【課題】 本件は、カセットから複数枚の円板を取り出して、塗布槽内の塗布液に浸漬し、さらにその塗布液から引き上げてカセットに戻す表面処理方法および装置であって、塗布液を浸漬により塗布するにあたり、配列された円板どうしの接触を回避するとともに正常な塗布を行なう。
【解決手段】 横に延びて支持棒３１１の直上に位置し磁気ディスク媒体２０の配列間隔と同一間隔で下向きに凹部が形成された保持棒３２１を用意し、その保持棒３２１を、磁気ディスク媒体２０が槽４０の直上に搬送された後その槽４０内の塗布液に浸漬されるまでの間、各磁気ディスク媒体２０の上端が各々の凹部３２１ａに入り込んだ保持状態にまで支持棒に近づけておき、かつ、磁気ディスク媒体２０が塗布液に浸漬された後その塗布液から引き上げられるまでの間、保持棒３２１を磁気ディスク媒体２０と非干渉となる退避状態にまで、支持棒３１１から遠ざけておく。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダ及び磁気記録媒体製造方法において、搬送中の振動等に対しても基板の落下を抑制可能とすることを目的とする。
【解決手段】ディスク状基板を保持する基板ホルダにおいて、開口部を有する本体部と、前記開口部内の前記基板の端部を押し付けて保持する複数の爪を備え、前記複数の爪の各々は、平坦形状を有し前記基板の端部を押し付ける先端部を有し、前記爪の前記先端部の基板把持力は２００ｇｆ〜４００ｇｆであり、前記爪の先端部の表面粗さＲｚは１７μｍ〜２５μｍであるように構成する。 （もっと読む）

【課題】イオンミリングによって磁気記録層を有する基板表面が消失することなく、かつ大気の影響を受けずに磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】磁気記録層を有する基板にイオンビームを注入した後、該イオンビーム注入後の磁気記録層を有する基板の表面をアッシングにより除去して磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造装置１０であって、レジスト膜またはメタルマスクが塗布された磁気記録層を有する基板にイオンビームを注入するイオン注入室２０と、レジスト膜またはメタルマスクが塗布された磁気記録層を有する基板のレジスト膜またはメタルマスクを、プラズマによりアッシングして除去するアッシング室３０と、を有し、イオン注入室２０とアッシング室３０とは真空状態で連結されると共に、イオンビーム注入後の基板をイオン注入室２０からアッシング室３０に搬送する基板搬送機６０を備える。 （もっと読む）

【課題】テクスチャを設けることなしに磁気記録層に磁気異方性を付与することができる新規な構成を提供する。
【解決手段】 基板９上に形成された磁気記録層９１より成る磁気記録ディスクは、基板９と磁気記録層９１の間に磁気記録層９１に磁気異方性を付与する異方性付与層９２を有する。異方性付与層９２は、タンタル、ニオブ合金又はタンタル合金であって窒化されたもの又は窒素を含む薄膜であり、表面が大気ガス、窒素ガス又は酸素ガスに晒されて変性されている。異方性付与層９２は、例えばクロムニオブ合金製ターゲットを窒素を含むプロセスガスによってスパッタして作成した薄膜であり、成膜後に０．５〜１０Ｐａ程度の圧力の酸素ガスに晒す。ターゲットからのスパッタ粒子のうち、付与すべき異方性の方向に方向成分を持って飛行するスパッタ粒子を相対的多く基板９に入射させる方向制御が行われる。 （もっと読む）

【課題】温水引き上げ乾燥や、マランゴニー乾燥といった、液面より被乾燥基板を引き上げ乾燥を行なう際に発生する水滴残渣をなくし、安定した品質で乾燥を可能とさせる乾燥ジグを提供する。
【解決手段】乾燥ジグ１は、磁気記録媒体の基板洗浄後の温水引き上げ乾燥方式又は、マランゴニー乾燥方式において、縦置きに配列された複数枚の被乾燥基板の外形を支持し、支持部を剣先形状にすることにより基板との接点を小さくし、且つ支持部に液滴を吸引する開口を有する。 （もっと読む）

【課題】１バッチの均一な形状のガラスシート目的物の形成方法を開示する。
【解決手段】積層されたガラスシートがフレーム１６に置かれ、そして冷却剤６に浸される。穴が積層体１４にドリル加工して開けられる。ドリル加工による上記穴の芯材及びいずれの破片も、冷却剤６から取り除かれ、そしてフィルターにポンプで送られる。ピンが上記穴に挿入され、底部に取り付けられる。ピンの頭部、またはワッシャーが積層されたガラスを上記穴の底部に固定する。次いで、目的物が上記ピンによってフレーム１６の底部に保持されている間に、外形が、穴の周囲のガラスの積層体１４に切り出される。再び、いずれの破片も冷却剤６から取り除かれる。均一な形状の目的物がフレーム１６から外されて、そして分離される。ガラスシート目的物は好ましくは磁気または光磁気（ＭＯ）データ／情報格納検索媒体用の基板として使用できる。 （もっと読む）

