【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は複数に分割され、該分割されてなる複数の分割載置部１２−１〜１２−９の少なくとも一部は、前記樹脂スタンパの前記反対側の面側から前記樹脂スタンパを固定する固定機構と、前記載置台の載置面の平面方向に移動する移動機構と、を有することを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ１０。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント用のモールドにおいて、レジストの厚さムラを低減することを可能とし、かつモールドに高い耐久性を付与することを可能とする。
【解決手段】微細な凹凸パターン１２が形成されたパターン領域１３を一方の表面１１に有し、かつ、他方の表面１４における高低差分布に関する３σ値が１〜６ｎｍであるパターン付基板１０と、少なくともパターン領域１３に対応する部分が中抜きされた形状を有し、かつ、パターン付基板１０の厚さ以上の厚さを有する中抜き基板３０と、上記他方の表面１４と当該他方の表面１４に対向する中抜き基板３０の表面とを接合するように、パターン付基板１０および中抜き基板３０の間に形成された金属膜２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】転写成形された微細構造を損傷させることなく迅速にスタンパから剥離することができる微細構造体の剥離方法及び剥離装置を提供する。
【解決手段】微細構造が転写成形されスタンパ1に付着した微細構造体2をそのスタンパ1から剥離するにさいして、微細構造体2の隅部2aからその微細構造体2とスタンパ1との間に冷却用の気体が入り込む方向に気体を噴出させ、その微細構造体2が中心部分を残してスタンパ1から剥離されつつあるときに、微細構造体1の上面から吸引力を作用させてその微細構造体2をスタンパ1から完全に剥離させる。 （もっと読む）

【課題】 良好な記録再生が可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は、基板と、基板上に設けられ、磁性材料を含有する磁気記録層と、保護層とを含む。磁気記録層は、面内方向に規則的に配列されたパターンを有する記録部と、記録部の飽和磁化よりも低い飽和磁化を有する非記録部を含む。非記録部は、磁性材料と、飽和磁化の値を該記録部の飽和磁化の値よりも低下せしめる失活種と、保護層の成分とを含有する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録層が所定のパターンに加工された磁気記録媒体において、良好な記録再生特性を得る。
【解決手段】磁気記録媒体１０は、垂直磁気記録層５、クロム、チタン、及びシリコンから選択される磁性失活元素を含むＲｕ非磁性下地層２、及び非磁性基板１を含む積層に、磁性失活ガスを用いてガスイオン照射を行なうことにより形成される。ガスイオン照射を行なう前の垂直磁気記録層は、鉄及びコバルトのうち少なくとも１つ、及びプラチナを含有する。ガスイオン照射には、ヘリウム、水素、及びＢ_２Ｈ_６からなる群から選択される少なくとも１種のガスと窒素ガスの混合ガス、あるいは単独の窒素ガスのいずれかを使用する。 （もっと読む）

【課題】同期信号の基準クロックとデータパターンのクロックの差に起因する磁気記録装置における読み書きエラーの発生を抑制する。
【解決手段】複数のトラックが同心円状に形成されるように、データ部２１とサーボ部とが基板上に形成され、磁気記録媒体又はワーキングモールドをインプリントにより製造する際に用いられる原盤において、データパターンが、所定のクロックに応じた間隔でドット状に形成された部分であり、各々のトラックにおいて少なくとも前記データ部のデータパターンの形態が１ドットごとに径方向及び周方向に分離されており、サーボパターンの少なくとも一部には、基準クロックを生じさせる同期信号生成部２２１ａが形成されており、各々のトラック内において、前記データパターンのクロックが、前記同期信号生成部のパターンの基準クロックの自然数倍である。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の製造に、より生産効率の高い埋め込み層の形成方法を適用すること。
【解決手段】基板上に設けられた記録磁性層の有する凹凸パターンに対して、高周波スパッタリング法により埋め込み層を成膜する際に、引き込み電界によりプラズマ中の正イオンを基板に引き込みながら、引き込み電界を形成しない時と比較した成膜速度比が９０％以下となる条件で埋め込み層を成膜する。 （もっと読む）

【課題】化学増幅レジストの性能を引き出すことにより、高い解像性能と良好なパターン品質を有するレジストパターンが得られるレジスト付き基体の製造方法、レジストパターン付き基体の製造方法、パターン付き基体の製造方法及びレジスト処理方法を提供する。
【解決手段】基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行うパターン露光前ベーク工程と、を有し、前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると前記レジスト層の残膜率が９５％以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行う。 （もっと読む）

