【課題】複数のワークピースの両面に、同時に、プラズマプロセスを行う必要がある。
【解決手段】プラズマ処理システムのプロセス空間の内側に、同時に複数のワークピースを支持する装置及び方法により解決する。装置は、プロセス空間の内部に支持されるべく構成されたキャリアプレートを有し、キャリアプレートの厚みを貫通する複数の第１の開口部を有する取付具である。キャリアプレートは、外側周辺縁部にて環状領域に載せてそれぞれのワークピースに接触すべく構成され、ワークピースの第１及び第２の面は、前記複数の第１の開口部のそれぞれ１つを通してプラズマに暴露される。 （もっと読む）

【課題】中心に内孔を有する円盤状の磁気記録媒体基板の両面に均一な欠陥のないレジスト層を効率的に形成できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】中心に内孔を有する円盤状の磁気記録媒体基板の表面にスピンコーティング法によりレジストを塗布する塗布工程を含む磁気記録媒体の製造方法において、前記塗布工程が、前記磁気記録媒体基板の内孔部を、前記基板の中心軸とする２つの円盤状の保持具で両面から挟み込み保持しつつレジストを塗布することで、前記基板の内孔部周辺に未塗布部を形成しつつ、前記基板の両主面に同時にレジスト層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに液面の波紋の影響を低減し、蒸着材料のロスを少なくする蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空室１２内に、送りロール１３と巻取りロール１４を設けてベースフイルム１５を走行させ、中途の冷却キャン１６で定速回転させる。冷却キャン１６の幅方向の長さはルツボ１と略同じ円筒状で、内部の冷却水でベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制する。ルツボ１を蒸着材料蒸発部分と、これに直角に設けた蒸着材料溶融部分で構成し、蒸着材料溶融部分で蒸着材料供給時に生じる波紋の影響を防ぎ安定な蒸着を行う。冷却キャン１６を軟磁性部分１６Ａと非磁性部分１６Ｂで構成し、１つの電子銃２１から照射される蒸発，溶解用電子ビーム２１Ａ，２１Ｂと、これを局部偏向することにより、蒸着材料を溶解，蒸発し、電子ビーム相互干渉による異常放電を抑え、ルツボ１を小さくし蒸着材料のロスを少なくする。 （もっと読む）

