面に設けられた膜側電極とを備える超音波振動子を、基板上に複数設けた超音波振動子ユニットにおいて、基板側電極の一部が該基板の一面に露出するように、該基板側電極を該基板に埋設し、静電引力及び化学結合によって、該振動膜及び該基板の間に、金属性の介在部材を固定する。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子を構成する超音波振動子から後方へ放射される不要な超音波の減衰率が高い上に、適切な音響インピーダンスを有し、かつダイシングする際の熱変形が少ない超音波探触子用バッキング材を提供する。また、それを用いた超音波探触子及び超音波医用画像診断装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子を構成する超音波振動子の後方に設けられ、超音波振動子から後方に放射された超音波を減衰する超音波探触子用バッキング材であって、当該バッキング材が母材とフィラー混合物を含有し、かつ当該母材がナノコンポジット化エポキシ樹脂である超音波探触子用バッキング材。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子を構成する超音波振動子から後方へ放射される不要な超音波の減衰率が高い上に、適切な音響インピーダンスを有し、かつダイシングする際の熱変形が少ない超音波探触子用バッキング材を提供する。また、それを用いた超音波探触子及び超音波医用画像診断装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子を構成する超音波振動子の後方に設けられ、超音波振動子から後方に放射された超音波を減衰する超音波探触子用バッキング材であって、当該バッキング材が母材とフィラー混合物を含有し、かつ当該フィラー混合物として、柔軟性エポキシ樹脂とフィラーを複合して形成されたフィラー複合粒子を含有する超音波探触子用バッキング材。 （もっと読む）

【課題】振動部とこれを支持する支持部との境界部の強度が調整されて優れた感度と信頼性を有する静電容量型電気機械変換装置を提供することである。
【解決手段】静電容量型電気機械変換装置は、少なくとも１つのセルを有する。セルは、第１の電極２と、第１の電極２と対向し空隙３を隔てて配設された第２の電極４を含む可動な振動部と、振動部を支持する支持部８、９とを含む。振動部と支持部８、９との境界部の強度を調整するために強度調整部６、１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高い周波数の超音波を低損失で収束させることができる音響レンズ、該音響レンズを有する超音波探触子、および該超音波探触子を有する超音波診断装置を提供する。
【解決手段】中央部の厚みが周辺部の厚みより薄く、一方の面が凹面である第１レンズ体と、超音波の伝播速度が前記第１レンズ体より遅い材料から形成され、中央部の厚みが周辺部の厚みより厚く、一方の面が凸面である第２レンズ体と、対向する凹面と凸面の間に配置され、第１レンズ体の凹面と第２レンズ体の凸面が、超音波の反射を抑制する構造に接合されて配置されることを特徴とする音響レンズ。 （もっと読む）