【課題】ブロックコポリマーの相分離を利用して、基板表面に、位置及び配向性がより自在にデザインされたナノ構造体を備える基板を製造することができるブロックコポリマーを含む層のパターン形成方法の提供。
【解決手段】基板１上に芳香族環含有モノマー由来の構成単位を有する樹脂成分を含有する下地剤を塗布し、該下地剤からなる層２を形成する工程（１）と、複数種類のポリマーが結合したブロックコポリマーを含む層３を前記下地剤２からなる層表面に形成した後、前記ブロックコポリマーを含む層３を相分離する工程（２）と、前記ブロックコポリマーを含む層３のうち、前記ブロックコポリマーを構成する複数種類のポリマーのうちの少なくとも一種類のポリマーからなる相３ａを選択的に除去する工程（３）と、を有することを特徴とするブロックコポリマーを含む層のパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状ラフネスを増加させることなく、パターンを転写することを可能にする。
【解決手段】基板上にハードマスクを形成する工程と、ハードマスク上にマスク補助材を形成する工程と、マスク補助材上に海島構造を有するジブロックコポリマー層を形成する工程と、ジブロックコポリマー層に前記海島構造の島部が凸部となる凹凸状構造のパターンを形成する工程と、ジブロックコポリマー層に形成されたパターンをマスクとしてマスク補助材およびハードマスクをエッチングし、ハードマスクにパターンを転写する工程と、を備え、マスク補助材はエッチング速度が、ハードマスクのエッチング速度より大きく、ジブロックコポリマーの海島構造の海の部分のエッチング速度より小さい材料である。 （もっと読む）

【課題】データの記録領域として磁性細線でトラックを形成した磁気ディスクにおいて、再生方式によらずに高記録密度化の可能な磁気ディスクを提供する。
【解決手段】磁気ディスクは基板上に磁性細線５を同心円状に備え、それぞれの磁性細線５は、相対的に飽和磁化の低い低Ｍs領域５ｅをイオン注入により形成されたことを特徴とする。磁性細線５は「０」または「１」のデータを連続して記録され、データを記録された領域は磁区として、磁性細線５の両端に接続した電極６１，６２にて供給されるパルス電流により磁性細線５中を断続的にシフト移動する。磁区は低Ｍs領域５ｅに到達しているときにその長さが伸長するため、この領域に再生領域５ｒを設けて、データを入射光のレーザースポットや磁気ヘッド２１で磁気の検出可能な磁区の大きさに拡大して再生でき、磁性細線５の低Ｍs領域５ｅ外においてはデータを長さＬbの磁区に圧縮して格納できる。 （もっと読む）

【課題】 効率的に且つ十分に非記録部の磁性が失活した磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に磁気記録層を含む磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、記録部と非記録部とから成るパターンを有し、前記非記録部は、前記記録部が非磁性化した構造を有し、前記非記録部は、バナジウムおよびジルコニウムから成る群から選択される少なくとも１つの金属元素と、窒素、炭素、ホウ素および酸素から成る群から選択される少なくとも１つの元素とを含み、前記非記録部に含まれる窒素、炭素、ホウ素および酸素から成る群から選択される少なくとも１つの元素の含有量は、前記記録部に含まれる元素の含有量よりも多い磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム膜を有する磁気記録媒体基板上にインプリント法を用いて陽極酸化アルミナナノホールを形成する場合において、細孔が高度に周期配列した陽極酸化アルミナナノホールを形成させるための磁気記録媒体用スタンパの製造方法、ならびにそれを用いる磁気記録媒体基板および磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板に電子ビーム描画方法により、等間隔のドット状または矩形状のパターンを描画し、異方性エッチングすることにより、アルミナノホールのサイズよりも十分小さい逆ピラミッド形状のピットを有する磁気記録媒体用スタンパを作製する。これを用いて陽極酸化アルミナナノホールを形成する。 （もっと読む）

