【課題】均一な形状、粒径及び磁気特性を有するＦｅＰｔ又はＣｏＰｔナノ粒子を、その磁化容易軸の向きを垂直に揃えて非磁性基板の表面に均一に配列することが可能な磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板２の表面２ａにテクスチャリング処理を施すことにより、円周方向成分を有する複数の溝３を形成する工程と、テクスチャリング処理が施された非磁性基板２の表面２ａに、ＦｅＰｔ又はＣｏＰｔナノ粒子５の分散溶液を接触させることにより、この非磁性基板２の上に垂直磁性層４となるＦｅＰｔ又はＣｏＰｔナノ粒子配列体５Ａを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非磁性部を構成する樹脂の選択の幅を広げることが可能であり、かつ磁気記録媒体の表面を平滑な面にすることのできる磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置を提供することを課題とする。
【解決手段】非磁性基板の表面に磁性層を形成し、次いで、磁性層のうち、非磁性部の形成領域に対応する部分をエッチングすることで、非磁性部が形成される溝と、磁性層よりなる磁気記録部とを形成し、次いで、磁気記録部の表面に、溝を埋め込むように活性エネルギー線硬化性官能基を有した樹脂を塗布し、次いで、板材の平滑な面が樹脂の表面と接触するように、板材を樹脂に押圧して、樹脂の表面を平滑な面にし、次いで、板材を樹脂から除去し、その後、平滑な表面を有した樹脂のうち、磁気記録部の表面よりも上方に位置する部分をエッチングにより除去することで、溝に非磁性部を形成する。 （もっと読む）

【課題】良好なパターン転写が可能な紫外線硬化性樹脂材料を得る。
【解決手段】中心孔を有する磁気記録媒体の第１の主面上に第1の凹凸パターンを有する硬化した第1の紫外線硬化性樹脂材料層を形成し、磁気記録媒体の第１の主面とは反対側の第２の主面上に第２の凹凸パターンを有する硬化した第２の紫外線硬化性樹脂材料層を形成する。 （もっと読む）

【課題】機能性ポリマーにより表面を平坦化するシステム、方法および装置を提供する。
【解決手段】ハードディスクドライブ用の磁気媒体ディスクの表面は、均一な自己限界厚さの単分子層厚さの膜を形成する表面グラフトポリマー鎖で平坦化される。厚さは、選択されるポリマーの分子量によって制御される。ポリマー膜を、溶媒蒸気によって膨潤させることにより、トポグラフィにおける可変幅のギャップを充填することができる。ポリマーを、放射線または熱処理により適所に架橋することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡便に磁性塗料の分散性を評価できるだけでなく、その塗料から形成される薄層の磁性層の電磁変換特性を評価することができ、高品質な高容量磁気記録媒体の製造に用いる磁性塗料の評価方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 磁性粉末と結合剤とを含む磁性塗料を基体上にスピンコートして磁性層を形成して磁気記録媒体を作製し、該磁気記録媒体の特性を評価することにより磁性塗料を評価する磁性塗料の評価方法であって、前記基体の磁性層を形成する側の表面電気抵抗が１０⁷以下であり、前記基体の磁性層を形成する側の表面粗さが中心線平均粗さＲａで２ｎｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】中心に内孔を有する円盤状の磁気記録媒体基板の両面に均一な欠陥のないレジスト層を効率的に形成できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】中心に内孔を有する円盤状の磁気記録媒体基板の表面にスピンコーティング法によりレジストを塗布する塗布工程を含む磁気記録媒体の製造方法において、前記塗布工程が、前記磁気記録媒体基板の内孔部を、前記基板の中心軸とする２つの円盤状の保持具で両面から挟み込み保持しつつレジストを塗布することで、前記基板の内孔部周辺に未塗布部を形成しつつ、前記基板の両主面に同時にレジスト層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁気記録媒体の表面エネルギーに影響を与える因子を明らかにするとともに、表面エネルギーを解析する方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、非磁性基板上に磁気記録層，保護層および潤滑膜を備えた磁気記録媒体において、潤滑膜形成時の温度を因子として含めて重回帰分析を行うことにより、磁気記録媒体の表面エネルギーの極性成分を解析することを特徴とする。
また、この方法は、膜厚が２．０ｎｍ以下の潤滑膜に適用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント法に用いられる樹脂製モールドの平坦部の表面粗さ（Ｒａ）を改善し、磁気記録媒体のパターンの形成不良を低減し、生産性を向上させることができるようにする。
【解決手段】本発明は、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造に使用される樹脂製モールド１の製造方法において、マスターモールド２０の凹凸パターンを硬化性の樹脂材料に転写する工程と（図１（ｃ））、凹凸パターンが転写された樹脂材料を硬化する工程と（図１（ｃ））、マスターモールド２０から、硬化した樹脂材料を剥離し樹脂製モールド１とする工程と（図１（ｄ））、樹脂製モールド１に放射線４を照射して樹脂製モールド１の転写面３を平滑化する工程と（図１（ｅ））、を含み、樹脂製モールド１に照射する放射線４のエネルギーを樹脂材料１３に含まれる有機化合物の分子結合エネルギーより大きくする。 （もっと読む）