【課題】適量の液体材料を用いて、平坦で略均一の膜厚を有する塗膜を基板上に形成できる、塗布用嵌合部材を提供する。
【解決手段】基板４の上面に液体材料５をスピンコート法によって塗布する際に使用される塗布用嵌合部材２であって、基板４の中心孔４ａと同一の径を有し、中心孔４ａに嵌め込まれて使用され、窪み部２ａを備え、窪み部２ａは、中心孔４ａに嵌め込まれた際に基板４の上面に対して垂直であって平面視において窪み部２ａの中心を通る軸２ｄに対して対称である形状を有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドと磁気記録媒体外周部表面との接触破断の確率を小さくして磁気記録媒体の信頼性を高めることのできる磁気記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】成膜工程における非磁性基体の外周部の最下端の保持位置と、浸漬塗布による非磁性基体の下端部の液溜り厚膜部１３とが重ならない位置に、非磁性基体を回転させて潤滑剤塗布工程を実施する磁気記録媒体１０の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、端面の損傷、欠損（カケ）のための外観検査を強化している。この外観検査は、目視にて実施しているが、ガラス基板を一列に並べて外観検査すると正面から見たとき、ガラス基板が重なり見えにくいため、検査精度と検査効率の低下の原因となっている。
【解決手段】本発明は、複数の円板状ディスクを、互いに平行に、かつ階段状に並べて配置するディスク保持構造を有するディスク検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＩＰＡベーパー乾燥を用いて乾燥工程を行う場合に、洗浄水を吸着して液体化したＩＰＡ溶液が、ガラス基板に接触したまま滞留するのを防止可能とする基板ホルダーを提供すること。
【解決手段】この基板ホルダー１０は、第１の斜面１２ａと第２の斜面１２ｂとから形成され第１の斜面１２ａと第２の斜面１２ｂとの間隔が徐々に狭くなるＶ溝１３によって、所定の厚みを有し面取り加工された基板２の下端部２１を支持する。基板２の下端部２１の下端面２２の両端部２４を第１の斜面１２ａ及び第２の斜面１２ｂによって支持したと共に、第１の斜面１２ａ及び第２の斜面１２ｂと、対向する基板２の各面取り加工面２３との間に隙間を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークをワークケースに収納する際に、ワーク同士の接触を生じにくくし、ワークの損傷を抑制すると共に、ワークをワークケースに収納しやすい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】製造工程にてワーク１０を間隔をあけて複数枚、収納配置できるようにワーク１０の保持ガイド１０６が複数形成されたワークケース１００の開口部１０８に、ワーク１０の挿入ガイド１０６が複数形成された収納用治具２００を取り付け、収納用治具２００を頼りに手作業にてワーク１０をワークケース１００に収納し、収納後に収納用治具２００を取り外し、ワークケース１００を用いてワーク１０を移動させてワーク１０を製造する円盤状基板の製造方法であって、収納用治具２００の挿入ガイドは、両端部から中央部に向けて開口幅が大きくなる孔部２０２であり、ワーク１０のエッジ部が挿入ガイドによりガイドされ、保持ガイド１０６に配置されるようになしたことを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】緩衝効果を更に向上させて、柔らかい基板を用いた場合でも基板の損傷や破損を防止することが可能な基板支持装置を提供する。
【解決手段】基板に設けられたセンター孔に基板保持部を挿入し、前記基板保持部で前記基板を鉛直姿勢で支持する基板支持装置は、前記基板保持部に連結された第１の連結板と、前記第１の連結板に対向して配置され、前記基板を基板ホルダーに搬送する搬送ロボットに連結された第２の連結板と、前記第１の連結板と第２の連結板とを接続する少なくとも３つの線状の支持部材と、前記第１の連結板と第２の連結板との間に配置された弾性を有する緩衝部材と備える。 （もっと読む）

【課題】本件は、ホルダに支持された基板上への製膜と、製膜後の基板のホルダからの取外しおよび新たな基板のホルダへの取付けとを繰り返す製膜方法に関し、支持爪への製膜材料の堆積を抑える。
【解決手段】ディスク状の基板３０の周面に接する支持面２２１を有し、基板周面の複数点それぞれに各支持面を当てて基板を共同で支持する複数の支持爪２２を有するホルダに基板を支持させ、ホルダに支持した状態の基板表面に製膜し、ホルダから製膜後の基板を取り出してホルダに新たな基板を支持させる過程を複数の基板について順次に繰り返すにあたり、ホルダから製膜後の基板を取り外し、新たな基板を、ホルダから取り外した基板の支持面上の支持位置からずれた位置に支持させる。 （もっと読む）