【課題】 ノイズがあったりエッジが不完全であったりしても透明部材の形状を認識し、透明部材の位置が検出可能となる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 面が互いに向き合うよう連なって配置された複数の透明部材を面の垂直方向から撮像した画像を取得する画像入力部２と、画像入力部２によって取得された画像に撮像された複数の透明部材それぞれの輪郭を少なくとも含んだ領域を取得するＲＯＩ設定部１０と、ＲＯＩ設定部１０によって取得された領域内から、複数の透明部材のエッジを抽出するエッジ抽出部１１と、エッジ抽出部１１によって抽出されたエッジから、複数の透明部材のうちの所定の透明部材のエッジを選択する最適エッジ選択部１２と、最適エッジ選択部１２によって選択されたエッジに基づき、所定の透明部材の位置を算出する位置算出部１３と、を備える位置検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に液体が付着することを防止しつつ基板の裏面を十分に洗浄することが可能な基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗの裏面洗浄処理時には、スピンチャック６００により基板Ｗが回転するとともに、気体供給管４２０を通して遮断板５２５と基板Ｗとの間にＮ_２ガスが供給される。その状態で、洗浄ブラシ６３０がモータ６３５によって回転しながら基板Ｗの裏面に接触する。基板Ｗと洗浄ブラシ６３０との接触部分には、洗浄ノズル６３３から純水が供給される。これにより、基板Ｗの裏面の全体が洗浄ブラシ６３０により洗浄され、基板Ｗの裏面に付着する汚染物が取り除かれる。 （もっと読む）

【課題】多数のステーションを有する磁気ディスク等の基板を処理するフートプリントの小さいシステムを提供する。
【解決手段】それぞれの上部に処理チャンバが積層され、さまざまなサイズのディスクを取るように調節可能なディスクキャリア上でディスクがシステムを通じて移動するところのディスク処理及び製造装置が記述されている。ディスクはロードゾーンを通じてシステムに進入し、その後ディスクキャリア内に装着される。ディスクはキャリア内にあって、ひとつのレベルで、処理チャンバを通じて連続的に移動し、その後、リフトまたはエレベータにより他のレベルへ移動する。他のレベルにおいて、再びディスクはシステムを通じて連続的に移動し、その後アンロードゾーンで出力される。 （もっと読む）

【課題】基板の表面と裏面とに均一な力で型部を押し当てながら、表面と裏面とを同時にインプリントすること。
【解決手段】表面と裏面との両面に樹脂部３８が形成されたガラス基板２８を縦にして保持する工程と、縦にして保持されたガラス基板２８の両面に凹凸パターンを有する型部４８を押し当てる工程と、ガラス基板２８に型部４８を押し当てながらガラス基板２８の両面に形成された樹脂部３８に凹凸パターンを転写する工程と、を有する。縦にして保持されたガラス基板２８の両面に型部４８を押し当てることで、重力の影響が小さくなり、均一な力でガラス基板２８の両面に型部４８を押し当てることができる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの動作速度を変えず、キャリア上のホルダへの基板取付け方等を改良することにより単位時間当たりの基板移載量を増大した基板処理装置を用いることで基板の処理能力を高める。
【解決手段】基板の成膜に用いる基板移載装置は例えばインライン式成膜装置に適用される。この基板移載装置は補助真空室１７と真空室１６を備える。補助真空室１７は複数の第１基板カセットを備える。真空室１６は搬送路に沿ってキャリアが移動する真空室１０ｃに通じている。真空室１６は、ロボット２５と、ロボット２６と、これらのロボットの間に配置され、複数枚の基板が搭載可能でかつ並列に並べられた複数の第２基板カセットとが設けられている。基板１１６はセンタ孔を有する円板状の基板である。基板のセンタ孔はピックアップの動作の際に引掛け部として利用される。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造における液処理工程において、ガラス基板を保持する基板ホルダ自体から、或いは基板ホルダとガラス基板の接触による発塵を防止し、低フライングハイト化の阻害やサーマルアスペリティの要因となるガラス基板上の微小異物の付着を低減できる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造における液処理工程、例えば洗浄処理工程において、少なくとも表面部が、ガラス基板よりも硬度が低く、かつ、強度の高い樹脂からなる基板ホルダ２０でガラス基板１０を保持して上記液処理工程を行う。 （もっと読む）