【課題】潤滑剤マイグレーションで移動する潤滑剤の量を抑制する。
【解決手段】以下の本体部２１０とボンド層２２２とフリー層２２１とを備えた磁気ディスク２００を製造する。本体部２１０は、円板形状を有し情報を記憶するものである。ボンド層２２２は、潤滑剤で形成され、本体部２１０の表裏両面に結合したものである。フリー層２２１は、ボンド層２２２を覆う、このボンド層２２２を形成している潤滑剤の流動性よりも高い流動性を有する潤滑剤で形成されたものである。そして、このボンド層２２２におけるボンド率の分布が、最外周から中央に向かう途中において極大となっている。 （もっと読む）

【課題】回転円板を用いることなく、基板の表面全体に被覆層を均一に形成することができること。
【解決手段】密度Ｃ、表面張力γを有するレジストＲＥを記録媒体用基板３０の記録面に供給するレジスト供給ノズル１０の先端の記録媒体用基板３０の記録面に対する初期位置における距離Ｘが、不等式：Ｘ≦２×（３ｒγ／２ｇＣ）^1/3を満足する値に設定され、初期位置における距離Ａが、不等式：Ａ≧ｒ＋Ｘ／３を満足する値に設定されるもの。 （もっと読む）

【課題】基板からの処理液の排出性を向上させることができ、基板の周囲に飛散する処理液の液滴の粒径を小さくすることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、基板Ｗを水平に保持するための支持リング８を有するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに処理液を供給する洗浄液ノズルおよびリンス液ノズルとを備えている。支持リング８は、支持リング８に保持された基板Ｗの上面から外方へと処理液が流れていくように、当該基板Ｗの全周を取り囲んで当該基板Ｗの外周縁を外方に拡張するように設けられた環状の拡張面３６を有している。拡張面３６は、処理液に対する親液性が基板Ｗよりも高い親液面とされている。 （もっと読む）

【課題】基板に対する処理液の再付着を抑制または防止することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを水平に保持するための支持リング９を有するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに処理液を供給する洗浄液ノズル４およびリンス液ノズル５と、基板Ｗの外方に向かって飛散する処理液の液滴を受け止めるためのスプラッシュガード６とを備えている。支持リング９は、基板Ｗの上面から外方へと処理液が流れていくように、基板Ｗの全周を取り囲んで基板Ｗの外周縁を外方に拡張するように設けられた環状の拡張面６１を有している。また、スプラッシュガード６は、スピンチャック３に保持された基板Ｗの外方において、拡張面６１の全周縁部を上方から覆う環状の上壁部４５を有している。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸が残存しても安定して潤滑剤層が形成でき、また経時的な潤滑剤層の膜厚減少が生じない磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体３０の表面の潤滑剤に対する濡れ性が高い第１の潤滑剤１２ａを磁気記録媒体３０の表面に塗布する工程と、第１の潤滑剤１２ａを塗布した磁気記録媒体３０の表面に第２の潤滑剤１２ｂを塗布する工程とによって、磁気記録媒体３０の表面に潤滑剤層１２を形成することを特徴とする磁気記録媒体３０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】安価で環境負荷が少なく、短時間で、高記録密度の磁気記録媒体を作製できる製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基体上に少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層、および潤滑層が順次積層されてなる磁気記録媒体の潤滑層形成工程において、少なくともパーフルオロポリエーテル潤滑剤を含有する潤滑剤液を加熱した状態でノズルから一回射出あたり０．１から１０ピコリットル射出して潤滑層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数枚の被処理基板に対して塗布した場合であっても、塗布量のばらつきが少なく、塗布量を高精度で制御できる両面塗布装置および塗液の両面塗布方法を提供する。
【解決手段】被処理基板２の厚み方向が水平方向となるように被処理基板２を保持する保持機構３ａと、被処理基板２を周回りに回転させる回転駆動機構と、被処理基板２の両主面２ａに塗液を噴出する塗液用ノズル１８ａと、リンス液を噴出させて塗液用ノズル１８ａを洗浄するヘッドリンス用ノズル１９ａとを備える両面塗布装置１とする。 （もっと読む）