【課題】ワークの外周面を研磨する工程において、ワークを金属シャフトに挿入するときに、ワークに傷を付けにくく、また破損させにくい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】ワークの内周面を研磨する工程と、金属シャフト７１の一方の端部に配され少なくとも表面が樹脂で形成された保護キャップ７２が取り付けられた金属シャフト７１に内周面が研磨されたワークを順次挿入して積層する工程と、積層されたワークの外周面を研磨する工程とを有することを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ディスクの外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去する。
【解決手段】ディスククリーニング装置１００は、磁気ディスク１０１を保持する保持部を有し、当該保持部に保持された磁気ディスク１０１を回転する回転駆動機構１１０と、保持部によって保持された磁気ディスク１０１の外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材１２０と、管状部材１２０の一端に接続され、案内部１２１から管状部材１２０の内部に案内された状態の磁気ディスク１０１の外周端部に対して気体を吹付けるエアー吹付装置１３０と、管状部材１２０の他端に接続され、エアー吹付装置１３０によって磁気ディスク１０１の外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引するエアー吸引装置１４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ワークの外周面を研磨した後に、ワークをシャフトから抜き取る際に、ワークに傷を付けにくく、また破損させにくい円盤状基板の製造方法を提供する。
【解決手段】内周面が研磨されたワーク１０をシャフト７１に挿入して積層し、積層されたワーク１０の外周面を研磨した後、シャフト７１に比べて径の小さいシャフト７６をシャフト７１の下方に同軸的に配置し、超音波振動が加えられた液槽８０内にてワーク１０をシャフト７６へ移動させることを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】乾燥染みが発生することを防止したスピン乾燥装置を提供する。
【解決手段】中心孔を有する円盤状の基板２Ａを洗浄液で洗浄した後に、この基板２Ａを回転させることによってスピン乾燥させるスピン乾燥装置であって、基板２Ａの内周部を保持する複数のチャック部材１Ａと、チャック部材１Ａにより保持された基板２Ａを回転駆動するスピンドルモータとを備え、チャック部材１Ａの外周部には、基板２Ａの内周部が係合される溝部３が設けられ、溝部３は、基板２Ａの内周端面２ｃと当接される底面３ａと、この底面３ａの両端から外側に向かって斜めに立ち上がり形成されて、基板２Ａの両主面２ａ，２ｂと内周端面２ｃとの間に設けられた傾斜面２ｄと当接される一対の当接面３ｂと、一対の当接面３ｂから外側に向かって斜めに立ち上がり形成されて、基板２Ａの内周部とは非接触とされる一対の非接触面３ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレットと、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布可能である。 （もっと読む）

【課題】軽量化が図られた、作業性の良い枠体を用いた保持治具、該保持治具を用いた記録媒体用ガラス基板の製造方法及び記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板を保持する保持治具において、ガラス基板を支持する複数の支持部材と、該支持部材を取り付ける枠体とを有し、該枠体が網状であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板にひびや割れの生じない保持治具、該保持治具を用いた記録媒体用ガラス基板の製造方法及び記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板を支持する支持部材の溝部にガラス基板の外周端部を係合させて保持するように構成すると共に、支持部材のうち少なくともガラス基板と接触する部分である溝部の表面がフッ素樹脂である保持治具。 （もっと読む）

【課題】成膜方法、基板保持具及び成膜装置において、成膜装置内で発生した塵埃に起因するピンホール欠陥を抑制することを目的とする。
【解決手段】チャンバ内で、基板保持具に保持された基板に対して成膜処理を施す成膜方法において、チャンバ内で前記基板保持具により保持されている前記基板の被保持箇所の近傍で磁石により磁界を発生させてチャンバ内の塵埃を磁石により吸着するように構成する。 （もっと読む）

【課題】中央に貫通孔を有する円盤状ガラスの内外周面を研削する際に、円盤状ガラスを回転ワーク台上に減圧吸着する研削装置では、可動部と固定部とを連結するロータリジョイントにおいて、減圧吸着用のエア通路にずれが生じるため、減圧吸着力が不安定になる問題があった。また、この研削装置では、減圧吸着用のエア通路とクーラント供給経路とが可動部の内部を長距離平行して走っているため、装置構成が複雑になり、可動部と固定部との接触面積が大きくなって摩擦熱が発生しやすい問題もあった。
【解決手段】 円盤状ガラスを減圧吸着する回転ワーク台の回転軸上に減圧吸着用の流体吸引管を配置することによって、回転ワーク台が回転しても流体吸引管の経路上にずれが生じないようにして、円盤状ガラスに対する減圧吸着力が低下することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】小型で構造が簡易な基板ホルダー保持装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダー保持装置は、チャンバ内に収容され、複数の基板ホルダー８を列に沿って保持可能に夫々構成された第１及び第２の保持機構と、第１の保持機構を第２の保持機構に対して相対的に列方向に移動させる列方向駆動手段と、第１及び第２の保持機構間で基板ホルダーを移し替える移し替え機構３０と、移し替え機構３０と前記列方向駆動手段との連動により、第１又は第２の保持機構における基板ホルダー８の列方向位置を変更する連動機構とを備える。 （もっと読む）