【課題】
ワークの検査効率を向上させることができるワークハンドリング機構、あるいは小型なワーク検査システムを提供することにある。
を提供することにある。
【解決手段】 戴き
この発明は、第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有する中継台を設けて、中継台とワーク供給容器およびワーク収納容器との間でのワークの排出／供給処理を中継台の第１の中継点で行い、中継台と複数のワーク検査機との間でのワークのロード／アンロード処理を中継台の第２の中継点で行うものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に傷を生じることなく良好で簡単に基板収納用ケースから基板を取り出すことができる基板取り出し治具を提供する。
【解決手段】開口部がある底部を有し、略同一の円板形状の基板を、前記底部から起立させて、前記基板の厚みの方向に規則的に配列して収納し、前記底部の反対側の上端が、前記基板を自由に出し入れ可能に開放されている基板収納用ケースから、前記基板を取り出す基板取り出し治具において、前記開口部から前記基板収納用ケースの内側に挿入される柱状部材を有し、前記柱状部材は、該柱状部材の先端面に前記基板の下部を受ける溝を備え、前記溝が前記基板の下部を受けた後から、前記柱状部材の挿入が完了するまでの、前記柱状部材が挿入される長さが、前記基板収納用ケースに収納されている前記基板の中心から、前記基板収納用ケースの前記上端を面内とする上端面までの距離より長い。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑制することでディスク両面の同時検査を好適に行う。
【解決手段】ディスク１２に形成されている孔１４に挿入される複数の爪１６、１７、１８のうち少なくとも１つの爪１８を孔１４の外側に向かって付勢する受動型のバネ部材を備え、バネ部材によって爪１６、１７、１８の外周部をディスク１２の孔１４の周縁に加圧接触させることによりディスク１２を垂直姿勢で保持する。チャック本体２０の外径は、ディスク１２の孔径より小さくする。可動爪１８を移動させる可動機構の摺動部（回動軸３６の部分）はディスク１２からディスク１２の（外周半径−内周半径）以上離れた位置とする。爪材としてポリベンゾイミダゾールが好ましい。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板を製造する場合の基板検査時において、異物の発生やハンドリングダメージを適切に防ぐ。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、円板状のガラス基板１０を準備する基板準備工程と、ガラス基板１０を研磨する研磨工程と、研磨後のガラス基板１０を検査する基板検査工程とを備え、基板検査工程は、ガラス基板１０を把持する把持装置１００を用いて検査を行う工程であり、把持装置１００は、検査されるガラス基板１０の主表面の中心を通り、かつ主表面と垂直な軸に対して、検査されるガラス基板１０を回転させる。 （もっと読む）

【課題】
複数枚のチャックされたディスクを１枚ごとに効率的に受け渡しができ、ディスク検査処理のスループットを向上させることができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、中心に開口を有するディスクの内周と外周の２点でディスクをチャックする場合において、チャック部材（フィンガ）の１つにはディスクの内周に対応して所定間隔で谷溝が複数設け、他のチャック部材（フィンガ）には前記のチャック部材（フィンガ）に対して奥に向かって距離が開く傾斜（例えば階段状の切込み段差）もって谷溝を形成して、チャックの開閉（部材の接近、離間）により複数枚のディスクのうちの先頭の１枚のディスクのみの内周と外周とをチャックするようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板に歪みや反りが生じるのを防止し、低粗さおよび平坦度に優れた、新規かつ改良された磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法を提供する。
【解決手段】 化学強化塩を加熱溶解した化学強化処理液に円板状のガラス基板を浸漬しイオン交換させてガラス基板の化学強化を行う化学強化工程と、化学強化工程によって熱を帯びたガラス基板をガラス基板ホルダに保持した状態で冷却する冷却工程と、を含む本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、ガラス基板ホルダ２００の保持部２１０は、ガラス基板１０の主表面１２と面取面１６との境界部に当接し、点接触によってガラス基板を保持する。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面に潤滑剤を均一に塗布するのに好適なディスク用ホルダー、およびそれを用いて潤滑剤を均一にかつ安定して塗布する工程を具備するディスクの製造方法を提供させることである。
【解決手段】複数のディスク１０を収容する収容領域１２を備えたディスク用ホルダー１であって、幅方向の一端側の端部に、前記ディスク１０に係合する複数の凹部が設けられてなる４本の支持プレート２、３、４、５と、前記各支持プレート２、３、４、５の長手方向両端側に配置されて前記各支持プレート２、３、４、５を相互に取り付ける２枚のフレームプレート８、９とを具備してなり、前記各支持プレート８、９が、前記収容領域を囲んで配置され、かつ、前記各支持プレート２、３、４、５の前記凹部が、前記収容領域に向けられていることを特徴とするディスク用ホルダー１を採用する。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の板状部材の乾燥に際し、確実に洗浄液を除去して乾燥斑の発生を抑制する。
【解決手段】 孔Ｓ_Hを有する板状部材Ｓに気体を吹き付けて乾燥させる乾燥ユニット1であって、扁平空間20の一端が気体供給口12となされ他端がスリット状の気体吹出口23となされたフード22を有し、このフード22が前記板状部材Ｓの少なくとも一部を覆い、かつ前記気体吹出口23のスリット長さＬが前記板状部材Ｓの最大径Ｄよりも長く形成されているフード型ノズル10と、前記板状部材Ｓの孔Ｓ_Hに挿入して該板状部材Ｓを装架して吊下げ、前記フード型ノズル10に対して相対的に上下方向に移動可能となされた吊下げシャフト30とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）