【課題】被処理基板の両面に均一に塗液を塗布することができ、被処理基板の両面に均一な塗膜を形成できる両面塗布装置を提供する。
【解決手段】被処理基板２の厚み方向が水平方向となるように被処理基板２を保持する保持機構３ａと、被処理基板２を周回りに回転させる回転駆動機構と、被処理基板２の一方の主面２ａに塗液を噴出する第１塗液用ノズル１８ａと、被処理基板２の他方の主面２ｂに塗液を噴出する第２塗液用ノズルとを備え、第１塗液用ノズル１８ａと第２塗液用ノズルとが、被処理基板２の厚み中心面に対して対称に配置されている両面塗布装置１とする。 （もっと読む）

【課題】塗液を塗布してからエッジリンスを行うまでの時間を被処理基板の両主面において一定とすることができる両面塗布装置を提供する。
【解決手段】被処理基板２の厚み方向が水平方向となるように被処理基板２を保持する保持機構３ａと、被処理基板２を周回りに回転させる回転駆動機構と、被処理基板２の両主面２ａに同時に塗液を噴出する塗液用ノズルと、塗液の塗布された被処理基板２の両主面２ａの外縁部に付着した塗液を除去するエッジリンス手段４０とを備え、エッジリンス手段４０は、リンス液の収容された容器４１を備えたものであり、容器４１の上面からリンス液の液面が露出されており、回転している被処理基板２の外縁部がリンス液に浸漬される位置に、容器が移動自在に配置されている両面塗布装置１とする。 （もっと読む）

【課題】処理液案内部材の内方に処理液雰囲気を保持することができ、処理液案内部材外への処理液雰囲気の流出を抑制または防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】内構成部材１９は、スピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第１案内部２５、廃棄溝２６、内側回収溝２７および外側回収溝５２を一体的に有している。中構成部材２０は、内構成部材１９の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第２案内部４８を有している。外構成部材２１は、中構成部材２０の第２案内部４８の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられている。外構成部材２１には、スカート部８０が備えられている。スカート部８０の垂下部８１の下端部は、液体貯留部７０に貯留された液体中に浸漬されていて、液封構造を形成している。 （もっと読む）

【課題】処理カップ内における気液分離効率を低下させることなく、処理カップからの薬液のミストの漏出を防止または抑制することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理カップ２５の上段には、第２構成部材２２の第２案内部３８の上端部３８ｂと第３構成部材２３の上端部２３ｂとの間に、ウエハＷの端面に対向し、第１薬液を捕獲する第１薬液捕獲口としての第３開口５７が形成される。処理カップ２５内の下段には、傾斜部４１の先端部と第４構成部材２４の傾斜部４６の先端部との間に、第１雰囲気捕獲口５８が形成される。第３開口５７と第１雰囲気捕獲口５８との上下方向における中間位置（中段）に、処理カップ２５内に下降気流を発生するための羽根部材６１が配置されている。羽根部材６１は、スピンチャック３のスピンベース８に、一体回転可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を略水平に保持した状態で所定の処理を行う基板処理装置および基板処理方法において、遮断板を用いた処理技術と同様の遮断効果を得ながらも、より装置の小型化に適した技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗの略中央上方にガス噴射ヘッド２００を設ける。ガス導入口２９１から導入された窒素ガスを、内部のバッファ空間ＢＦを経てスリット状の噴射口２９３から噴射する。これにより基板の上方には、上下方向に噴射方向が制限される一方、水平方向には略等方的な放射状のガス流が形成される。そのため、基板周囲のゴミＤやミストＭ等は外方向へ押し流されて基板Ｗに付着することがない。ガス噴射ヘッド２００は基板Ｗの直径より小さくすることができ、しかも基板表面から退避させたり回転させる必要がないので、装置を小型に構成することができる。 （もっと読む）