【課題】高いＳＮＲを確保しつつ信頼性を向上することが可能な垂直磁気ディスクの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気ディスクの製造方法の構成は、基板上に、第１の圧力の雰囲気ガス下でＲｕまたはＲｕ合金からなる第１下地層を成膜する第１下地層成膜工程と、第１の圧力より高い第２の圧力の雰囲気ガス下でＲｕまたはＲｕ合金からなる第２下地層を成膜する第２下地層成膜工程と、第１の圧力より高く且つ第２の圧力よりも低い第３の圧力の雰囲気ガス下で、ＲｕまたはＲｕ合金を主成分とし酸化物を副成分とする第３下地層を成膜する第３下地層成膜工程と、第３下地層より上層に、柱状に成長したＣｏＣｒＰｔ合金を主成分とする磁性粒子の周囲に酸化物を主成分とする非磁性物質が偏析して粒界部が形成されたグラニュラ磁性層を成膜するグラニュラ磁性層成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自己組織化リソグラフィーにより作成されるサーボ信号領域のドット配列の乱れを抑制し、サーボ信号の品質低下を防止した磁気記録媒体を得る。
【解決手段】自己組織化によりパターン形成された複数の磁気ドットを含む磁気記録媒体において、そのバースト部は、幅方向の中央部の磁気ドットの密度よりも、その周縁部の磁気ドットの密度の方が高い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非磁性部を構成する樹脂の選択の幅を広げることが可能であり、かつ磁気記録媒体の表面を平滑な面にすることのできる磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置を提供することを課題とする。
【解決手段】非磁性基板の表面に磁性層を形成し、次いで、磁性層のうち、非磁性部の形成領域に対応する部分をエッチングすることで、非磁性部が形成される溝と、磁性層よりなる磁気記録部とを形成し、次いで、磁気記録部の表面に、溝を埋め込むように活性エネルギー線硬化性官能基を有した樹脂を塗布し、次いで、板材の平滑な面が樹脂の表面と接触するように、板材を樹脂に押圧して、樹脂の表面を平滑な面にし、次いで、板材を樹脂から除去し、その後、平滑な表面を有した樹脂のうち、磁気記録部の表面よりも上方に位置する部分をエッチングにより除去することで、溝に非磁性部を形成する。 （もっと読む）

【課題】インプリント耐性を十分に備えながらも、精度良くパターンを転写させる。
【解決手段】インプリントにより所定のパターンを被転写物に転写するための元型モールド３０に離型層が設けられる離型層付きモールドにおいて、前記離型層に含まれる化合物の分子鎖における主鎖にはフルオロカーボンが含まれ、前記化合物の分子鎖は、元型モールドに対して吸着している吸着官能基を少なくとも２個以上有し、前記吸着官能基において、前記吸着官能基と元型モールドとの吸着の元となる結合エネルギーが、前記化合物の分子鎖における吸着官能基同士の結合エネルギーよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスク上に繰り返し発生した欠陥をスタンパの経時的変化による劣化により発生した欠陥と、プロセスの不良により発生した欠陥とを識別して、スタンパの経時変化により発生した欠陥を検出する。
【解決手段】試料上に塗布されたレジストに微細なパターンを転写するためのスタンパの不良を検出するパターンドメディア用スタンパの検査方法において、表面に塗布されたレジスト膜にスタンパの微細なパターンが転写された試料に光を照射し、光が照射された試料からの反射光を分光検出し、分光検出して得た検出波形から欠陥を抽出し、抽出した欠陥のうち複数の試料上の同じ位置に発生した欠陥についてスタンパに起因する欠陥と、レジスト膜のパターンを形成するプロセスに起因する欠陥とを弁別し、スタンパに起因する欠陥の個数が予め設定した個数を超えたときに警告を通知するようにした。 （もっと読む）

【課題】 室温での光ナノインプリントが可能であり、且つ硬化物の溶剤溶解性に優れる光硬化性組成物とリフトオフ法を併用することにより、容易に微細構造体を作製可能な微細構造体の製造方法とその製造方法により得られた優れたパターンを有する微細構造体、ならびに該微細構造体からなるハードディスク、グレーティング、半導体材料、ＭＥＭＳ作成用材料、ホログラム、導波路、プラズモンデバイス、及び偏光板又は偏光フィルムを提供する。
【解決手段】 本発明の微細構造体の製造方法は、重合性モノマーを含み、前記重合性モノマーのうち９０重量％以上が１種又は２種以上の単官能のラジカル重合性モノマーであり、前記１種又は２種以上の単官能のラジカル重合性モノマーの重合物のガラス転移点が２５℃以上であり、且つ硬化物が溶剤に溶解可能な光硬化性組成物を使用して、リフトオフ法により微細構造体を作製することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスクリートトラック構造の精度を良好に保ち、良好なトラック間の磁気分離性能を有しながら、かつ簡便な方法で製造でき、生産性に優れたディスクリートトラック構造の製造方法を提供することにある。
【解決手段】非磁性基板上にアルミニウム膜を形成し、陽極酸化により自己組織的にナノホールを有するアルミナ層を形成し、記録トラック領域が露出したレジストパターンを形成し、記録トラック領域のナノホールに磁性材料を成膜する工程を備えたことを特徴とする。
ナノインプリント法により、ナノホールを形成する位置に凹部を形成する工程をさらに備えることが好ましい。チタンからなる第１下地層と金からなる第２下地層をさらに備えることが好ましい。 （もっと読む）